公开(公告)号：KR20180028787A

公开(公告)日：2018-03-19

申请号：KR20160116576

申请日：2016-09-09

IPC: G01N21/21 ,  G01N21/88

CPC classification number: G01N21/211 ,  G01N21/8806 ,  G01N21/9501 ,  G01N2021/8848 ,  G01N2201/0683 ,  H04N5/2256 ,  H04N5/247

Abstract: 본발명의기술적사상은검사대상의디펙을정밀하게검출하면서도고속으로검출할수 있는디펙검사시스템과방법을제공한다. 그디펙검사시스템은광원; 상기광원으로부터의광을선형편광시키는선형편광기; 상기선형편광기로부터의광을원편광또는타원편광시키는보상자; 검사대상이배치되는스테이지; 상기검사대상으로부터반사된광을선택적으로통과시키는편광분석기; 및상기편광분석기로부터의광을수집하는제1 카메라;를포함하고, 상기보상자를통과한광은상기검사대상에경사입사되고, 상기검사대상으로부터반사된상기광 중에서디펙이없는상태에서반사된광에해당하는기준광은상기편광분석기에의해차단되도록하고상기검사대상의디펙을검출한다.

Abstract translation: 提供了一种缺陷检查系统和检查缺陷的方法，通过该缺陷检查系统和方法可以高速精确检测检查目标中的缺陷。 缺陷检查系统包括光源，线性偏振器以线性偏振来自光源的光，补偿器用于圆偏振或椭圆偏振来自线性偏振器的光，检测目标位于其上的阶段，偏振分析器选择性地透射 被检查对象反射的光以及用于收集来自偏振分析器的光的第一照相机。 透过了补偿器的光相对检查对象倾斜入射，被检查对象反射的光中的与无缺陷状态下反射的光对应的参照光被偏光分析仪遮断。

公开(公告)号：KR1020170120147A

公开(公告)日：2017-10-30

申请号：KR1020177026512

申请日：2016-02-22

Applicant: 케이엘에이-텐코 코포레이션

Inventor： 벨드만안드레이

IPC: G03F7/20 ,  G01B11/06 ,  G01N21/21 ,  G01N21/25 ,  G05B19/406

CPC classification number: G05B19/406 ,  G01B11/0641 ,  G01B2210/56 ,  G01N21/211 ,  G01N21/255 ,  G01N2021/213 ,  G01N2201/061 ,  G01N2201/0683 ,  G01N2201/12 ,  G03F7/705 ,  G03F7/70625 ,  G03F7/70633 ,  G05B2219/45031

Abstract: 감소된계산노력및 메모리요건을갖는복잡한디바이스구조체의측정모델을해결하기위한방법및 시스템이제시된다. 절단된공간고조파급수에기초한전자기시뮬레이션알고리즘의계산효율성은, 기본공간주기및 기본공간주기의정수분율(fraction)인하나이상의근사주기를나타내는주기적타겟에대해향상된다. 공간고조파는다중주기성을나타내는타겟의각기별개의주기에따라분류된다. 별개의절단차수는공간고조파의각각의그룹에대해선택된다. 이접근법은최적의희소절단차수샘플링패턴을생성하고, 타겟의근사에중요한기여를하는고조파만이계산을위해선택되는것을보장한다. 이들기술을활용하는계측시스템은상이한반도체제조프로세스와관련된프로세스파라미터와구조적특성및 재료특성을측정하도록구성된다.

Abstract translation: 提出了一种用于解决复杂装置结构的测量模型的方法和系统，其具有减少的计算量和存储器需求。 基于截断空间谐波序列的电磁仿真算法的计算效率在代表基本空间周期的近似周期和基本空间周期分数减少或更多的周期性目标中得到了改进。 空间谐波根据目标的不同周期进行分类，表示多周期性。 为每组空间谐波选择单独的截断顺序。 这种方法可以生成最佳的几乎不受限制的采样模式，并确保只选择对目标近似做出重要贡献的谐波进行计算。 利用这些技术的测量系统被配置为测量与不同半导体制造工艺相关的工艺参数和结构以及材料特性。

公开(公告)号：KR1020170092522A

公开(公告)日：2017-08-11

申请号：KR1020177006494

申请日：2015-09-08

Applicant: 더 리서치 파운데이션 포 더 스테이트 유니버시티 오브 뉴욕

Inventor： 오물렌,샘 ,  디에볼드,알레인 ,  피터슨,브레넌 ,  켈러,니콜라스

IPC: G01N21/95 ,  G01N21/956 ,  G01N21/21 ,  G01N21/25

CPC classification number: G01N21/211 ,  G01B11/02 ,  G01N21/9501 ,  G01N21/956 ,  G01N2021/213 ,  G01N2201/0683 ,  G01N21/25

