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    Ion generator for ionographic print heads
    162.
    发明授权
    Ion generator for ionographic print heads 失效
    离子发生器用于离子印刷头

    公开(公告)号：US6061074A

    公开(公告)日：2000-05-09

    申请号：US778982

    申请日：1997-01-06

    Applicant: Johann Bartha ,  Frank Druschke ,  Gerhard Elsner ,  Johann Greschner

    Inventor： Johann Bartha ,  Frank Druschke ,  Gerhard Elsner ,  Johann Greschner

    IPC: B41J2/415 ,  H01J3/04 ,  H01J27/26

    CPC classification number: B41J2/415 ,  H01J27/26 ,  H01J3/04

    Abstract: An ion generator for the generation of a plasma is assembled from module subassemblies. The first subassembly includes a dielectric plate 1, on the first surface 1a of which are located a large number of first electrodes 3, and the second surface 1b of which is coated with a structured conductive layer 2. The second subassembly includes an aperatured spacer plate with a large number of dielectric spacers with a second electrode 5 on the side facing away from the dielectric plate 1. In joining the subassemblies together, the aperatured spacer plate is connected to the dielectric plate 1 at its first surface 1a in such a way that cavities 6 for accommodating plasma are formed by the first electrodes 3, parts of the first surface 1a of the dielectric plate 1 and the spacers 4 with the second electrodes 5. The first set of electrodes 3 shield the points where the subassemblies are bonded together from plasma in the cavities.

    Abstract translation: 用于产生等离子体的离子发生器由模块子组件组装。 第一子组件包括电介质板1，其第一表面1a位于大量的第一电极3上，其第二表面1b涂覆有结构化导电层2.第二子组件包括温度分隔板 具有大量的电介质隔离物，其在背离电介质板1的一侧具有第二电极5.在将子组件接合在一起时，高温隔离板在其第一表面1a处以电连接板1连接到电介质板1， 用于容纳等离子体的空腔6由电介质板1的第一表面1a的一部分和具有第二电极5的间隔物4的第一电极3形成。第一组电极3将组件结合在一起的点 空腔中的等离子体。

    凸輪致動絲極夾
    165.
    发明专利
    凸輪致動絲極夾 审中-公开
    凸轮致动丝极夹

    公开(公告)号：TW201721722A

    公开(公告)日：2017-06-16

    申请号：TW105125237

    申请日：2016-08-09

    Applicant: 艾克塞利斯科技公司 ,  AXCELIS TECHNOLOGIES, INC.

    Inventor： 巴格特 約翰 ,  BAGGET, JOHN ,  畢林格 傑森 ,  BERINGER, JASON

    IPC: H01L21/265 ,  H01L21/683 ,  H01L21/687 ,  H01J37/317 ,  H01L37/02 ,  G21K1/00

    CPC classification number: H01J37/08 ,  H01J3/04 ,  H01J2237/061 ,  H01J2237/31701

    Abstract: 一離子源絲極夾具有一具有第一及第二端部的夾構件。該第一端部具有一凸輪表面以及一凸輪從動件中的一個，以及具有彼此相對且被一開槽分隔開的第一及第二部分，該開槽具有一被界定於其中的導線開口，用以容置一離子源絲極的一導線。一致動器銷件沿著一致動器銷件軸線延伸，且具有第一及第二區段。該第一區段被連結至該夾構件的該第一部分。該致動器銷件延伸貫穿一在該夾構件的該第二部分中的貫穿孔，且係以滑動的方式與之嚙合。一凸輪構件係被操作式地連結至該致動器銷件的該第二區段。該凸輪構件具有一握柄以及該凸輪表面及該凸輪從動件中的另一個，且被配置成旋轉於一夾緊位置及一鬆開位置之間。該凸輪從動件滑動式地接觸該凸輪表面。在該夾緊位置中，該凸輪從動件以一第一預定的方式嚙合該凸輪表面，因而選擇性地壓擠該夾構件的該等第一及第二部分朝向彼此，並施加一夾持壓力於在該導線開口中的該導線上，同時引發一介於該夾構件的該等第一及第二部分之間的彈性張力。在該鬆開位置中，該凸輪從動件以一第二預定的方式嚙合該凸輪表面，其中，該彈性張力將該夾構件的該等第一及第二部分彼此分開地擴張，於其中釋放開於在該導線開口中的該導線上面的該夾持壓力。

    Abstract in simplified Chinese: 一离子源丝极夹具有一具有第一及第二端部的夹构件。该第一端部具有一凸轮表面以及一凸轮从动件中的一个，以及具有彼此相对且被一开槽分隔开的第一及第二部分，该开槽具有一被界定于其中的导线开口，用以容置一离子源丝极的一导线。一致动器销件沿着一致动器销件轴线延伸，且具有第一及第二区段。该第一区段被链接至该夹构件的该第一部分。该致动器销件延伸贯穿一在该夹构件的该第二部分中的贯穿孔，且系以滑动的方式与之啮合。一凸轮构件系被操作式地链接至该致动器销件的该第二区段。该凸轮构件具有一握柄以及该凸轮表面及该凸轮从动件中的另一个，且被配置成旋转于一夹紧位置及一松开位置之间。该凸轮从动件滑动式地接触该凸轮表面。在该夹紧位置中，该凸轮从动件以一第一预定的方式啮合该凸轮表面，因而选择性地压挤该夹构件的该等第一及第二部分朝向彼此，并施加一夹持压力于在该导线开口中的该导在线，同时引发一介于该夹构件的该等第一及第二部分之间的弹性张力。在该松开位置中，该凸轮从动件以一第二预定的方式啮合该凸轮表面，其中，该弹性张力将该夹构件的该等第一及第二部分彼此分开地扩张，于其中释放开于在该导线开口中的该导在线面的该夹持压力。

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