公开(公告)号：WO2015123507A1

公开(公告)日：2015-08-20

申请号：PCT/US2015/015791

申请日：2015-02-13

Applicant: HAGER ENVIRONMENTAL AND ATMOSPHERIC TECHNOLOGIES, LLC

Inventor： HAGER, J. Stewart ,  YEREM, Geoffrey

IPC: G01N21/49 ,  G01N21/39 ,  G01K11/32

CPC classification number: G01N21/39 ,  G01K11/00 ,  G01N2021/1793 ,  G01N2021/399 ,  G01N2201/105

Abstract: Aspects of the invention are directed to a device and method for detecting characteristics of a gas. The gas includes an exhausted plume from a vehicle or factory plant, leaked gas from an oil well or gas resource, or unidentified gas from an unknown source. The method includes sweepingly directing a beam of light through the gas to a target surface on which the beam of light is scattered, acquiring the scattered light scattered from the target surface, and processing the acquired scattered light to determine the characteristics of the gas, where the characteristics of the gas comprise at least one of a temperature of the gas and an amount of at least one ingredient of the gas.

Abstract translation: 本发明的方面涉及用于检测气体特性的装置和方法。 气体包括来自车辆或工厂的耗尽的羽流，从油井或天然气资源泄漏的气体，或来自未知来源的不明气体。 该方法包括将光束通过气体扫掠地引导至光束散射的目标表面，获取从目标表面散射的散射光，并处理所获取的散射光以确定气体的特性，其中 气体的特性包括气体的温度和气体的至少一种成分的量中的至少一种。

公开(公告)号：WO2014081899A1

公开(公告)日：2014-05-30

申请号：PCT/US2013/071111

申请日：2013-11-20

Applicant: KLA-TENCOR CORPORATION

Inventor： LANGE, Steven

IPC: H01L21/66

CPC classification number: G01N21/9501 ,  G01N21/3563 ,  G01N21/359 ,  G01N21/55 ,  G01N21/9503 ,  G01N2201/0612 ,  G01N2201/105

Abstract: Multi-spectral defect inspection for 3D wafers is provided. One system configured to detect defects in one or more structures formed on a wafer includes an illumination subsystem configured to direct light in discrete spectral bands to the one or more structures formed on the wafer. At least some of the discrete spectral bands are in the near infrared (NIR) wavelength range. Each of the discrete spectral bands has a bandpass that is less than 100 nm. The system also includes a detection subsystem configured to generate output responsive to light in the discrete spectral bands reflected from the one or more structures. In addition, the system includes a computer subsystem configured to detect defects in the one or more structures on the wafer using the output.

Abstract translation: 提供了三维晶圆的多光谱缺陷检测。 被配置为检测在晶片上形成的一个或多个结构中的缺陷的一个系统包括被配置为将离散光谱带中的光引导到在晶片上形成的一个或多个结构的照明子系统。 至少一些离散的光谱带处于近红外（NIR）波长范围。 每个离散的光谱带具有小于100nm的带通。 该系统还包括检测子系统，该检测子系统被配置为响应于从一个或多个结构反映的离散频谱带中的光产生输出。 此外，该系统包括被配置为使用该输出来检测晶片上的一个或多个结构中的缺陷的计算机子系统。

公开(公告)号：WO2013140924A1

公开(公告)日：2013-09-26

申请号：PCT/JP2013/054144

申请日：2013-02-20

Applicant: シャープ株式会社

Inventor： 渡邉　由紀夫

IPC: G02B21/00 ,  G01N21/64 ,  G02B21/02

CPC classification number: G01N21/645 ,  G01N21/6456 ,  G01N21/6486 ,  G01N2021/6471 ,  G01N2021/6478 ,  G01N2201/06113 ,  G01N2201/10 ,  G01N2201/103 ,  G01N2201/105 ,  G02B19/0028 ,  G02B19/0076 ,  G02B19/008 ,  G02B19/0085 ,  G02B21/0076 ,  G02B2207/113

Abstract: 対物レンズからサンプルまでの距離が異なっても上記サンプルからの光の分布を精度良く検出可能にする。 対物レンズからの光を平行光にする第１レンズ２３を、平面３２aの中心部に凹曲面３２cが形成された凹レンズ部３２と、平面３３bの周囲に凸曲面３３cが形成された凸レンズ部３３とで構成する。さらに、平面３３bと凹曲面３２cとを通って光を発散させる第１,第２領域と、凸曲面３３cと凹曲面３２cとを通って光を集光させる第３領域とを設ける。そして、サンプルを二次元電気泳動用基板中に封入してサンプル台に載置した場合は、上記対物レンズの側面で全反射された光を第２領域に入射させる一方、サンプルをサンプル台上に直接載置した場合は、上記光を第３領域に入射させる。その結果、何れの場合にも、第１レンズ２３から出射される光ｄの各光線は、互いに略平行であって且つ光軸に対しても略平行になる。

