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公开(公告)号：JPWO2012108316A1
公开(公告)日：2014-07-03
申请号：JP2012556843
申请日：2012-02-01
Applicant: 株式会社フジクラ , 国立大学法人 東京大学 , 国立大学法人 東京大学
IPC: C03C23/00 , B23K26/382 , B23K26/40 , C03B33/02 , C03C15/00
CPC classification number: B81C1/00547 , B23K26/0054 , B32B3/266 , B81B2201/0214 , B81B2201/058 , B81B2203/0353 , B81C1/00507 , B81C2201/013 , B81C2201/0143 , C03C15/00 , C03C23/0025 , Y10T428/24273
Abstract: 微細孔を有する基体の製造方法であって、基体の内部において、ピコ秒オーダー以下のパルス時間幅を有する第一のレーザー光の焦点を走査して、少なくとも1つの第一改質部および第二改質部を形成し、前記基体の内部においてピコ秒オーダー以下のパルス時間幅を有する第二のレーザー光の焦点を走査して、複数個の第三改質部および第四改質部からなる、周期的な改質群を形成し、前記第一改質部および前記第二改質部と前記改質群とが重なるように、或いは、接するように形成された基体を得て、前記第一改質部および前記第三改質部をエッチングによって除去して前記微細孔を形成することを特徴とする微細孔を有する基体の製造方法。
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公开(公告)号：JP4006994B2
公开(公告)日：2007-11-14
申请号：JP2001385258
申请日：2001-12-18
Applicant: 株式会社リコー , 独立行政法人理化学研究所
CPC classification number: G11B7/125 , B23K26/009 , B23K26/066 , B23K26/18 , B29C33/3857 , B29C64/129 , B81B2203/033 , B81B2203/0392 , B81C1/00103 , B81C99/009 , B81C2201/0143 , G02B5/1857 , G03H2001/0478 , G11B7/261 , Y10S428/913 , Y10T428/12389 , Y10T428/12396 , Y10T428/24917 , Y10T428/24926 , Y10T428/24942 , Y10T428/31623
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公开(公告)号：JP2005527384A
公开(公告)日：2005-09-15
申请号：JP2003518970
申请日：2002-08-02
Applicant: ヒューレット・パッカード・カンパニーHewlett−Packard Company
Inventor： トーマス・ダヴリュー・アイベス
CPC classification number: G01P15/08 , B81B3/007 , B81B2201/0235 , B81C2201/0143 , G01P2015/0817
Abstract: 微小電気機械システムの基板内に画定される微小電気機械素子（ＭＥＭＤ）は、対象領域を画定する質量素子を含む。 またその素子は、基板から離隔して配置される関係にある質量素子を支持する支持ビームを含む。 支持ビームは、基板に接続される第１の固定端と、質量素子に接続される第１の遊端とによって画定される第１のビーム部材を含む。 支持ビームはさらに、基板に接続される第２の固定端と、質量素子に接続される第２の遊端とによって画定される第２のビーム部材を含む。 ビーム部材は互いから離隔して配置される関係にある。 第１の交差部材が第１のビーム部材と第２のビーム部材とを接続する。 支持ビームは複数の交差部材を含むことが好ましい。 ２つのそのような支持ビームを用いて、ブリッジ構成で、ＭＥＭＤ内の質量素子を支持することができる。
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公开(公告)号：WO2016018736A1
公开(公告)日：2016-02-04
申请号：PCT/US2015/041900
申请日：2015-07-24
Applicant: MICROSOFT TECHNOLOGY LICENSING, LLC
Inventor： SAINIEMI, Lauri , LEVOLA, Tapani , SAARIKKO, Pasi
CPC classification number: H01J37/3053 , B81C1/00547 , B81C99/0025 , B81C2201/0143 , G02B5/1857
Abstract: A microfabrication apparatus for fabricating a microstructure on a substrate is disclosed and comprises a partitioning system arranged to provide an aperture, a particle source that can generate a beam of particles for patterning the substrate and a substrate holder which supports the substrate. Relative motion is effected between the aperture and the substrate over a portion of the substrate's surface so that different points on the surface portion are exposed at different times. Whilst that motion is ongoing, one or more exposure conditions are varied so that the different points are subject to different exposure conditions. Corresponding microfabrication processes and products obtained thereby are also disclosed.
