公开(公告)号：US08546283B2

公开(公告)日：2013-10-01

申请号：US13531928

申请日：2012-06-25

Applicant: Junko Miyasaka ,  Akio Koike ,  Tomonori Ogawa

Inventor： Junko Miyasaka ,  Akio Koike ,  Tomonori Ogawa

IPC: C03C3/06 ,  C03C3/076 ,  C03C3/112

CPC classification number: C03C3/06 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  C03B19/1415 ,  C03B19/1453 ,  C03B19/1461 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/42 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/23 ,  C03C2201/42 ,  C03C2203/44 ,  C03C2203/54 ,  G02B5/0891 ,  G03F1/24

Abstract: The present invention relates to a substrate for EUV lithography optical member, comprising a silica glass containing TiO2, in which the substrate has two opposite surfaces, and the substrate has temperatures at which a coefficient of linear thermal expansion (CTE) is 0 ppb/° C. (Cross-Over Temperature: COT), and in which the two opposite surfaces have difference in the COTs of 5° C. or more.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于EUV光刻光学部件的基板，其包括含有二氧化钛的二氧化硅玻璃，其中该基板具有两个相对的表面，该基板具有线性热膨胀系数（CTE）为0ppb /°的温度 C.（交叉温度：COT），其中两个相对表面的COT值在5℃以上有差异。

公开(公告)号：US08363313B2

公开(公告)日：2013-01-29

申请号：US12907622

申请日：2010-10-19

Applicant: Teruno Nakaguma ,  Kentaro Ichii ,  Shoji Tanigawa

Inventor： Teruno Nakaguma ,  Kentaro Ichii ,  Shoji Tanigawa

IPC: H01S3/067 ,  C03C13/04 ,  C03C3/04 ,  G02B6/02 ,  C03C4/08

CPC classification number: H01S3/06716 ,  C03C3/06 ,  C03C13/045 ,  C03C2201/10 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/14 ,  C03C2201/28 ,  C03C2201/31 ,  C03C2201/3488 ,  C03C2201/36 ,  G02B6/024 ,  G02B6/036 ,  G02B6/03605 ,  G02B6/03633 ,  G02B6/03638 ,  G02B6/03644 ,  G02B6/03661 ,  H01S3/06712 ,  H01S3/06729 ,  H01S3/0675 ,  H01S3/094007 ,  H01S3/1608 ,  H01S3/1618 ,  H01S3/1691 ,  H01S3/1693

Abstract: An ytterbium-doped optical fiber of the present invention includes: a core which contains ytterbium, aluminum, and phosphorus and does not contain germanium; and a cladding which surrounds this core. The ytterbium concentration in the core in terms of ytterbium oxide is 0.09 to 0.68 mole percent. The molar ratio between the phosphorus concentration in the core in terms of diphosphorus pentoxide and the above ytterbium concentration in terms of ytterbium oxide is 3 to 30. The molar ratio between the aluminum concentration in the core in terms of aluminum oxide and the above ytterbium concentration in terms of ytterbium oxide is 3 to 32. The molar ratio between the above aluminum concentration in terms of aluminum oxide and the above phosphorus concentration in terms of diphosphorus pentoxide is 1 to 2.5.

Abstract translation: 本发明的镱掺杂光纤包括：含有镱，铝和磷并且不含锗的芯; 以及围绕该芯的包层。 以镱氧化物计，核心中的镱浓度为0.09〜0.68摩尔％。 以氧化镱表示的核心中的磷浓度与上述镱的氧化镱浓度之间的摩尔比为3〜30。以氧化铝计的核心中的铝浓度与上述镱的浓度 氧化镱的数量为3〜32。以氧化铝计的上述铝浓度与上述磷浓度之间的摩尔比为1〜2.5。

公开(公告)号：US20120264584A1

公开(公告)日：2012-10-18

申请号：US13531928

申请日：2012-06-25

Applicant: Junko Miyasaka ,  Akio Koike ,  Tomonori Ogawa

Inventor： Junko Miyasaka ,  Akio Koike ,  Tomonori Ogawa

IPC: C03C3/04

CPC classification number: C03C3/06 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  C03B19/1415 ,  C03B19/1453 ,  C03B19/1461 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/42 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/23 ,  C03C2201/42 ,  C03C2203/44 ,  C03C2203/54 ,  G02B5/0891 ,  G03F1/24