Abstract translation: 通过本发明，即使当从物镜到样品的距离变化时，可以高精度地检测来自样品的光的分布。 用于将物镜形成平行光的第一透镜（23）由在平坦表面（32a）的中心形成有凹面（32c）的凹透镜部（32）构成， 在平面（33b）的周围形成有凸面（33c）的凸透镜部（33）。 进一步提供使光分散通过平坦表面（33b）和凹面（32c）的第一和第二区域，以及用于通过凸面（33c）和凹面（32c）聚焦光的第三区域。 当将样品密封在用于二维电泳的基底中并安装在样品台上时，由物镜的侧表面全反射的光入射到第二区域上，并且当样品直接安装在样品上时 舞台上，灯光发生在第三个地区。 结果，在任何情况下，从第一透镜（23）发射的光束（d）基本上彼此平行并且基本上平行于光轴。

公开(公告)号：WO2013131999A1

公开(公告)日：2013-09-12

申请号：PCT/EP2013/054586

申请日：2013-03-07

Applicant: INNOVATIV VISION AB

Inventor： OLSSON, Anders ,  SERRANO, Erik ,  OSCARSSON, Jan ,  ENQUIST, Bertil ,  JOHANSSON, Marie ,  KÄLLSNER, Bo

IPC: G01N33/46 ,  G01N21/898

CPC classification number: G01N33/46 ,  G01N3/02 ,  G01N21/8986 ,  G01N2201/06113 ,  G01N2201/105

Abstract: The present disclosure relates to a method and device for evaluating a wooden board with an elongated direction. Data indicating fiber orientation over the surface of the board is acquired and for a number of board sub- portions a nominal local modulus of elasticity, MOE, is determined based on the fiber orientation data and a nominal material parameter. A nominal global MOE in the elongated direction for the wooden board as a whole is generated and compared with a secondary global MOE. Based on the fiber orientation data and this comparison an estimated local modulus of elasticity, MOE, in said elongated direction is generated for a number of board sub-portions. This data may be used e.g. for reliable strength grading of wooden boards.

Abstract translation: 本公开涉及一种用于评估具有细长方向的木板的方法和装置。 获取指示板的表面上的纤维取向的数据，并且对于多个板子部分，基于纤维取向数据和标称材料参数来确定标称的局部弹性模量MOE。 整个木板的拉伸方向的名义上的全球MOE被产生并与次级全球MOE进行比较。 基于纤维取向数据和该比较，对于多个板子部分产生在所述细长方向上的估计的局部弹性模量MOE。 该数据可以例如使用。 用于可靠的木板强度分级。

公开(公告)号：WO2013088746A1

公开(公告)日：2013-06-20

申请号：PCT/JP2012/008035

申请日：2012-12-17

Applicant: 独立行政法人理化学研究所

Inventor： 和田　智之 ,  坪田　一男 ,  神成　淳司

IPC: A61B3/10 ,  A61B3/12

CPC classification number: A61B5/1455 ,  A61B3/1025 ,  A61B3/12 ,  A61B5/0068 ,  A61B5/0071 ,  A61B5/0075 ,  A61B5/14546 ,  G01N21/65 ,  G01N2021/5957 ,  G01N2021/653 ,  G01N2201/06113 ,  G01N2201/105

Abstract: 　本発明のレーザー走査型生体内特定物質量計測方法は、反ストークス線の波長を、特定物質の波長吸収帯より大きくし、プローブ光の波長を、反ストークス線の波長から特定物質のラマン散乱のシフト量だけシフトさせ、ストークス光の波長を、プローブ光の波長から特定物質のラマン散乱のシフト量だけシフトさせることで、反ストークス線の信号強度レベルから、眼底におけるルテインの密度（濃度と分布）を定量的に非侵襲で測定することを特徴とする。

Abstract translation: 这种用于测量特定物质的体内量的激光扫描方法的特征在于包括通过引起对抗眼球眼的信号强度水平定量和非侵入性地测量眼底的叶黄素的密度（浓度和分布） 反斯托克斯光线的波长大于特定物质的波长吸收带，将探测光的波长按照反斯托克斯光线的波长将特定物质的拉曼散射偏移量移位， 并且通过探针光的波长将斯托克斯光的波长偏移特定物质的拉曼散射的移动量。

