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公开(公告)号：CN104136912A
公开(公告)日：2014-11-05
申请号：CN201380009617.3
申请日：2013-01-15
Applicant: 费姆托激光产品股份有限公司
Inventor： 加布里埃尔·弗洛林·滕佩亚
CPC classification number: G01J3/45 , E01H5/045 , G01J3/4531 , G01J2003/283 , G01J2003/451 , G01J2003/4538 , G01M11/005 , G01N21/25 , G01N21/45 , G01N2021/4126 , G01N2201/126 , G02B1/115 , G02B5/0825
Abstract: 使用光谱干涉测量进行样品光学检查的方法和装置，其中由辐射源(1)发射的光束(2”)被引导到样品(5)上，而参考光束(2’)被引导到参考样品(4)上，这两个光束在所述样品处反射之后或经过所述样品之后的光谱干涉通过光谱仪(6)记录；关于角频率ω对如此获得的干涉图I(ω)进行数值求导。对于如此获得的函数I'(ω)，将零点ωi数值计算为等式I'(ω)＝0的解，然后根据等式τ(ωn)＝π/(ωi+1-ωi)从零点ωi计算依赖于频率的群延迟τ(ω)，其中i＝1,2…,并且ωn＝(ωi+1+ωi)/2。
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公开(公告)号：CN104040308A
公开(公告)日：2014-09-10
申请号：CN201180076109.8
申请日：2011-12-28
Applicant: 威孚莱有限公司
IPC: G01J3/28
CPC classification number: G01J3/45 , G01B9/02091 , G01J3/2803
Abstract: 一种光谱仪器(38)包括：第一光学部件(48)，所述第一光学部件(48)用于对入射到所述第一光学部件(48)上的多色光束(46)进行空间光谱分离；物镜(50)，所述物镜(50)将多种不同光谱区(B1，B2，B3)的分离光束(46a，46b，46c)发送到不同的空间区域(52a，52b，52c)上；以及传感器(54)，所述传感器(54)在所述分离光束(46a，46b，46c)的光路中位于所述物镜(50)的下游，所述传感器(54)具有多个光敏传感器元件(54a，54b，54c)。所述传感器元件(54a，54b，54c)以下述的方式被布置在所述分离光束46a、46b、46c的光路中，即，使得每个所述传感器元件(54a，54b，54c)记录所述光束(46)的光谱扇区(A1，A2，A3)的强度，并且所述光谱扇区(A1，A2，A3)的中值(Mk1，Mk2，Mk3)彼此等距地位于k空间中，其中(k)表示波数。
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公开(公告)号：CN103842804A
公开(公告)日：2014-06-04
申请号：CN201280048710.0
申请日：2012-10-01
Applicant: 埃尔塞乐公司
IPC: G01N21/95
CPC classification number: G01J3/45 , G01N21/3563 , G01N21/95 , G01N29/041 , G01N29/12 , G01N2021/3595 , G01N2021/8472 , G01N2201/0221 , G01N2291/0231 , G01N2291/2694
Abstract: 本方法用于由有机基质复合材料（CMO）制成的部件（1）的非破坏性检验，其包含以下步骤：a）通过傅里叶变换红外光谱学（FTIR）（15）对该部件（1）进行表面检验；b）如果步骤a）发现了缺陷，根据两个额外的超声技术（21，25）对所述材料进行深入的检验。
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公开(公告)号：CN103842783A
公开(公告)日：2014-06-04
申请号：CN201280049208.1
申请日：2012-09-10
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G01J3/45 , G01J3/0259 , G01J3/26 , G01J3/2803 , G01J3/36 , G01J3/513 , G01J2003/1234 , G01J2003/2806 , G01J2003/2816