Abstract: The present invention relates to a substrate for EUV lithography optical member, comprising a silica glass containing TiO2, in which the substrate has two opposite surfaces, and the substrate has temperatures at which a coefficient of linear thermal expansion (CTE) is 0 ppb/° C. (Cross-Over Temperature: COT), and in which the two opposite surfaces have difference in the COTs of 5° C. or more.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于EUV光刻光学部件的基板，其包括含有二氧化钛的二氧化硅玻璃，其中该基板具有两个相对的表面，该基板具有线性热膨胀系数（CTE）为0ppb /°的温度 C.（交叉温度：COT），其中两个相对表面的COT值在5℃以上有差异。

公开(公告)号：US08156761B2

公开(公告)日：2012-04-17

申请号：US13023262

申请日：2011-02-08

Applicant: Tatsuhiro Sato

Inventor： Tatsuhiro Sato

IPC: C03B19/00 ,  C03B19/01 ,  C03B19/09 ,  C03B19/06 ,  C03C3/06 ,  C03C3/11 ,  C03C3/112

CPC classification number: C03C1/00 ,  C03B19/063 ,  C03B32/005 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/20 ,  C03B2201/24 ,  C03B2201/36 ,  C03C3/06 ,  C03C3/112 ,  C03C4/20 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/23 ,  C03C2201/24 ,  C03C2201/26 ,  C03C2201/32 ,  C03C2201/3411 ,  C03C2201/3435 ,  C03C2201/36

Abstract: A mixed quartz powder contains quartz powder and two or more types of doping element in an amount of from 0.1 to 20 mass %. The aforementioned doped elements include a first dope element selected from the group consisting of N, C and F, and a second dope element selected from the group consisting of Mg, Ca, Sr, Ba, Sc, Y, Ti, Zr, Hf, the lanthanides and the actinides. The “quartz powder” is a powder of crystalline quartz or it is a powder of glassy SiO2 particles. It is made form natural occurring quartz or it is fabricated synthetically. The “quartz powder” may be doped. The compounding ratio of the total amount (M1) of the aforementioned first elements and the total amount (M2) of the aforementioned second elements as the ratio of the number of atoms (M1)/(M2) is preferably from 0.1 to 20. Al as well as the aforementioned doped elements is preferably included in a mixed quartz powder of this invention.

Abstract translation: 混合石英粉含有0.1〜20质量％的石英粉和2种以上的掺杂元素。 上述掺杂元素包括选自N，C和F的第一掺杂元素和选自Mg，Ca，Sr，Ba，Sc，Y，Ti，Zr，Hf的第二掺杂元素， 镧系元素和锕系元素。 “石英粉”是结晶石英粉，或是玻璃状SiO 2粉末的粉末。 它由天然石英制成，或者由合成制成。 可以掺杂“石英粉”。 上述第一元素的总量（M1）与上述第二元素的总量（M2）的配位比优选为0.1〜20。作为原子数（M1）/（M2）的比例，优选为0.1〜20。 以及上述掺杂元素优选包括在本发明的混合石英粉末中。

公开(公告)号：US07989378B2

公开(公告)日：2011-08-02

申请号：US12824923

申请日：2010-06-28

Applicant: Akio Koike ,  Yasutomi Iwahashi ,  Shinya Kikugawa

Inventor： Akio Koike ,  Yasutomi Iwahashi ,  Shinya Kikugawa

IPC: C03C3/06 ,  C03C3/11 ,  C03C3/112

CPC classification number: C03B19/1453 ,  C03B19/1461 ,  C03B32/00 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/23 ,  C03B2201/42 ,  C03C3/06 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/23 ,  C03C2201/40 ,  C03C2201/42 ,  C03C2203/40 ,  C03C2203/46 ,  C03C2203/54 ,  Y02P40/57

Abstract: The present invention is to provide a TiO2—SiO2 glass having suitable thermal expansion properties as an optical member of an exposure tool for EUVL. The present invention relates to a TiO2-containing silica glass having a temperature, at which a coefficient of thermal expansion is 0 ppb/° C., falling within the range of 23±4° C. and a temperature width, in which a coefficient of thermal expansion is 0±5 ppb/° C., of 5° C. or more.

