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    檢查裝置及方法、製造器件之方法
    171.
    发明专利
    檢查裝置及方法、製造器件之方法 审中-公开
    检查设备及方法、制造器件之方法

    公开(公告)号：TW201606450A

    公开(公告)日：2016-02-16

    申请号：TW104121749

    申请日：2015-07-03

    Applicant: ASML荷蘭公司 ,  ASML NETHERLANDS B. V.

    Inventor： 席恩 阿曼帝 ,  SINGH, AMANDEV ,  皮勒曼 漢瑞克 皮杜斯 瑪利亞 ,  PELLEMANS, HENRICUS PETRUS MARIA ,  華那爾 派翠克 ,  WARNAAR, PATRICK

    IPC: G03F7/20

    CPC classification number: G03F7/70491 ,  G01J3/2823 ,  G01J3/45 ,  G01N21/4788 ,  G01N2201/06113 ,  G03F7/70625 ,  G03F7/70633

    Abstract: 一種檢查裝置(100)，其用於量測一基板上之目標之參數。相干輻射遵循一照明路徑(實線射線)以用於照明目標(T)。一收集路徑(虛線射線)收集來自該目標之繞射輻射且將其遞送至一鎖定影像偵測器(112)。一參考光束遵循一參考路徑(點線射線)。一聲光調變器(108)使該參考光束之光學頻率移位，使得該鎖定偵測器處之輻射強度包括具有對應於該繞射輻射之頻率與該參考輻射之頻率之間的一差之一特性頻率之一時變分量。該鎖定影像偵測器記錄表示該時變分量之振幅及相位兩者之二維影像資訊。具有一不同移位(110)之一第二參考光束遵循一第二參考路徑(點虛線射線)。該兩個參考光束之間的干涉可用於強度正規化。

    Abstract in simplified Chinese: 一种检查设备(100)，其用于量测一基板上之目标之参数。相干辐射遵循一照明路径(实线射线)以用于照明目标(T)。一收集路径(虚线射线)收集来自该目标之绕射辐射且将其递送至一锁定影像侦测器(112)。一参考光束遵循一参考路径(点线射线)。一声光调制器(108)使该参考光束之光学频率移位，使得该锁定侦测器处之辐射强度包括具有对应于该绕射辐射之频率与该参考辐射之频率之间的一差之一特性频率之一时变分量。该锁定影像侦测器记录表示该时变分量之振幅及相位两者之二维影像信息。具有一不同移位(110)之一第二参考光束遵循一第二参考路径(点虚线射线)。该两个参考光束之间的干涉可用于强度范式。

    改良式帶寬估測技術 IMPROVED BANDWIDTH ESTIMATION
    172.
    发明专利
    改良式帶寬估測技術 IMPROVED BANDWIDTH ESTIMATION 有权
    改良式带宽估测技术 IMPROVED BANDWIDTH ESTIMATION

    公开(公告)号：TWI263412B

    公开(公告)日：2006-10-01

    申请号：TW093116896

    申请日：2004-06-11

    Applicant: 希瑪股份有限公司 CYMER, INC.

    Inventor： 瑞飛克 羅伯特J. RAFAC, ROBERT J.

    IPC: H04B

    CPC classification number: G01J3/02 ,  G01J3/0205 ,  G01J3/027 ,  G01J3/28 ,  G01J3/45

    Abstract: 所揭示係一種可測量一雷射所發出而輸入至其帶寬計之光波的光譜之帶寬的帶寬計量方法和裝置，其可包括：一光學帶寬監視器，其可提供一可表示一指示其雷射所發出之光波的帶寬之第一參數的第一輸出，和一可表示一指示其雷射所發出之光波的帶寬之第二參數的第二輸出；和一實際帶寬計算裝置，其可利用其第一輸出和第二輸出，作為一採用一些專屬其光學帶寬監視器之預定校正變數的多變數方程式的一部份，來計算一實際之帶寬參數。此實際之帶寬參數，可為其雷射所發出之光波的光譜之全寬度內的某一百分比最大值下的光譜全寬度("FWXM")，或為一在其光譜上面之兩點間的寬度("EX")，其係包圍上述雷射所發出之光波的光譜之全頻譜的某一百分比之能量。其帶寬監視器，可由一標準具所構成，以及其第一輸出係表示此標準具之光學輸出的條紋在FWXM下之寬度或其光譜上面包圍上述雷射所發出之光波的全頻譜之某一百分比能量的兩點間之寬度("EX'")中的至少一個，以及其第二輸出係表示一第二 FWX"M或EX'"中的至少一個，其中X≠X"及X'≠X'"。其預先計算之校正變數，可導自其實際帶寬參數值利用一與一校正光譜有關之第一和第二輸出的發生相關聯之可靠標準的測量。其實際帶寬參數之值，係計算自方程式：估測之實際BW參數=K*w1+L*w2+M，其中， w1=FWXM或EX'之第一測得輸出表示值，以及w2為FWX"M或EX'"之第二測得輸出表示值。此種裝置和方法，可在一雷射平版印刷光源中，及/或在一積體電路平版印刷工具中，加以具現。