Abstract: 分光传感器（1）具备：具有空腔层（21）以及经由空腔层（21）而相对的第1以及第2镜层（22,23）并且对应于入射位置选择性地使规定的波长范围的光透过的干涉滤光部（20）、被配置于第1镜层（22）侧并且使入射到干涉滤光部（20）的光透过的光透过基板（3）、被配置于第2镜层（23）侧并且检测透过了干涉滤光部（20）的光的光检测基板（4）、被配置于干涉滤光部（20）与光透过基板（3）之间的第1耦合层（11）。空腔层（21）以及第1耦合层（11）是硅氧化膜。
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公开(公告)号：CN103180699A
公开(公告)日：2013-06-26
申请号：CN201180051362.8
申请日：2011-07-26
Applicant: 柯尼卡美能达株式会社
Inventor： 原吉宏
IPC: G01J3/45
CPC classification number: G01J3/45 , G01J3/0208 , G01J3/0237 , G01J3/4535 , G02B26/0858
Abstract: 在分光测定前的粗调工序中，使移动镜移动（＃11），将由4分割传感器接收到移动镜的反射光与固定镜的反射光的干涉光时的各分割元件的输出相加，来检测干涉光的对比度的变化（＃12），并且基于该对比度的变化，检测两反射光的相对倾斜量（＃13），对初始倾斜误差进行修正（＃14）。另一方面，在分光测定前的微调工序中，基于由4分割传感器接收到两反射光的干涉光时的各分割元件的输出的相位差，检测两反射光的相对倾斜量以及倾斜方向，对初始倾斜误差进行修正。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102576971A
公开(公告)日：2012-07-11
申请号：CN201080042530.2
申请日：2010-09-30
Applicant: IMRA美国公司
IPC: H01S3/00
CPC classification number: H01S3/1106 , G01J3/10 , G01J3/45 , G01J2003/102 , G01N21/31 , G01N21/3581 , G01N21/4795 , G01N21/636 , G01N21/65 , G01N2021/3595 , H01S3/067 , H01S3/105 , H01S3/1068 , H01S3/107 , H01S3/1115
Abstract: 本发明涉及用于光学成像的扫描脉冲激光系统。本发明披露了相干双扫描激光系统(CDSL)及其一些应用。示出了用于实施的不同可替换例。在至少一个实施例中，相干双扫描激光系统(CDSL)包括两个被动锁模光纤振荡器。在一些实施例中，有效CDSL仅由一个激光器构成。至少一个实施例包括用于产生具有时变时延的脉冲对的相干扫描激光系统(CSL)。CDSL、有效CDSL或CSL可被设置在成像系统中，用于光学成像、显微镜学、显微光谱学和/或THz成像中的一种或多种。
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公开(公告)号：CN102326049A
公开(公告)日：2012-01-18
申请号：CN200980157229.3
申请日：2009-02-23
Applicant: 立体光子国际有限公司
CPC classification number: G02B26/06 , G01B11/2441 , G01B11/2527 , G01J3/0229 , G01J3/26 , G01J3/45 , G02B5/32 , G02B21/361 , G02B27/0068 , G02B27/0087 , G02B2207/117 , G06T2200/04 , G06T2200/08
Abstract: 描述了一种用于光束的高速相移的方法和设备。具有不同光学厚度的各区域的透明板由光束沿着延伸通过所述区域的入射路径照明。透明板可以被移动或者光束可以被操纵从而生成入射路径。离开透明板的光束根据光束入射到其中的区域而具有瞬时相位值。有利的是，相位值是可重复和稳定的，而与光束在相应区域内的入射位置无关，并且以高调制率的相位变化是有可能的。该方法和设备可以用于调制诸如干涉条纹投影系统中的一对相干光束的相位差。
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公开(公告)号：CN100538258C
公开(公告)日：2009-09-09
申请号：CN200480019466.0
申请日：2004-06-29
Applicant: 西默股份有限公司
Inventor： R·J·拉法克
IPC: G01B9/02
CPC classification number: G01J1/4257 , G01J1/0228 , G01J3/02 , G01J3/027 , G01J3/28 , G01J3/45