Abstract: 일실시예에있어서, 격자패턴을갖는금속격자를포함하며, 이금속격자는최소배선폭을포함하는구조가설명된다. 금속격자는전자파방사선에노출될때 스펙트럼프로파일을출력할수 있으며, 이스펙트럼프로파일은특징(feature)을가진다. 격자패턴은, 최소배선폭의변동이스펙트럼프로파일의특징값에서의편이를생성하도록구성될수 있다. 본발명의일 방법은입사된전자기방사를 2 차원주기격자패턴을갖는금속격자상으로전파하는단계, 및이 금속격자로부터출력되는전자기방사를사용하여금속격자의최소배선폭을측정하는단계를포함한다.

Abstract translation: 在一个实施例中，描述了一种结构，其包括具有格子图案的金属光栅，并且该永恒象限包括最小线宽。 当暴露于电磁辐射时，金属网格可以输出光谱分布，并且该光谱分布具有特征。 格栅图案可以被配置为使得最小布线宽度的变化产生光谱轮廓的特征值的偏移。 本发明的一种方法包括将入射电磁辐射传播到具有二维周期性栅格图案的金属栅格上，并且使用从金属栅格输出的电磁辐射来测量金属栅格的最小线宽 的。

公开(公告)号：KR1020140039006A

公开(公告)日：2014-03-31

申请号：KR1020137034733

申请日：2012-06-11

Applicant: 케이엘에이-텐코 코포레이션

Inventor： 추앙융-호 ,  암스트롱조셉제이. ,  리우저스틴디안후안 ,  드리빈스키블라디미르 ,  브라운데이빗엘.

IPC: H01L21/66

CPC classification number: H01S3/0057 ,  G01N21/21 ,  G01N21/9501 ,  G01N2201/06113 ,  G01N2201/0683 ,  G01N2201/0697 ,  G02B5/0816 ,  G02B5/3083 ,  G02B27/281 ,  G02B27/283 ,  G02B27/286 ,  H01S3/083

Abstract: 펄스 증배기(pulse multiplier)는 편광 빔 스플리터(polarizing beam splitter), 파장판(wave plate), 및 한 세트의 거울들을 포함한다. 상기 편광 빔 스플리터는 입력 레이저 펄스를 받아 들인다. 상기 파장판은 상기 편광 빔 스플리터로부터 빛을 받아 들여 제 1 세트의 파장들 및 제 2 세트의 파장들을 발생시킨다. 상기 제 1 세트의 파장들은 상기 제 2 세트의 파장들과 서로 다른 편광을 가진다. 상기 편광 빔 스플리터, 상기 파장판, 및 상기 한 세트의 거울들은 고리형 공진기(ring cavity)를 생성시킨다. 상기 편광 빔 스플리터는 상기 제 1 세트의 펄스들을 상기 펄스 증배기의 출력으로서 투과시키고, 상기 제 2 세트의 펄스들을 상기 고리형 공진기로 반사시킨다. 이 펄스 증배기는 저렴한 비용으로, 최소한의 총 파워 손실로 초당 펄스들의 수를 증가시키면서 펄스당 피크 파워를 감소시킬 수 있다.

公开(公告)号：KR20060069801A

公开(公告)日：2006-06-22

申请号：KR20060041291

申请日：2006-05-09

Applicant: WON TECHNOLOGY CO LTD

Inventor： CHO CHANG HO ,  HA JUNG UK

IPC: H01S3/00

CPC classification number: H01S3/0071 ,  G01N2201/0683 ,  H01J31/32 ,  H01S3/101 ,  H01S3/11

Abstract: 본 발명은 부르스터 각으로 가공된 광학부품을 공진기 안에서 광축조준을 하는 방법에 관한 것이다. 레이저광을 단경정에 입사시킬 때 결정을 투과한 레이저 광은 코노스코프의 타원 동심원 무늬가 형성된다. 코노스코프의 타원 동심원 무늬(도 2) 위치와 조준 광축의 위치가 브르스터 각에 따라 다르게 형성된다. 코노스코프의 타원 동심원 무늬의 중심 좌표와 조준 광축의 좌표를 맞추어서 광축을 조준을 하는 방법이다.
광축조준, 코노스코프 , 부르스터각, 레이저공진기

公开(公告)号：WO2016024270A2

公开(公告)日：2016-02-18

申请号：PCT/IL2015/050808

申请日：2015-08-07

Applicant: ADOM, ADVANCED OPTICAL TECHNOLOGIES LTD.

