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公开(公告)号：KR1020070050571A
公开(公告)日：2007-05-16
申请号：KR1020050107938
申请日：2005-11-11
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/3065
CPC classification number: H01J37/32522 , C23C16/50 , H01J37/32853
Abstract: 본 발명은 반도체 돔 타입프로세스 챔버에서 RF 플라즈마 형성 시 과도한 온도상승을 방지할 수 있도록 냉각시키는 반도체 제조설비의 플라즈마 처리장치 및 그 장치의 냉각방법에 관한 것이다.
반도체 제조설비에서 하부챔버의 냉각온도와 상부챔버의 냉각온도를 서로 다르게 하여 크리닝 주기를 연장하여 생산성을 향상시킬 수 있는 반도체 제조설비의 플라즈마 처리장치는, 웨이퍼가 탑재되는 웨이퍼 척과 RF 파워가 인가되는 캐소드가 설치된 하부챔버와, 상기 하부챔버의 케소드의 상부에 설치되어 플라즈마가 발생되어 웨이퍼에 대한 식각이 이루어지는 상부챔버와, 상기 상부챔버의 증착 잔류물을 주기적으로 세척하기 위해 크린개스를 이온화시켜 분사하는 원격플라즈마 시스템과, PCW를 공급하는 PCW공급부와, 상기 하부챔버의 케소드와 상부챔버의 온도를 조절하기 위한 제1 및 제2 냉각수를 발생하는 칠러와, 상기 PCW공급부로부터 공급되는 제1 냉각수를 터보펌프로 공급하기 위한 제1 PCW 공급관과, 상기 터보펌프를 경유하여 공급되는 � �로세스 냉각수를 RPS로 공급하기 위한 제2 PCW 공급관와, 상기 RPS를 경유하여 순환되는 프로세스 냉각수(PCW)를 상기 PCW공급부로 회수하기 위한 PCW 회수관과, 상기 칠러로부터 발생된 제1 냉각수를 상기 상부챔버로 공급하기 위한 제1 냉각수 공급관과, 상기 상부챔버를 경유한 제1 냉각수를 상기 칠러로 회수하기 위한 제1 냉각수 회수관과, 상기 칠러로부터 공급되는 제2냉각수를 상기 하부챔버의 케소드로 공급하기 위한 제2 냉각수 공급관과, 상기 케소드를 경유한 제2 냉각수를 상기 칠러로 회수하기 위한 제2 냉각수 회수관을 포함한다.
CVD공정챔버의 상부챔버와 하부챔버의 케소드를 냉각시킬 경우 서로 다른 온도의 냉각수를 공급하여 CVD공정 진행 중에 상부챔버의 온도가 과도하게 상승하지 않도록 하여 상부챔버의 크리닝 주기를 단축시켜 생산성을 향상시킨다.
열교환유니트, 냉각수용 열교환기, 열전모듈, 칠러-
公开(公告)号：KR1020060116063A
公开(公告)日：2006-11-14
申请号：KR1020050038418
申请日：2005-05-09
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 김대현
IPC: G06F3/12
CPC classification number: G06F3/1243 , G06F3/1253 , G06K19/06037 , H04N1/0009
Abstract: An image forming device, and a document data storing method and a document printing method using same are provided to increase storing efficiency of scanned document files, and print the stored file to a printing sheet together with a document image for hard copy of the document by coding the stored file. A scanning part(110) generates a page image by scanning the document. A controller(160) generates text data by reading the text from the generated page image. A storing part(140) stores the generated text data. The controller generates a barcode image corresponding to the text data. A printing part(150) prints the page image and the barcode image to the printing sheet. The controller makes the printing part print the barcode image to a specific position in the printing sheet according to user selection.
Abstract translation: 提供了一种图像形成装置以及文件数据存储方法和使用它们的文件打印方法，以增加扫描的文件的存储效率，并将存储的文件与用于文件的硬拷贝的文档图像一起打印到打印页面 编码存储的文件。 扫描部件（110）通过扫描文档来生成页面图像。 控制器（160）通过从生成的页面图像读取文本来生成文本数据。 存储部（140）存储生成的文本数据。 控制器生成与文本数据对应的条形码图像。 打印部（150）将页面图像和条形码图像打印到打印纸。 控制器使打印部分根据用户选择将条形码图像打印到打印纸中的特定位置。
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公开(公告)号：KR100497366B1
公开(公告)日：2005-06-28
申请号：KR1020020060964
申请日：2002-10-07
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 김대현
IPC: G06F3/12
CPC classification number: G06F17/30876
Abstract: 본 발명은 네트웍 프린터에 관한 것으로서 특히 출력된 웹 페이지에 링크된 다른 웹 페이지 정보를 프린팅하는 웹 페이지 정보 프린팅 방법 및 그에 적합한 장치에 관한 것이다.