    Abstract in simplified Chinese: 所揭示系一种可测量一激光所发出而输入至其带宽计之光波的光谱之带宽的带宽计量方法和设备，其可包括：一光学带宽监视器，其可提供一可表示一指示其激光所发出之光波的带宽之第一参数的第一输出，和一可表示一指示其激光所发出之光波的带宽之第二参数的第二输出；和一实际带宽计算设备，其可利用其第一输出和第二输出，作为一采用一些专属其光学带宽监视器之预定校正变量的多变量方进程的一部份，来计算一实际之带宽参数。此实际之带宽参数，可为其激光所发出之光波的光谱之全宽度内的某一百分比最大值下的光谱全宽度("FWXM")，或为一在其光谱上面之两点间的宽度("EX")，其系包围上述激光所发出之光波的光谱之全频谱的某一百分比之能量。其带宽监视器，可由一标准具所构成，以及其第一输出系表示此标准具之光学输出的条纹在FWXM下之宽度或其光谱上面包围上述激光所发出之光波的全频谱之某一百分比能量的两点间之宽度("EX'")中的至少一个，以及其第二输出系表示一第二 FWX"M或EX'"中的至少一个，其中X≠X"及X'≠X'"。其预先计算之校正变量，可导自其实际带宽参数值利用一与一校正光谱有关之第一和第二输出的发生相关联之可靠标准的测量。其实际带宽参数之值，系计算自方进程：估测之实际BW参数=K*w1+L*w2+M，其中， w1=FWXM或EX'之第一测得输出表示值，以及w2为FWX"M或EX'"之第二测得输出表示值。此种设备和方法，可在一激光平版印刷光源中，及/或在一集成电路平版印刷工具中，加以具现。

    광센서
    174.
    发明公开
    광센서 审中-实审
    光传感器

    公开(公告)号：KR1020170098518A

    公开(公告)日：2017-08-30

    申请号：KR1020160020536

    申请日：2016-02-22

    Applicant: 한국전자통신연구원

    Inventor： 오광룡

    IPC: G01J1/04 ,  G01J1/08

    CPC classification number: H01S5/141 ,  G01J3/18 ,  G01J3/45 ,  G01J2003/1842 ,  H01S5/0028 ,  H01S5/028 ,  H01S5/4062 ,  H01S5/4068

    Abstract: 본발명은센싱광 및기준광을각각출력하는외부공진레이저및 상기외부공진레이저에서출력된상기센싱광과상기기준광의간섭에의한비팅신호를검출하는광 검출기를포함하고, 상기외부공진레이저는센싱대상물이부착될수 있는센싱격자및 상기센싱격자와동일평면상에배치되는기준격자를구비한반사필터를포함하여상기센싱격자에서반사된센싱광 및상기기준격자에서반사된기준광을각각출력하는것을특징으로하는광센서를구현하여고분해능의분광기가필요없고분해능및 감도가향상된다.

    Abstract translation: 本发明包括用于通过外部谐振器的激光检测差拍信号的光学检测器，并且所述感测的光，并从所述外部谐振器的激光输出，用于分别输出的感测光和参考光，所述参考光的干涉，和外部谐振器的激光感测对象 其特征在于，所述感测的光的每一个输出与参考光反射从参考光栅由所述传感栅格，包括带有参考网格被布置在被感测电网连接的反射滤光器和感测光栅与同一平面上的反射 无需使用高分辨率分光镜即可提高分辨率和灵敏度。

    스펙트럼 분석을 위한 분광 기기 및 방법
    175.
    发明公开
    스펙트럼 분석을 위한 분광 기기 및 방법 有权
    光谱仪和光谱分析方法