Inventor： ARIELI, Yoel ,  COHEN, Yoel

IPC: G01B9/02

CPC classification number: G01B9/02091 ,  G01B9/02019 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/0224 ,  G01J3/447 ,  G01J3/453 ,  G01N21/31 ,  G01N2201/0636 ,  G01N2201/0683

Abstract: In a system for analyzing optical properties of an object (350) a point source of light (100) composed of multiple spectral bands each having a respective amplitude, phase and polarization is converted by first optics (120, 150) into a line light source to illuminate an object line on the object. A beam splitter (200) splits the light exiting the first optics and directs a first portion of light on to the object (350) as an illuminated line and a second portion of the light on to a reference mirror (450). Second optics (500) collects respective first and second lines of light reflected by the object and mirror of and collinearly images the reflected lines of light as an image line on to an imaging spectrometer (550) wherein mutual interference allows determination of the optical properties of the object at each point along the object line.

Abstract translation: 在用于分析物体（350）的光学特性的系统中，由具有相应振幅，相位和极化的多个光谱带组成的光源（100）由第一光学器件（120,150）转换成线光源 以照亮物体上的物体线。 分束器（200）将离开第一光学器件的光分开，并将光的第一部分作为照明线引导到物体（350），并将光的第二部分引导到参考反射镜（450）上。 第二光学器件（500）收集由物体和反射镜反射的相应的第一和第二光线，并将反射的光线作为图像线映射到成像光谱仪（550），其中相互干涉允许确定光学特性 物体沿着物体线的每个点。

公开(公告)号：WO2015132210A1

公开(公告)日：2015-09-11

申请号：PCT/EP2015/054326

申请日：2015-03-02

Applicant: COHERENT LASERSYSTEMS GMBH & CO. KG

Inventor： VAN DER WILT, Paul

IPC: H01L21/268 ,  G01N21/47 ,  G01N21/84 ,  H01L21/02

CPC classification number: H01L21/67253 ,  C30B1/02 ,  C30B29/06 ,  G01N21/21 ,  G01N21/4788 ,  G01N21/8422 ,  G01N21/8851 ,  G01N21/9501 ,  G01N2021/8461 ,  G01N2021/8477 ,  G01N2201/06113 ,  G01N2201/068 ,  G01N2201/0683 ,  G01N2201/0697 ,  G01N2201/10 ,  G01N2201/105 ,  G02B21/002 ,  G02B21/0092 ,  H01L21/02532 ,  H01L21/02686 ,  H01L21/268 ,  H01L22/12

Abstract: A method is disclosed evaluating a silicon layer (22) crystallized by irradiation with pulses from an excimer-laser. The crystallization produces periodic features on the crystallized layer dependent on the number of and energy density ED in the pulses to which the layer has been exposed. An area of the layer is illuminated with light (29). A microscope image of the illuminated area is made from light diffracted from the illuminated area by the periodic features. The microscope image includes corresponding periodic features. The ED is determined from a measure of the contrast of the periodic features in the microscope image.

Abstract translation: 公开了评估通过从准分子激光器的脉冲照射而结晶的硅层（22）的方法。 结晶层上产生周期性特征，取决于层暴露于的脉冲中的数量和能量密度ED。 该层的一个区域用光照亮（29）。 照明区域的显微镜图像由通过周期性特征从被照射区域衍射的光制成。 显微镜图像包括相应的周期特征。 ED是从显微镜图像中的周期特征的对比度的量度确定的。

公开(公告)号：WO2015099709A1

公开(公告)日：2015-07-02

申请号：PCT/US2013/077687

申请日：2013-12-24

Applicant: HALLIBURTON ENERGY SERVICES, INC.

Inventor： PRICE, James M. ,  NAYAK, Aditya B. ,  PERKINS, David L.