Abstract translation: 公开了一种用于在基板上制造微结构的微细加工装置，其包括布置成提供孔的分隔系统，可产生用于图案化基板的颗粒束的颗粒源和支撑基板的基板支架。 在基板表面的一部分上的孔和基板之间进行相对运动，使得表面部分上的不同点在不同的时间被曝光。 虽然该运动正在进行，一个或多个曝光条件是变化的，使得不同的点受到不同的曝光条件的影响。 还公开了相应的微加工工艺和由此获得的产品。
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135.发明申请SERS-SENSOR WITH NANOSTRUCTURED LAYER AND METHODS OF MAKING AND USING 审中-公开具有纳米结构层的SERS传感器及其制造和使用方法
公开(公告)号：WO2013141740A1
公开(公告)日：2013-09-26
申请号：PCT/RU2012/000210
申请日：2012-03-23
CPC classification number: G01N21/658 , B81C1/00031 , B81C2201/0143 , B82Y15/00 , B82Y40/00 , C23C14/3442 , G01N2201/06113 , Y10S977/81
Abstract: A nanostructured arrangement includes a substrate having a surface and comprising a metal and a nanostructured layer formed on the substrate surface by an ion beam. The nanostructured layer includes a plurality of hollow metal nanospheres. Each of the plurality of nanospheres includes a chemical compound formed from the metal of the substrate by the ion beam. An example of a nanostructured arrangement is a surface enhanced Raman scattering (SERS) sensor.
Abstract translation: 纳米结构布置包括具有表面并且包括通过离子束在衬底表面上形成的金属和纳米结构层的衬底。 纳米结构层包括多个中空金属纳米球。 多个纳米球中的每一个包括通过离子束从衬底的金属形成的化合物。 纳米结构布置的示例是表面增强拉曼散射（SERS）传感器。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：WO2013070583A1
公开(公告)日：2013-05-16
申请号：PCT/US2012/063678
申请日：2012-11-06
Applicant: QUALCOMM MEMS TECHNOLOGIES, INC.
Inventor： SASAGAWA, Teruo
IPC: B81C1/00
CPC classification number: B81C1/00492 , B81C1/00269 , B81C2201/0143 , B81C2203/019
Abstract: A laser absorption layer (91) is first selectively formed in a seal pattern region surrounding an array of electromechanical systems elements (90), followed by depositing an antistiction layer (93) as a blanket layer over the substrate and the laser absorption layer. The antistiction layer is then selectively removed from the seal pattern using a laser. An epoxy sealing material (100) is provided in the seal pattern where the antistiction layer was removed and a backplate (101) is sealed to the substrate using epoxy.
Abstract translation: 激光吸收层（91）首先选择性地形成在围绕机电系统元件（90）的阵列的密封图案区域中，随后在衬底和激光吸收层上沉积作为覆盖层的抗静电层（93）。 然后使用激光从密封图案中选择性地去除抗静电层。 在密封图案中设置环氧密封材料（100），其中除去抗静电层，并且使用环氧树脂将背板（101）密封到基底上。
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公开(公告)号：WO2012099635A3
公开(公告)日：2012-12-27
申请号：PCT/US2011057805
申请日：2011-10-26
Applicant: HARVARD COLLEGE , BRANTON DANIEL , HAN ANPAN , GOLOVCHENKO JENE A
Inventor： BRANTON DANIEL , HAN ANPAN , GOLOVCHENKO JENE A
IPC: H01L21/027
CPC classification number: G03F7/2059 , B81C1/00531 , B81C2201/0143 , B81C2201/0159 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G01N23/2251 , H01J37/3174 , H01J2237/004 , H01J2237/022 , H01J2237/2002 , H01J2237/2803 , H01J2237/2809 , H01J2237/31796 , H01L21/0331 , H01L22/12 , H01L51/0014 , H01L51/0048
Abstract: In a method for imaging a solid state substrate, a vapor is condensed to an amorphous solid water condensate layer on a surface of a solid state substrate. Then an image of at least a portion of the substrate surface is produced by scanning an electron beam along the substrate surface through the water condensate layer. The water condensate layer integrity is maintained during electron beam scanning to prevent electron-beam contamination from reaching the substrate during electron beam scanning. Then one or more regions of the layer can be locally removed by directing an electron beam at the regions. A material layer can be deposited on top of the water condensate layer and any substrate surface exposed at the one or more regions, and the water condensate layer and regions of the material layer on top of the layer can be removed, leaving a patterned material layer on the substrate.