Abstract: 揭示了用于测量激光发射光的带宽的一种方法和装置，可包括：第一和第二波长敏感光学带宽检测器，分别提供表示第一参数的输出，该第一参数分别表示第一和第二带宽检测器测量的激光发射光的带宽，以及实际光谱计算装置，适合将这两个输出用作多变量线性方程式的一部分，该多变量线性方程式采用第一或第二带宽检测器专用的预定校准变量来计算第一实际带宽参数或第二实际带宽参数。第一实际带宽参数是最大值的某百分比上的光谱全宽(“FWXM”)，而第二实际带宽参数是包含能量的某百分比的一部分(“EX”)。第一和第二带宽检测器是标准具，且输出可表示FWXM上各个标准具的光学输出的干涉条纹的干涉条纹宽度。预先计算的校准变量可分别从用第一和第二实际带宽参数的已知值来表示与校准输入光相关的检测器输出的三维曲线中导出。
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公开(公告)号：CN101111738A
公开(公告)日：2008-01-23
申请号：CN200480017992.3
申请日：2004-06-14
Applicant: 西默股份有限公司
Inventor： R·J·拉法克
IPC: G01B9/02
CPC classification number: G01J3/02 , G01J1/4257 , G01J3/027 , G01J3/28 , G01J3/45 , G01J9/00 , H01S3/1305 , H01S3/225
Abstract: 揭示了一种测量激光器发射输入到带宽计的光谱带宽的带宽计量方法与装置，包括：提供第一和第二输出的光学带宽监视器，第一输出代表指示激光器发射光带宽的第一参数，第二输出代表指示激光器发射光带宽的第二参数；和利用把第一和第二输出用作多变量方程组成部分以计算实际带宽参数的实际带宽计算装置，所述方程用光学带宽监视器专用的预定校正变量。该实际带宽参数包括激光器发射光谱全宽度内某一百分比最大值的谱全宽度(FWXM)或谱上包封激光器发射光谱全谱某一百分比能量的两点间的宽度(EX)。带宽监视器包括一标准具，第一输出代表该标准具在FWXM的光学输出的至少一个干扰带宽度或者谱上包封激光器发射光全谱某一百分比能量的两点间的宽度(EX’)，第二输出代表第二FWX″M或EX″′中的至少一个，其中X≠X″，X’≠X″′。预算的校正变量用可信标准从测量的实际带宽参数值中求出，与校正谱第一和第二输出的出现相关。实际带宽参数值从以下式算出：估算的实际带宽参数＝K×W1+L×W2+M，其中W1＝代表FWXM或EX’的第一测量输出，W2是代表FWX″M或EX″′的第二测量输出。该装置与方法可在激光面印术光源和/或集成电路石印机中实施。
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公开(公告)号：CN1820178A
公开(公告)日：2006-08-16
申请号：CN200480019466.0
申请日：2004-06-29
Applicant: 西默股份有限公司
Inventor： R·J·拉法克
IPC: G01B9/02
CPC classification number: G01J1/4257 , G01J1/0228 , G01J3/02 , G01J3/027 , G01J3/28 , G01J3/45
Abstract: 揭示了用于测量激光发射光的带宽的一种方法和装置，可包括：第一和第二波长敏感光学带宽检测器，分别提供表示第一参数的输出，该第一参数分别表示第一和第二带宽检测器测量的激光发射光的带宽，以及实际带宽计算装置，适合将这两个输出用作多变量线性方程式的一部分，该多变量线性方程式采用第一或第二带宽检测器专用的预定校准变量来计算第一实际带宽参数或第二实际带宽参数。第一实际带宽参数是最大值的某百分比上的光谱全宽(“FWXM”)，而第二实际带宽参数是包含能量的某百分比的一部分(“EX”)。第一和第二带宽检测器是标准具，且输出可表示FWXM上各个标准具的光学输出的干涉条纹的干涉条纹宽度。预先计算的校准变量可分别从用第一和第二实际带宽参数的已知值来表示与校准输入光相关的检测器输出的三维曲线中导出，其中第一和第二实际带宽参数可以是FWXM和EX。第一/第二三维曲线提供的解为：(第一/第二输出)＝a/d*(FWXM的校准输入光已知值))+(b/e*(EX的校准输入光已知值)+c/f；且实际带宽计算装置可使用导出方程式：(第一实际带宽参数)＝((b*(第二输出))－(e*(第一输出))+ce－bf)/(bd－ae)，或方程式：(第二实际带宽参数)＝((a*(第二输出))－(d*(第一输出))+cd－af)/(ae－bd)。FWXM可以是FWHM，而EX可以是E95。第一光学带宽检测器的转换函数被选为对FWXM比对EX更加敏感，而第二光学带宽检测器的转换函数被选为对EX比对FWXM更加敏感。
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