IPC: G01N21/17 ,  G01N21/41 ,  G01B11/06

CPC classification number: G01V13/00 ,  C23C14/505 ,  C23C14/52 ,  C23C14/547 ,  C23C14/548 ,  G01B11/0625 ,  G01B11/0683 ,  G01N21/211 ,  G01N21/27 ,  G01N21/59 ,  G01N21/8422 ,  G01N2201/0683 ,  G01N2201/12 ,  G01V8/12 ,  G02B5/285

Abstract: Techniques include receiving a design of an integrated computational element (ICE) including specification of a substrate and a plurality of layers, their respective target thicknesses and complex refractive indices, complex refractive indices of adjacent layers being different from each other, and a notional ICE fabricated in accordance with the ICE design being related to a characteristic of a sample; forming at least some of the layers of a plurality of ICEs in accordance with the ICE design using a deposition source, where the layers of the ICEs being formed are supported on a support that is periodically moved relative to the deposition source during the forming; monitoring characteristics of the layers of the ICEs during the forming, the monitoring of the characteristics being performed using a timing of the periodic motion of the support relative to the deposition source; and adjusting the forming based on results of the monitoring.

Abstract translation: 技术包括接收包括衬底和多个层的规格，它们各自的目标厚度和复折射率，相邻层的复折射率彼此不同的综合计算元件（ICE）的设计，以及名义上的ICE制造 根据ICE设计与样品的特性有关; 根据使用沉积源的ICE设计形成多个ICE的至少一些层，其中形成的IC的层被支撑在在成形期间相对于沉积源周期性移动的支撑件上; 在形成期间监测ICE层的特性，使用支撑体相对于沉积源的周期性运动的定时来监测正在执行的特性; 并根据监测结果调整成型。

公开(公告)号：WO2014189967A2

公开(公告)日：2014-11-27

申请号：PCT/US2014038837

申请日：2014-05-20

Applicant: HINDS INSTRUMENTS INC

Inventor： FREUDENTHAL JOHN ,  LEADBETTER ANDY ,  WANG BAOLIANG

IPC: G01N21/23

CPC classification number: G01N21/23 ,  G01J4/00 ,  G01N21/21 ,  G01N2201/0621 ,  G01N2201/0683

Abstract: This disclosure is generally directed to systems for imaging polarization properties of optical-material samples. As one aspect, there is provided a system for precise, simultaneous imaging of both the in-plane and out-of-plane birefringence properties of sample material over a wide range of incidence angles. The spatially resolved imaging approach described here is amenable to determination of a wide range of polarimetric properties, in addition to the inplane and out-of-plane birefringence measure discussed as a preferred embodiment.

Abstract translation: 本公开一般涉及用于对光学材料样品的偏振特性进行成像的系统。 作为一个方面，提供了一种用于在宽的入射角范围内精确地同时成像样品材料的平面内和平面外双折射性质的系统。 除了作为优选实施例讨论的面内和平面外的双折射度量之外，这里描述的空间分辨成像方法适于确定宽范围的偏振特性。

公开(公告)号：WO2014120158A1

公开(公告)日：2014-08-07

申请号：PCT/US2013/023894

申请日：2013-01-30

Applicant: HEWLETT-PACKARD DEVELOPMENT COMPANY, L.P.

Inventor： GIBSON, Gary ,  KUO, Huei Pei ,  BARCELO, Steven, J. ,  LI, Zhiyong

IPC: G01N21/65 ,  B82B1/00

CPC classification number: G01N21/658 ,  G01J3/4412 ,  G01N21/21 ,  G01N2201/06113 ,  G01N2201/0683

Abstract: Polarization selective surface enhanced Raman spectroscopy (SERS) includes a plurality of nanofingers arranged as a SERS multimer to exhibit a polarization-dependent plasmonic mode and one or both of a stimulus source and a Raman detector. The stimulus source is to illuminate the SERS multimer with a stimulus signal and the Raman detector is to detect a Raman scattering signal emitted by an analyte in a vicinity of the SERS multimer. One or both of the Raman scattering signal has a polarization state dictated by or associated with the polarization-dependent plasmonic mode and the stimulus signal has a polarization state corresponding to the polarization-dependent plasmonic mode.

Abstract translation: 极化选择性表面增强拉曼光谱（SERS）包括布置为SERS多聚体的多个纳米针，以表现出偏振相关等离子体激发模式以及刺激源和拉曼检测器中的一个或两个。 刺激源是用刺激信号照亮SERS多聚体，并且拉曼检测器检测由SERS多聚体附近的分析物发射的拉曼散射信号。 拉曼散射信号中的一个或两个具有由偏振相关等离子体激发模式指示或关联的偏振状态，并且刺激信号具有对应于偏振相关等离子体激发模式的偏振状态。