Abstract translation: 在用于使固态衬底成像的方法中，蒸汽被冷凝成固态衬底表面上的无定形固体水凝聚物层。 然后通过水冷凝层沿基板表面扫描电子束产生至少一部分基板表面的图像。 在电子束扫描期间保持凝结水层的完整性，以防止在电子束扫描期间电子束污染物到达衬底。 然后可以通过在这些区域处引导电子束来局部去除该层的一个或多个区域。 材料层可以沉积在水冷凝层和在一个或多个区域处暴露的任何基底表面的顶部，并且可以去除层的顶部上的水凝结物层和材料层的区域，留下图案化的材料层 在衬底上。
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公开(公告)号：WO2012108316A1
公开(公告)日：2012-08-16
申请号：PCT/JP2012/052255
申请日：2012-02-01
Applicant: 株式会社フジクラ , 技術研究組合BEANS研究所 , 国立大学法人東京大学 , 額賀 理 , 山本 敏 , 田端 和仁 , 杉山 正和
CPC classification number: B81C1/00547 , B23K26/0054 , B32B3/266 , B81B2201/0214 , B81B2201/058 , B81B2203/0353 , B81C1/00507 , B81C2201/013 , B81C2201/0143 , C03C15/00 , C03C23/0025 , Y10T428/24273
Abstract: 微細孔を有する基体の製造方法であって、基体の内部において、ピコ秒オーダー以下のパルス時間幅を有する第一のレーザー光の焦点を走査して、少なくとも１つの第一改質部および第二改質部を形成し、前記基体の内部においてピコ秒オーダー以下のパルス時間幅を有する第二のレーザー光の焦点を走査して、複数個の第三改質部および第四改質部からなる、周期的な改質群を形成し、前記第一改質部および前記第二改質部と前記改質群とが重なるように、或いは、接するように形成された基体を得て、前記第一改質部および前記第三改質部をエッチングによって除去して前記微細孔を形成することを特徴とする微細孔を有する基体の製造方法。
Abstract translation: 具有微孔的基板的制造方法的特征在于，通过在基板内扫描具有微秒级以下的脉冲持续时间的第一激光束的焦点，形成至少一个第一重整部分和一个第二重整部分，形成 通过在衬底内扫描具有脉波持续时间为微微秒或更小的脉冲持续时间的第二激光束的焦点，从多个第三重整部分和多个第四重整部分构成的周期性重整组，获得其中第一重整 部分，第二重整部分和重整体组合形成为彼此重叠或彼此接触，并且通过蚀刻去除第一重整部分和第三重整部分而形成微孔。
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公开(公告)号：WO2012017904A1
公开(公告)日：2012-02-09
申请号：PCT/JP2011/067204
申请日：2011-07-28
CPC classification number: B05D3/06 , B01L3/502707 , B01L3/502715 , B01L2300/0654 , B01L2300/0816 , B01L2300/0851 , B01L2300/0877 , B01L2300/168 , B01L2400/086 , B05D3/10 , B81B2201/058 , B81B2203/033 , B81B2203/0361 , B81B2207/056 , B81C1/00063 , B81C1/00515 , B81C2201/0143 , G01N21/554 , G01N21/6452 , G01N21/648
Abstract: このマイクロ流体チップの製造方法は、基板表面において、液体を内在させるための凹部を設ける領域に、パルス時間幅がピコ秒オーダー以下のパルス幅を有するレーザー光を照射して、前記レーザー光の集光域に、自己組織的に形成される周期的パターンを有する改質部を形成し；前記改質部が形成された前記基板に対してエッチング処理を行い、前記改質部の少なくとも一部を除去して前記凹部を設けると共に、前記周期的パターンに基づく表面プロファイルを有する、一方向に沿った複数の溝部を含む周期構造を、前記凹部の少なくとも底面に、形成し；前記底面の前記周期構造を覆う金属層を形成する。
Abstract translation: 所公开的微流控芯片制造方法包括：将具有脉冲时间宽度的激光以皮秒的数量照射到具有用于在基板表面中保持流体的凹部的区域上，并且在激光的聚焦区域中， 具有通过自组织形成的周期性图案的改质部分; 在形成了重整部分的基板上进行蚀刻处理，去除至少一部分重整部分以形成上述凹部，并且至少在凹部的底面上形成具有形成表面轮廓的周期性结构 基于上述周期性图案，并且包含在一个方向上形成的多个凹槽; 并且在上述底面上形成覆盖上述周期性结构的金属层。
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公开(公告)号：WO2011120773A1
公开(公告)日：2011-10-06
申请号：PCT/EP2011/053573
申请日：2011-03-10
Inventor： SCHOEN, Christian , WAGENER, Michael