본 발명에 따른 웹 페이지 프린팅 방법은 네트웍을 통하여 획득한 웹 페이지 정보로부터 해당 웹 페이지에 하이퍼 링크된 URL을 추출하는 과정; 웹 페이지 정보를 프린팅할 수 있는 이미지 정보로 변환하고, 이를 프린팅하는 과정; 변환된 이미지 정보로부터 상기 URL 추출 과정에서 추출된 URL이 위치되는 영역의 영역 정보를 획득하는 과정; 프린팅된 이미지 정보에 대응하는 위치 입력 수단을 통하여 위치 정보를 입력받는 과정; 입력된 위치 정보와 획득된 URL의 영역 정보를 비교하여, 입력된 위치 정보에 상응하는 URL을 선택하는 과정; 및 상기 선택된 URL에 해당하는 웹 페이지 정보를 획득하도록 상기 웹 브라우저에 제공하는 과정을 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 네트웍 프린터는 웹 페이지에 하이퍼 링크된 다른 웹 페이지들을 간편하게 프린트하게 하는 효과를 가진다.-
公开(公告)号：KR1020050047342A
公开(公告)日：2005-05-20
申请号：KR1020030081156
申请日：2003-11-17
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 김대현
IPC: G06F3/12
Abstract: 하이퍼 링크된 웹 페이지를 인쇄할 수 있는 화상형성장치 및 그의 화상형성방법이 개시된다. 웹페이지의 주소 및 검색어를 입력하기 위한 입력부와, 웹페이지에 해당하는 컨텐츠제공자로부터 컨텐츠데이터를 요청/획득하는 통신부와, 획득한 상기 컨텐츠데이터를 파싱처리하는 파싱처리부, 컨텐츠데이터에 포함된 하이퍼링크데이터를 저장하는 저장부, 검색어와 하이퍼링크데이터를 소정방식으로 분석하여 웹페이지에 하이퍼 링크된 복수개의 웹페이지 중 검색어와 근접한 웹페이지를 추정하는 자연어처리부와, 컨텐츠데이터를 인쇄용지에 인쇄하는 인쇄부, 및 컨텐츠제공자로부터 추정된 웹페이지의 컨텐츠데이터를 요청/획득하여 인쇄하도록 통신부 및 인쇄부를 제어하는 제어부를 갖는다. 따라서, 소정의 웹 페이지 주소의 입력에 의해 해당하는 웹 페이지를 인쇄함은 물론, 웹 페이지에 하이퍼 링크된 특정한 웹 페이지에 대해서도 인쇄할 수 있다.
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公开(公告)号：KR100366657B1
公开(公告)日：2003-01-06
申请号：KR1020010007611
申请日：2001-02-15
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 김대현
IPC: G06F3/12
Abstract: PURPOSE: A method and a device for converting the text file of a printed image are provided to convert the text file data converted into a printer output image via a printer driver into an original file. CONSTITUTION: An instruction check unit(602) checks an instruction by using the reference data. If the second token data are on an instruction list(606), a token pointer is moved. If printer output image data remain, new second token data are obtained. A control code check unit(603) checks the control code of the printer output image. When the second token data is not matched with the instruction on the instruction list, the third token data are obtained. If the control code matching to the third token data is in a control code list(605), the token pointer is moved. If printer output image data remains, new second token data are obtained. If the third token data is not matched with the control code of the control code list, a text data storage unit(604) stores the third token data in a specific file.
Abstract translation: 目的：提供一种用于转换打印图像的文本文件的方法和设备，用于将通过打印机驱动程序转换成打印机输出图像的文本文件数据转换为原始文件。 构成：指令检查单元（602）通过使用参考数据检查指令。 如果第二标记数据在指令列表（606）上，则移动标记指针。 如果打印机输出图像数据保留，则获得新的第二令牌数据。 控制码检查单元（603）检查打印机输出图像的控制码。 当第二标记数据与指令列表上的指令不匹配时，获得第三标记数据。 如果与第三标记数据匹配的控制代码在控制代码列表中（605），则令牌指针被移动。 如果打印机输出图像数据保留，则获得新的第二令牌数据。 如果第三标记数据与控制代码列表的控制代码不匹配，则文本数据存储单元（604）将第三标记数据存储在特定文件中。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020020067194A
公开(公告)日：2002-08-22
申请号：KR1020010007611
申请日：2001-02-15
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 김대현
IPC: G06F3/12
Abstract: PURPOSE: A method and a device for converting the text file of a printed image are provided to convert the text file data converted into a printer output image via a printer driver into an original file. CONSTITUTION: An instruction check unit(602) checks an instruction by using the reference data. If the second token data are on an instruction list(606), a token pointer is moved. If printer output image data remain, new second token data are obtained. A control code check unit(603) checks the control code of the printer output image. When the second token data is not matched with the instruction on the instruction list, the third token data are obtained. If the control code matching to the third token data is in a control code list(605), the token pointer is moved. If printer output image data remains, new second token data are obtained. If the third token data is not matched with the control code of the control code list, a text data storage unit(604) stores the third token data in a specific file.