公开(公告)号：WO2006066207A3

公开(公告)日：2009-04-09

申请号：PCT/US2005045931

申请日：2005-12-17

Applicant: ADE CORP

Inventor： JUDELL NEIL ,  GAO SONGPING ,  TIEMEYER TIMOTHY R

IPC: G01N21/00

CPC classification number: G01N21/9501 ,  G01N21/21 ,  G01N21/47 ,  G01N21/4738 ,  G01N21/474 ,  G01N21/55 ,  G01N21/88 ,  G01N21/8806 ,  G01N21/95 ,  G01N21/956 ,  G01N2021/4707 ,  G01N2021/4711 ,  G01N2021/4792 ,  G01N2021/556 ,  G01N2021/8809 ,  G01N2021/8848 ,  G01N2021/8864 ,  G01N2021/8877 ,  G01N2021/8896 ,  G01N2201/0612 ,  G01N2201/105 ,  G06T7/0004 ,  G06T2207/30148 ,  Y10T29/49826

Abstract: A surface inspection system includes a beam source subsystem, a beam scanning subsystem, a workpiece movement subsystem, an optical collection and detection subsystem, and a processing subsystem. The processing subsystem has a channel formation capability for forming selected channels and developing channel output associated with each selected channel, with the channel output developed from collector output associated with at least one collection and detection module. Also, a spherical defect channel is described for detection of small spherical objects and defects with like geometries, using scattered light observed by the back collector output and P-polarized scattered light observed by wing collectors.

Abstract translation: 表面检查系统包括光束源子系统，光束扫描子系统，工件运动子系统，光学收集和检测子系统以及处理子系统。 处理子系统具有用于形成所选择的信道的信道形成能力和与每个选择的信道相关联的开发信道输出，其中信道输出从与至少一个收集和检测模块相关联的收集器输出开发。 另外，使用通过后集电极输出观察到的散射光和机翼收集器观察到的P偏振散射光，描述了用于检测小球形物体和类似几何形状的缺陷的球形缺陷通道。

公开(公告)号：WO2009025465A1

公开(公告)日：2009-02-26

申请号：PCT/KR2008/004701

申请日：2008-08-13

Applicant: KOREA RESEARCH INSTITUTE OF BIOSCIENCE AND BIOTECHNOLOGY ,  CHUNG, Bong Hyun ,  SHIN, Yong Beom

Inventor： CHUNG, Bong Hyun ,  SHIN, Yong Beom

IPC: G01N21/25

CPC classification number: G01N21/553 ,  G01N21/7743 ,  G01N2201/0636 ,  G01N2201/105 ,  G02B5/008

Abstract: Disclosed is a surface plasmon resonance sensor having a rotating mirror, including (a) an incident light source unit for oscillating a laser as incident light; (b) a polarizer for polarizing the incident light; (c) a rotating mirror having cylindrical or planar shapes for reflecting the polarized incident light to radiate disk- shaped light; (d) a light shielding film for allowing part of the disk-shaped light to pass therethrough and located adjacent to the central axis of the rotating mirror; (e) a cylinder lens for focusing the light passed through the light shielding film thereon; (f) a metal thin film for receiving the light focused on the cylinder lens to generate surface plasmon resonance; (g) a dielectric medium provided under the metal thin film; and (h) a detector for detecting the light reflected from the metal thin film. This surface plasmon resonance sensor can solve conventional interference problems of a laser being used as a light source to obtain an image for measurement of angle and two-dimensional reflected light intensity, including the deterioration of the quality of the image and the variation in the intensity of light source depending on the position of incidence.

Abstract translation: 公开了一种具有旋转镜的表面等离子体共振传感器，包括：（a）用于使激光振荡的入射光源单元作为入射光; （b）用于偏振入射光的偏振器; （c）具有用于反射偏振的入射光以辐射盘形光的圆柱形或平面形状的旋转镜; （d）遮光膜，用于允许所述盘状光的一部分通过并位于所述旋转镜的中心轴线附近; （e）用于将通过遮光膜的光聚焦在其上的柱面透镜; （f）用于接收聚焦在圆柱透镜上的光以产生表面等离子体共振的金属薄膜; （g）设置在金属薄膜下方的电介质; 和（h）用于检测从金属薄膜反射的光的检测器。 该表面等离子体共振传感器可以解决用作光源的激光的常规干扰问题，以获得用于测量角度和二维反射光强度的图像，包括图像质量的劣化和强度变化 的光源取决于发生的位置。

公开(公告)号：WO2006066137A2

公开(公告)日：2006-06-22

申请号：PCT/US2005/045784

申请日：2005-12-17

Applicant: ADE CORPORATION

Inventor： JUDELL, Neil ,  KOHL, Ian, Thomas ,  GOA, Songping ,  BILLS, Richard, Earl

