Abstract:
본 발명은 디엔에이(DNA)의 증폭율을 높이고 전체 증폭사이클 시간을 단축하기 위해 3차원 구조물을 이용하여 열전달율을 향상시킨 중합효소 연쇄반응(PCR) 챔버 및 이를 채용한 PCR 랩온어칩을 제공한다. 본 발명의 PCR 챔버는, 기판에 일정 깊이를 갖고 배치된 트랜치 형태의 챔버, 및 챔버 내부에 돌출되는 3차원 구조물을 포함하되, 3차원 구조물이 챔버에 투입되는 샘플과 챔버 내부면과의 접촉 면적을 넓히는 것을 특징으로 하며, 본 발명의 PCR 랩온어칩은, 기판에 일정 깊이를 갖고 트랜치 형태로 배치되며 그 내부에 3차원 구조물이 돌출된 적어도 하나의 챔버, 및 이 챔버의 하부측에 접합되며 챔버에 열을 가하는 히터를 포함하되, 3차원 구조물이 챔버에 투입되는 반응액과 챔버 내부면과의 접촉 면적을 넓히는 것을 특징으로 한다. 중합효소 연쇄반응, PCR, 랩온어칩, DNA 증폭, 챔버, 열전달
Abstract:
본 발명은 생체분자 어레이 형성을 위한 광 리소그라피 공정에 사용되는 프로그래머블 마스크 및 이를 이용한 생체분자 어레이 형성방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 외부의 평행광 노광장치에서 발생된 평행한 UV(ultraviolet)광을 특정 셀에 조사함과 아울러 수직 배향된 액정패널 또는 스페이서가 없는 액정패널을 사용함으로써, 각 화소를 이루는 액정에 입사된 빛의 투과 대 차단의 콘트라스트 비가 증가될 수 있도록 한 프로그래머블 마스크 및 이를 이용한 생체분자 어레이 형성방법에 관한 것이다. 생체분자 어레이, 고분자 어레이, DNA칩, 프로그래머블 마스크, 평행광 노광장치, 수직 배향막, 스페이서
Abstract:
본 발명은 감광막 패턴 형성 방법에 관한 것으로, 반도체 소자 또는 MEMS 소자 제고 공정중 고단차 수직 트렌치의 개구부를 DFR으로 봉쇄하여 포토리소그라피를 가능하게 하고, 감광막 패턴을 형성하기 위해 감광막을 스핀 도포 방식으로 도포할 경우 감광막이 트렌치 내부로 흘러 들어가는 것이 예방할 수 있으며, 고단차 수직 트렌치의 개구부 가장자리에 스핀도포하는 감광막을 안정하게 부착할 수 있는 감광막 패턴 형성 방법을 제공한다.
Abstract:
Provided are an electric switching device with improved reliability and improved speed characteristics and an electric circuit device having the electric switching device. In the electric switching device, a first area is formed on an insulating substrate, and a second area formed on the insulating substrate such as to be a predetermined apart from the first area. The first and second areas contract or expand depending on the intensity of a laser.
Abstract:
PURPOSE: An apparatus for generating patterned light for fabrication of a biopolymer array and an apparatus for fabricating the biopolymer array using the same are provided, thereby easily generating patterned light, requiring no additional lens system, and easily obtaining a high light intensity contrast ratio. CONSTITUTION: An apparatus for generating patterned light for fabrication of a biopolymer array comprises a plurality of unit light generating devices arranged in the array type on a same plane; and an operating portion selectively operating a portion of unit light generating devices corresponding to the desired light pattern to generate the desired patterned light, wherein the unit light generating device comprises lower and upper boards(310, 320), first and second electrodes(311, 312), a first dielectric membrane(313), a protection membrane(314), a third electrode, a second dielectric membrane(322), septum(330), and a fluorescent body(340); and the operating portion comprises a first and second scanning operating portions, and an address operating portion.
Abstract:
PURPOSE: A method for improving reflectivity of a mirror side of an optical switch for optical cross connector is provided to prevent the attenuation of signal beam by improving the reflectivity of a side section of a mirror portion. CONSTITUTION: A mirror portion(62) having a scallop formed on a side section(62a) is provided. A high reflective layer(70) is deposited on the side section of the mirror portion in order to bury the scallop. The high reflective layer is recrystallized. In the process for providing the mirror portion, an SOI substrate is formed by depositing sequentially a buried layer and a silicon layer on a substrate. The silicon layer is etched by using a deep-RIE method and the mirror portion is formed thereby. The scallop is formed on the side section of the mirror portion by performing the deep-RIE process.
Abstract:
본 발명은 전자소자의 진공패키징 기술에 관한 것이다. 전자소자로는 평판표시소자, 각종 센서, 엑튜에이터 등이 포함되며 특히 자발광 평판표시소자인 전계발광 표시소자와 플라즈마 디스플레이의 패널의 진공패키징에 본 발명의 기술을 적용한다. 전자소자의 진공패키징을 위한 평탄화장치는 프릿유리가 도포된 기판이 안착되는 안착수단과, 상기 안착수단에 대해 상대적인 운동을 하면서 상기 기판에 도포된 프릿유리를 압착하는 압착수단, 및 상기 안착수단과 압착수단 사이의 간격을 조절하여 상기 프릿유리의 압착정도를 조절하는 조절수단을 포함한다. 또한, 진공패키징 방법은 상기 상부기판과 하부기판 중 어느 하나의 기판에 프릿유리를 도포하는 제 1 단계와; 상기 기판에 도포된 프릿유리를 건조시키는 제 2 단계; 상기 건조된 프릿유리를 압착하여 상기 프릿유리의 두께를 조절함과 아울러 평탄화하는 제 3 단계; 및 상기 평탄화된 프릿유리를 예비소결하고 상기 두 기판을 정렬하며, 상기 프릿유리를 소결시켜 상기 두 기판을 실링하는 제 4 단계를 포함한다. 이러한 본 발명에 따르면, 프릿유리의 건조공정에 이어서 연속적으로 프릿유리의 평탄화공정을 수행하기 때문에 프릿유리의 두께를 쉽게 조절할 수 있으며, 상부기판과 하부기판을 수월하게 정렬할 수 있다. 또한, 프릿유리를 사용한 진공패키징 공정시 유리기판의 파손을 줄일 수 있으며, 국부적인 표면가열방법으로 프릿유리를 소결시켜 상부기판과 하부기판을 실링시킬 수 있다.
Abstract:
PURPOSE: A high brightness FED is provided to be capable of enabling a low-voltage drive, stabilizing electron emission characteristic, enhancing uniformity and reliability, and removing cross-talk by separating signal lines and acceleration electrodes. CONSTITUTION: Row signal lines(41R) and column signal lines(41C) of stripe shape are formed of metal on a transparent substrate to enable electrical matrix addressing. Film type electric field emitters(42), control devices(43) and addressing devices(44) are formed within respective pixels defined by the row/column signals(41R,41C). The control device(43) is connected to the emitter(42) to control electric field emission current. The addressing device(44) is connected to the control device(43) and the row/column signals(41R,41C) to transfer the scan, data signals of a display to the control device(43).