Abstract translation: 本发明提供具有合适的热膨胀性能的TiO 2 -SiO 2玻璃作为EUVL用曝光工具的光学部件。 本发明涉及热膨胀系数为0ppb /℃的温度为23±4℃的温度范围的含TiO2的二氧化硅玻璃，其温度范围为 的热膨胀为0±5ppb /℃，为5℃以上。

公开(公告)号：US20110151194A1

公开(公告)日：2011-06-23

申请号：US13040646

申请日：2011-03-04

Applicant: Chikaya Tamitsuji ,  Kunio Watanabe ,  Kaname Okada ,  Daisuke Kobayashi

Inventor： Chikaya Tamitsuji ,  Kunio Watanabe ,  Kaname Okada ,  Daisuke Kobayashi

IPC: B32B3/26

CPC classification number: C03C3/06 ,  C03C15/00 ,  C03C21/007 ,  C03C25/607 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/80 ,  Y10T428/24479 ,  Y10T428/249921 ,  Y10T428/24997

Abstract: The present invention is to provide a synthetic quartz glass body having a high light transmittance. The present invention provides a synthetic quartz glass body having pores in a surface part thereof.

Abstract translation: 本发明提供一种具有高透光率的合成石英玻璃体。 本发明提供一种在其表面部分具有孔的合成石英玻璃体。

公开(公告)号：US20100159227A1

公开(公告)日：2010-06-24

申请号：US12644500

申请日：2009-12-22

Applicant: Chikaya TAMITSUJI ,  Kunio Watanabe ,  Kaname Okada ,  Daisuke Kobayashi

Inventor： Chikaya TAMITSUJI ,  Kunio Watanabe ,  Kaname Okada ,  Daisuke Kobayashi

IPC: C03C15/00 ,  B32B3/26

CPC classification number: C03C3/06 ,  C03C15/00 ,  C03C21/007 ,  C03C25/607 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/80 ,  Y10T428/24479 ,  Y10T428/249921 ,  Y10T428/24997

Abstract: The present invention is to provide a synthetic quartz glass body having a high light transmittance. The present invention provides a synthetic quartz glass body having pores in a surface part thereof.

Abstract translation: 本发明提供一种具有高透光率的合成石英玻璃体。 本发明提供一种在其表面部分具有孔的合成石英玻璃体。

公开(公告)号：US07536076B2

公开(公告)日：2009-05-19

申请号：US11801472

申请日：2007-05-10

Applicant: Rostislav Radievich Khrapko ,  Hazel B Matthews, III

Inventor： Rostislav Radievich Khrapko ,  Hazel B Matthews, III

IPC: G02B6/00

CPC classification number: G02B6/02 ,  C03B37/01446 ,  C03B37/01453 ,  C03B37/01807 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/20 ,  C03B2201/50 ,  C03B2203/26 ,  C03B2203/29 ,  C03C3/06 ,  C03C2201/11 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/50 ,  G02B6/02014 ,  G02B6/02266

Abstract: Disclosed is an optical fiber having a silica-based core comprising an alkali metal oxide selected from the group consisting of K2O, Na2O, LiO2, Rb2O, Cs2O and mixtures thereof in an average concentration in said core between about 50 and 500 ppm by weight, said core further comprising chlorine and fluorine, wherein the average concentration of fluorine in said core is greater than the average concentration of alkali metal oxide in said core and the average concentration of chlorine in said core is greater than the average concentration of alkali metal oxide in said core; and a silica-based cladding surrounding and directly adjacent the core. By appropriately selecting the concentration of alkali metal oxide dopant in the core and the cladding, a low loss optical fiber may be obtained.

