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公开(公告)号：CN114097058A
公开(公告)日：2022-02-25
申请号：CN202080050339.6
申请日：2020-06-23
Applicant: 应用材料股份有限公司
IPC: H01J37/12 , H01J37/317 , H01J37/05
Abstract: 本文提供用于增加静电透镜的操作范围的方法。离子植入系统的静电透镜可从离子源接收离子束，静电透镜包括沿着离子束线的一侧设置的第一多个导电束光学器件及沿着离子束线的第二侧设置的第二多个导电束光学器件。离子植入系统还可包括与静电透镜连通的电源供应器，所述电源供应器可操作以向第一多个导电束光学器件及第二多个导电束光学器件中的至少一者供应电压及电流，其中电压及电流使离子束偏转束偏转角度，且其中离子束在静电透镜内被加速然后被减速。
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公开(公告)号：CN113539770A
公开(公告)日：2021-10-22
申请号：CN202110780341.5
申请日：2017-11-27
Applicant: MI2工厂有限责任公司
Inventor： 弗洛里安·克里彭多夫 , 康斯坦丁·科萨托
IPC: H01J37/317 , H01J37/05
Abstract: 本发明涉及用于在晶片中注入离子的方法和设备，具体公开了一种方法，包括使用穿过注入过滤器(6)的离子束(2)辐照晶片(8)，该离子束(2)在第一方向和第二方向上被静电偏转，以在晶片(8)上移动离子束(2)，并且注入过滤器(6)在第二方向上移动以配合离子束(2)的运动。
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公开(公告)号：CN113496860A
公开(公告)日：2021-10-12
申请号：CN202110279321.X
申请日：2021-03-16
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
Abstract: 本发明提供粒子射束装置和复合射束装置，该粒子射束装置能够选择性地且适当地切换带电粒子射束和中性粒子射束。粒子射束镜筒(19)具备离子源(41)、聚光镜(52)、电荷交换栅极(55)和物镜(56)。离子源(41)产生离子。聚光镜(52)通过切换离子射束的聚焦而切换离子射束和中性的射束作为照射至试样(S)的粒子射束。电荷交换栅极(55)通过将离子射束的至少一部分中性化而转换成中性粒子射束。物镜(56)配置于电荷交换栅极(55)的下游侧。在对试样(S)照射中性粒子射束作为粒子射束的情况下，物镜(56)减少朝向试样(S)的离子射束。
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公开(公告)号：CN113424290A
公开(公告)日：2021-09-21
申请号：CN202080014117.9
申请日：2020-02-04
Applicant: ASML荷兰有限公司
Inventor： S·B·汉森 , 任岩 , M·R·古森 , A·V·G·曼格努斯 , E·P·斯马克曼
Abstract: 在各方面中尤其地公开了一种带电粒子检查系统，其包括吸收部件和可编程带电粒子反射镜板，该可编程带电粒子反射镜板被布置为修改束中电子的能量分布并且对束进行整形以减少电子的能量散布和束的像差，其中吸收部件包括限定腔的结构，该腔具有内部表明以及设置在内部表上的超材料吸收体。在操作中，腔沿着束路径的一部分延伸。在其他实施例中，超材料包括吸收结构集合，该吸收结构集合被配置为设置在透明导电层上的吸收结构。进一步，公开了一种使用这种吸收部件并且使用可编程带电粒子反射镜板的方法，其中这种可编程带电粒子反射镜板包括像素集合，该像素集合被配置为生成定制电场以对束进行整形。
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公开(公告)号：CN112805803A
公开(公告)日：2021-05-14
申请号：CN201980065139.5
申请日：2019-10-08
Applicant: 科磊股份有限公司
Inventor： A·D·布罗迪
Abstract: 本发明公开一种多束电子源。所述多束源包含电子源、格栅透镜组合件及多透镜阵列组合件。所述多透镜阵列组合件包括跨衬底安置的一组透镜。所述格栅透镜组合件经配置以引起来自所述电子束源的一次电子束远心着陆在所述多透镜阵列组合件上。所述多透镜阵列组合件经配置以将来自所述电子束源的所述电子束分裂成多个一次电子束。所述格栅透镜组合件包含第一透镜元件及第二透镜元件，其中所述第一透镜元件及所述第二透镜元件由选定距离的间隙分离。所述格栅透镜组合件进一步包含格栅元件，其包含一组孔隙，其中所述格栅元件安置在所述第一透镜元件与所述第二透镜元件之间的所述间隙内。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111801764A