Abstract translation: 目的：提供用于转换打印图像的文本文件的方法和设备，以将经打印机驱动器转换成打印机输出图像的文本文件数据转换为原始文件。 构成：指令检查单元（602）通过使用参考数据来检查指令。 如果第二令牌数据在指令列表（606）上，则令牌指针被移动。 如果打印机输出图像数据保留，则获得新的第二令牌数据。 控制代码检查单元（603）检查打印机输出图像的控制代码。 当第二令牌数据与指令列表上的指令不匹配时，获得第三令牌数据。 如果与第三令牌数据匹配的控制代码处于控制代码列表（605）中，则令牌指针被移动。 如果打印机输出图像数据保留，则获得新的第二令牌数据。 如果第三令牌数据与控制代码列表的控制代码不匹配，则文本数据存储单元（604）将第三令牌数据存储在特定文件中。
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公开(公告)号：KR1020010027011A
公开(公告)日：2001-04-06
申请号：KR1019990038567
申请日：1999-09-10
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/205
Abstract: PURPOSE: An apparatus capable of depositing a metal and etching the deposited metal in a plasma manner is provided to attain more reliable cleaning and preliminary depositing processes and thereby to prevent any undesirable defects due to particles. CONSTITUTION: The apparatus is on standby during an intermediate interval of time between consecutive fabricating processes for a semiconductor device. When a signal informing the start(22) of the next process is inputted into the apparatus in a standby state(21), the apparatus counts a standby time(23). Then, the apparatus sequentially performs the cleaning process(24) and the preliminary depositing process(25) during an appropriate time according to the counted standby time. After the preliminary depositing process(25) is complete, a wafer is loaded into a chamber of the apparatus(26) and then a regular depositing process is carried out(27).
Abstract translation: 目的：提供能够沉积金属并以等离子体方式蚀刻沉积的金属的装置，以获得更可靠的清洁和初步沉积工艺，从而防止由于颗粒引起的任何不期望的缺陷。 构成：在半导体器件的连续制造工艺之间的中间间隔期间，该装置处于待机状态。 当通知下一个处理的开始（22）的信号在待机状态（21）中被输入到装置中时，装置对待机时间进行计数（23）。 然后，根据计数的待机时间，在适当的时间内，依次进行清洗处理（24）和预备处理（25）。 在初步沉积工艺（25）完成之后，将晶片装入设备（26）的腔室中，然后执行常规沉积工艺（27）。
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公开(公告)号：KR101932664B1
公开(公告)日：2018-12-26
申请号：KR1020120093883
申请日：2012-08-27
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: G11C29/00
Abstract: 리던던시 셀을 포함하는 반도체 메모리 장치 및 시스템이 개시된다. 본 발명의 일실시예에 따른 반도체 메모리 장치는, 각각 데이터 라인에 연결되는 복수의 셀 그룹들과, 상기 복수의 셀 그룹들에 포함된 불량 셀을 리페어하기 위한 리던던시 셀들을 포함하고, 리던던시 데이터 라인에 연결되는 리던던시 셀 그룹 및 상기 복수의 셀 그룹들에 대응하는 복수의 선택부들을 포함하고, 제1 셀 그룹에 대응하는 제1 선택부는 제1 데이터 라인 및 적어도 두 개의 다른 데이터 라인에 연결되고, 불량 셀이 억세스될 때 상기 적어도 두 개의 다른 데이터 라인들 중 어느 하나의 데이터 라인을 통한 데이터를 선택적으로 출력하는 데이터 라인 선택블록을 구비하는 것을 특징으로 한다.
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公开(公告)号：KR101717179B1
公开(公告)日：2017-03-16
申请号：KR1020130001800
申请日：2013-01-07
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: G06F3/02 , G06F3/0488 , G06F3/147 , H04N5/44 , H04N21/422
CPC classification number: H04N5/4403 , G06F3/0227 , H04N21/42214 , H04N21/42218 , H04N2005/4419
Abstract: 디스플레이장치가개시된다. 본디스플레이장치는, 문자입력을받기위한사용자인터페이스창을표시하는표시부, 제어디바이스로부터문자입력을위한제어명령을입력받는통신인터페이스부, 및, 제어디바이스의문자입력수단의구비여부에따라, 문자입력을위한온 스크린키패드(On Screen keyped)를선택적으로사용자인터페이스창에표시되도록제어하는제어부를포함한다.
Abstract translation: 公开了一种显示装置。 显示设备包括：显示单元，显示用于接收字符输入的用户界面窗口;通信接口单元，从控制设备接收用于输入字符的控制命令;以及控制设备的字符输入单元， 还有一个控制单元，用于选择性地控制屏幕键盘（屏幕键盘）以显示在用户界面窗口上。
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