IPC: G01N21/00

CPC classification number: G01N21/9501 ,  G01N21/21 ,  G01N21/47 ,  G01N21/4738 ,  G01N21/474 ,  G01N21/55 ,  G01N21/88 ,  G01N21/8806 ,  G01N21/95 ,  G01N21/956 ,  G01N2021/4707 ,  G01N2021/4711 ,  G01N2021/4792 ,  G01N2021/556 ,  G01N2021/8809 ,  G01N2021/8848 ,  G01N2021/8864 ,  G01N2021/8877 ,  G01N2021/8896 ,  G01N2201/0612 ,  G01N2201/105 ,  G06T7/0004 ,  G06T2207/30148 ,  Y10T29/49826

Abstract: A surface inspection system, as well as related components and methods, are provided. The surface inspection system includes a beam source subsystem, a beam scanning subsystem, a workpiece movement subsystem, an optical collection and detection subsystem, and a processing subsystem. The system features a variable polarization a polarizing relay assembly arranged to selectively permit the scattered light having a selected polarization orientation to pass along a detector optical axis to a light detection unit in the detection subsystem. They system also features a collector output width varying subsystem for varying the width of an output slit in response to changes in the location of the location scanned on the workpiece.

Abstract translation: 提供了表面检查系统，以及相关的部件和方法。 表面检查系统包括光束源子系统，光束扫描子系统，工件运动子系统，光学收集和检测子系统以及处理子系统。 该系统具有可变极化，偏振继电器组件被布置成选择性地允许具有选定的偏振取向的散射光沿着检测器光轴传递到检测子系统中的光检测单元。 它们还具有收集器输出宽度变化子系统，用于响应于在工件上扫描的位置的位置的改变而改变输出狭缝的宽度。

公开(公告)号：WO2006066135A2

公开(公告)日：2006-06-22

申请号：PCT/US2005/045782

申请日：2005-12-17

Applicant: ADE CORPORATION

Inventor： ANDREWS, Scott ,  JUDELL, Neil ,  BILLS, Richard, Earl ,  TIEMEYER, Timothy, R.

IPC: G01B9/00

CPC classification number: G01N21/9501 ,  G01N21/21 ,  G01N21/47 ,  G01N21/4738 ,  G01N21/474 ,  G01N21/55 ,  G01N21/88 ,  G01N21/8806 ,  G01N21/95 ,  G01N21/956 ,  G01N2021/4707 ,  G01N2021/4711 ,  G01N2021/4792 ,  G01N2021/556 ,  G01N2021/8809 ,  G01N2021/8848 ,  G01N2021/8864 ,  G01N2021/8877 ,  G01N2021/8896 ,  G01N2201/0612 ,  G01N2201/105 ,  G06T7/0004 ,  G06T2207/30148 ,  Y10T29/49826

Abstract: A surface inspection system, as well as related components and methods, are provided. The surface inspection system includes a beam source subsystem, a beam scanning subsystem, a workpiece movement subsystem, an optical collection and detection subsystem, and a processing subsystem. The signal processing subsystem comprises a series of data acquisition nodes, each dedicated to a collection detection module and a plurality of data reduction nodes, made available on a peer to peer basis to each data acquisition nodes. Improved methods for detecting signal in the presence of noise are also provided.

Abstract translation: 提供表面检查系统以及相关的部件和方法。 表面检测系统包括光束源子系统，光束扫描子系统，工件移动子系统，光学采集和检测子系统以及处理子系统。 信号处理子系统包括一系列数据采集节点，每个数据采集节点专用于收集检测模块和多个数据缩减节点，以对等为基础可用于每个数据采集节点。 还提供了用于检测噪声情况下信号的改进方法。

公开(公告)号：US20240255429A1

公开(公告)日：2024-08-01

申请号：US18424128

申请日：2024-01-26

Applicant: Trustees of Boston University

Inventor： Ji-Xin Cheng

IPC: G01N21/65

CPC classification number: G01N21/65 ,  G01N2201/06113 ,  G01N2201/105

Abstract: A stimulated Raman photothermal (SRP) microscope for imaging a sample. A first optical source omits an intensity-modulated pump beam. A second optical source omits an intensity-modulated Stokes beam. The Stokes beam is combined with the pump beam to form a combined beam. The combined beam is directed to the sample to induce a thermal effect caused by the stimulated Raman process. A third optical source emits a probe beam, the probe beam is directed to the sample. An optical detector detects modulation of the probe beam after modulation by the sample to measure an SRP signal.