公开(公告)日：2020-10-20
申请号：CN201980016742.4
申请日：2019-03-01
Applicant: 塔斯米特株式会社
Abstract: 本发明涉及用于分析从试样产生的背散射电子的能量的装置及方法。该装置包括：电子束源(101)，其用于产生一次电子束；电子光学系统(102、105、112)，其使一次电子束引导至试样地会聚并偏转；以及能量分析系统，其能够检测从试样产生的背散射电子的能谱。能量分析系统具备：维恩过滤器(108)，其使背散射电子分散；检测器(107)，其用于测定由维恩过滤器(108)分散的背散射电子的能谱；以及动作控制部(150)，其一边使维恩过滤器(108)的四极场的强度变化，一边与四极场的强度的变化同步地使检测器(107)的背散射电子的检测位置移动。
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公开(公告)号：CN109216142B
公开(公告)日：2020-06-16
申请号：CN201810239416.7
申请日：2018-03-22
Applicant: 株式会社岛津制作所
Inventor： 坂前浩
IPC: H01J37/05 , H01J37/252 , G01N23/2252
Abstract: 本发明提供一种电子探针显微分析仪以及存储介质，能够在比较短的时间内求得测量区域内存在的物质的种类和分布、以及各物质的正确的组分信息。EDS5检测从试样产生的X射线以获取第1光谱数据。WDS6检测从试样产生的X射线以获取第2光谱数据。相分布图生成处理部(11)，基于针对试样表面上的测量区域内的各像素获取的第1光谱数据，生成测量区域内的试样中的物质的相分布图。组分信息获取处理部(13)，相应于相分布图的各相，基于针对测量区域内的代表性像素在试样上所处的位置获取的第2光谱数据，获取各相的元素组分信息。
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公开(公告)号：CN110383414A
公开(公告)日：2019-10-25
申请号：CN201780086263.0
申请日：2017-02-22
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/244 , H01J37/05 , H01J37/28
Abstract: 带电粒子束装置具备：带电粒子束源，其放出一次带电粒子束；物镜，其使一次带电粒子束聚焦于试样上；通道电极，其设置于带电粒子束源与物镜的前端之间且由金属部件构成；检测器，其检测从试样放出的二次带电粒子；以及静电场电极，其与通道电极电绝缘，通道电极形成为供一次带电粒子束穿过该通道电极的内侧，静电场电极形成为覆盖通道电极的外周。
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公开(公告)号：CN110310877A
公开(公告)日：2019-10-08
申请号：CN201910212432.1
申请日：2019-03-20
Inventor： 乔恩·卡尔·韦斯 , 斯坦尼斯拉夫·彼得拉斯 , 博胡米拉·伦佐娃 , 格德·路德维希·本纳
IPC: H01J37/256 , H01J37/28 , H01J37/295 , H01J37/22 , H01J37/05 , G01N23/2251 , G01N23/20058
Abstract: 公开了一种用于自动对准扫描透射电子显微镜以便旋进电子衍射映射数据的方法。
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公开(公告)号：CN109216142A
公开(公告)日：2019-01-15
申请号：CN201810239416.7
申请日：2018-03-22
Applicant: 株式会社岛津制作所
Inventor： 坂前浩
IPC: H01J37/05 , H01J37/252 , G01N23/2252
Abstract: 本发明提供一种电子探针显微分析仪以及存储介质，能够在比较短的时间内求得测量区域内存在的物质的种类和分布、以及各物质的正确的组分信息。EDS5检测从试样产生的X射线以获取第1光谱数据。WDS6检测从试样产生的X射线以获取第2光谱数据。相分布图生成处理部(11)，基于针对试样表面上的测量区域内的各像素获取的第1光谱数据，生成测量区域内的试样中的物质的相分布图。组分信息获取处理部(13)，相应于相分布图的各相，基于针对测量区域内的代表性像素在试样上所处的位置获取的第2光谱数据，获取各相的元素组分信息。
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