IPC: B01L3/00
CPC classification number: B01J4/001 , B01L3/502707 , B01L3/502738 , B01L3/502746 , B01L2200/0621 , B01L2200/10 , B01L2300/0636 , B01L2300/0681 , B01L2300/0816 , B01L2300/0822 , B01L2300/0864 , B01L2300/0887 , B01L2300/161 , B01L2400/0406 , B01L2400/0688 , B01L2400/088 , B81C1/00047 , B81C1/00063 , B81C2201/0105 , B81C2201/0143 , B81C2201/0156 , Y10T137/85938
Abstract: Die Erfindung betrifft ein Bauteil (4) eines Biosensors, mit wenigstens einer ersten Einrichtung (6) zur Aufnahme einer Probenflüssigkeit, wobei die Einrichtung (6) über einen Verteilerkanal (7) mit weiteren Aufnahmeeinrichtungen (8 bis 11) verbunden ist, in die jeweils ein vom Verteilerkanal (7) abzweigender Zulaufkanal (71, 72, 73, 74) mündet und die Zulaufkanäle (71, 72, 73, 74) in Strömungsrichtung (S) der durch den Verteilerkanal (7) weitergeleiteten Probenflüssigkeit aufeinander folgend angeordnet sind. Erfindungsgemäß ist vorgesehen, dass im Verteilerkanal (7) jeweils zwischen zwei in Strömungsrichtung (S) unmittelbar aufeinander folgenden Zulaufkanälen (71, 72; 72, 73; 73, 74) wenigstens ein Bereich (K) zum zumindest zeitweisen Verlangsamen oder Stoppen des kapillaren Flusses der Probenflüssigkeit eingebracht ist. Hierdurch ist es möglich, den kapillaren Fluss der Probenflüssigkeit so zu steuern, dass mit dem zur Verfügung stehenden Volumenstrom an Probenflüssigkeit immer nur jeweils eine Aufnahmeeinrichtung (8, 9, 10, 11) befüllt wird, bevor die nächste befüllt wird und eine quasi gleichzeitige Befüllung der Aufnahmeeinrichtungen (8, 9, 10, 11) verhindert wird. Dies führt zu einer schnellen und vollständigen Befüllung der jeweiligen Aufnahmeeinrichtung (8, 9, 10, 11). Des Weiteren wird ein Verfahren vorgestellt, mit dem auf einfache Weise die Bereiche (K) in den Verteilerkanal (7) eingebracht werden können.
Abstract translation: 本发明涉及的成分（4），其具有的生物传感器中的至少一个第一装置（6），用于接收样品液，其中，所述装置（6）通过分配器通道（7）与另外的接收装置（8〜11）连接，在各 一个从所述入口管道（71，72，73，74）分支出分配通道（7）打开，并且所述入口通道（71，72，73，74）在由转发（7）的样品液体中的分配通道的流动方向（S）被连续布置。 根据本发明，它提供了在流动（S）直接连续流入通道的方向上的每两个之间的分配通道（7）（71，72; 72，73; 73，74）的至少一部分（K）用于至少暂时减缓或毛细流动的停止 样品液体被引入。 这使得有可能以控制样品液体的毛细管流动，使得填充有样品液体的可用流永远只有一个记录装置（8，9，10，11）之前的下一个填充和一个准同步灌装 记录装置（8，9，10，11）被防止。 这导致相应的接收装置（8，9，10，11）的快速和完全的填充。 此外，提出了一种方法，通过它以简单的方式（K）的区域到所述分配通道（7）可被引入。
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