Abstract translation: 公开了一种光纤，其具有二氧化硅基核，其包含选自K2O，Na2O，LiO2，Rb2O，Cs2O及其混合物的碱金属氧化物，其中所述芯中的平均浓度为约50至500重量ppm， 所述芯还包含氯和氟，其中所述芯中的氟的平均浓度大于所述芯中的碱金属氧化物的平均浓度，并且所述芯中的平均氯浓度大于碱金属氧化物的平均浓度 说核心; 以及围绕并直接邻近芯的二氧化硅基包层。 通过适当地选择芯和包层中的碱金属氧化物掺杂剂的浓度，可以获得低损耗光纤。

公开(公告)号：US07506522B2

公开(公告)日：2009-03-24

申请号：US11148764

申请日：2005-06-08

Applicant: Daniel Joseph Bleaking ,  Dana C. Bookbinder ,  Richard M. Fiacco ,  Kenneth E. Hrdina ,  Pushkar Tandon ,  John E. Maxon ,  Kimberly Ann Wilbert

Inventor： Daniel Joseph Bleaking ,  Dana C. Bookbinder ,  Richard M. Fiacco ,  Kenneth E. Hrdina ,  Pushkar Tandon ,  John E. Maxon ,  Kimberly Ann Wilbert

IPC: C03B20/00 ,  C03C3/06

CPC classification number: C03C3/06 ,  C03B19/1453 ,  C03B2201/03 ,  C03B2201/04 ,  C03B2201/07 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/21 ,  C03B2201/23 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/21 ,  C03C2201/23

Abstract: Disclosed are high purity synthetic silica glass material having a high OH concentration homogeneity in a plane perpendicular to the optical axis, and process of making the same. The glass has high refractive index homogeneity. The glass can have high internal transmission of at least 99.65%/cm at 193 nm. The process does not require a post-sintering homogenization step. The controlling factors for high compositional homogeneity, thus high refractive index homogeneity, include high initial local soot density uniformity in the soot preform and slow sintering, notably isothermal treatment during consolidation.

Abstract translation: 公开了在垂直于光轴的平面中具有高OH浓度均匀性的高纯度合成石英玻璃材料及其制备方法。 玻璃具有高折射率均匀性。 该玻璃在193nm处可以具有至少99.65％/ cm的高内部透射率。 该方法不需要后烧结均质化步骤。 组合均匀性高，因此具有高折射率均匀性的控制因素包括烟灰预制件中的初始局部烟灰密度均匀性和缓慢烧结，特别是固结期间的等温处理。

公开(公告)号：US07440672B2

公开(公告)日：2008-10-21

申请号：US10514102

申请日：2003-05-13

Applicant: Young-beom Seo ,  Jae-hong Lim ,  Dae-weon Kim

Inventor： Young-beom Seo ,  Jae-hong Lim ,  Dae-weon Kim

IPC: G02B6/00 ,  H01S3/00 ,  H04B10/12

CPC classification number: C03C13/045 ,  C03B37/01838 ,  C03B2201/34 ,  C03B2201/36 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/31 ,  C03C2201/34 ,  C03C2201/3482 ,  C03C2201/36 ,  H01S3/06754

Abstract: The present invention relates to an optical fiber for an optical amplifier and a method for manufacturing the same, which can be applied to an optical transmission system in the S-band area (4130 nm-1530 nm). According to the present invention, silica is used as a base material and the optical fiber for an optical amplifier contains Tm3+ ions and metal ions in a first core layer formed on an inner surface of a second core layer using the MCVD (Modified Chemical Vapor Deposition) method and a solution doping method whereby the practicability and productivity of the optical fiber are remarkably improved.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于光放大器的光纤及其制造方法，其可应用于S波段区域（4130nm-1530nm）中的光传输系统。 根据本发明，使用二氧化硅作为基材，光放大用光纤在使用MCVD（改性化学气相沉积）的第二芯层的内表面上形成的第一芯层中含有Tm3 +离子和金属离子 ）方法和溶液掺杂方法，从而显着提高了光纤的实用性和生产率。