    公开(公告)号：KR1020160086990A

    公开(公告)日：2016-07-20

    申请号：KR1020167018868

    申请日：2011-12-28

    Applicant: 웨이브라이트 게엠베하

    Inventor： 고르슈보트클라우디아 ,  제글로즈토비아스 ,  마쏘우올레 ,  비스베헤닝 ,  보글러클라우스

    IPC: G01J3/28

    CPC classification number: G01J3/45 ,  G01B9/02091 ,  G01J3/2803 ,  G01J3/28

    Abstract: 본발명의분광기기(38)는, 제1 광학요소(48)에입사되는다색광선을공간스펙트럼으로분할하는제1 광학요소(48)와, 분할광선(46a, 46b, 46c)의여러스펙트럼영역(B, B, B)을상이한공간영역(52a, 52b, 52c)으로보내도록구성된대물렌즈(50)와, 그리고대물렌즈(50)의하류에분할광선(46a, 46b, 46c)의광로내에위치하는, 복수의감광소자(54a, 54b, 54c)를갖는센서(54)를포함한다. 감광소자(54a, 54b, 54c)는, 각감광소자(54a, 54b, 54c)가광선(46)의스펙트럼부분(A, A, A)의강도를기록하도록분할광선(46a, 46b, 46c)의광로내에배치되며, 스펙트럼부분(A, A, A)들의중앙값(Mk, Mk, Mk)은 k 공간(k는파수를의미함) 내에서상호간에등거리에위치한다.

    광섬유 패브리-페롯 간섭계를 이용하는 가스 감지 장치
    177.
    发明公开
    광섬유 패브리-페롯 간섭계를 이용하는 가스 감지 장치 有权
    通过使用纤维布板式干涉仪进行气体感应的装置

    公开(公告)号：KR1020130095544A

    公开(公告)日：2013-08-28

    申请号：KR1020120017070

    申请日：2012-02-20

    Applicant: 한국과학기술연구원

    Inventor： 송용원 ,  임정아 ,  배미경

    IPC: G01N21/31 ,  G01B9/02

    CPC classification number: G01J3/45 ,  G01J3/0218 ,  G01J3/26 ,  G01N21/7703 ,  G01N2021/772 ,  G01N2021/7723 ,  G01N2021/7779 ,  G02B6/10

    Abstract: PURPOSE: Gas sensing apparatus is provided to sense gas using a phenomenon that periodicity of spectrums changes. CONSTITUTION: The gas sensing apparatus comprises a header unit (230) and a light spectrum analyzer (240). The header unit comprises a sensing material, and forms interference waves by fabry-perot interferometer on a light source (210). The light spectrum analyzer determines whether or not specific gas exists based on changes in the periodicity of spectrums of the interference waves.

    Abstract translation: 目的：提供气体感测装置，以便利用频谱周期变化的现象来感测气体。 构成：气体感测装置包括一个头部单元（230）和一个光谱分析仪（240）。 头部单元包括感测材料，并且在光源（210）上由fabry-perot干涉仪形成干涉波。 光谱分析仪基于干扰波的频谱周期的变化来确定是否存在特定气体。

    시간-파장 변환에 의한 초고속 광신호의 아이 패턴 측정장치
    179.
    发明公开
    시간-파장 변환에 의한 초고속 광신호의 아이 패턴 측정장치 失效
    用于通过时间波长转换测量非常高速光信号的眼图的设备

    公开(公告)号：KR1020020055533A

    公开(公告)日：2002-07-09

    申请号：KR1020000084565

    申请日：2000-12-28

    Applicant: 한국전자통신연구원

    Inventor： 이학규 ,  전민용 ,  안준태 ,  임동성 ,  김경헌

    IPC: H04B10/07

    CPC classification number: H04B10/07957 ,  G01J3/45

    Abstract: PURPOSE: An apparatus for measuring an eye pattern of a very high speed optical signal by a time-wavelength conversion is provided to convert a time waveform with an input optical pulse into a wavelength domain using a linear chirping super-succession optical source and a non-linear interferometer and measure the eye pattern. CONSTITUTION: A super-succession optical source unit(310) generates a linear chirping super-succession optical source. A non-linear interference unit(320) generates a non-linear interference about the super-succession optical source generated by the super-succession optical source unit(310) according to an inputted optical pulse(340). An optical wavelength analyzing unit(330) analyzes an optical wavelength using the result of the non-linear interference about the super-succession optical source and measures an eye pattern.

    Abstract translation: 目的：提供一种用于通过时间波长转换来测量非常高速光信号的眼图的装置，用于使用线性啁啾超连续光源将非输入光脉冲的时间波形转换成波长域， 线性干涉仪并测量眼图。 构成：超连续光源单元（310）产生线性啁啾超连续光源。 非线性干扰单元（320）根据输入的光脉冲（340）产生由超连续光源单元（310）生成的超连续光源的非线性干扰。 光波长分析单元（330）使用关于超连续光源的非线性干扰的结果分析光波长并测量眼图。

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