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    VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON ELEKTRISCH UND/ODER MAGNETISCH ANSTEUERBAREN MEMBRANEN SOWIE MAGNETISCHER AKTOR MIT EINER DERARTIGEN MEMBRAN
    181.
    发明申请
    VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON ELEKTRISCH UND/ODER MAGNETISCH ANSTEUERBAREN MEMBRANEN SOWIE MAGNETISCHER AKTOR MIT EINER DERARTIGEN MEMBRAN 审中-公开
    用于生产电力和/或磁控制膜的研制及磁性ACTOR与这种膜

    公开(公告)号：WO2008106928A2

    公开(公告)日：2008-09-12

    申请号：PCT/DE2008/000313

    申请日：2008-02-22

    Applicant: FRAUNHOFER GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E. V. ,  TECHNISCHE UNIVERSITÄT CHEMNITZ ,  OTTO, Thomas ,  MORSCHHAUSER, Andreas ,  NESTLER, Jörg ,  GESSNER, Thomas ,  VOIGT, Sebastian

    Inventor： OTTO, Thomas ,  MORSCHHAUSER, Andreas ,  NESTLER, Jörg ,  GESSNER, Thomas ,  VOIGT, Sebastian

    IPC: B81C1/00

    CPC classification number: B81C1/00698 ,  B81B2201/016 ,  B81B2201/036 ,  B81B2201/038 ,  B81B2203/0127 ,  B81C1/00158 ,  F04B43/043

    Abstract: Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von elektrisch und/oder magnetisch ansteuerbaren Membranen, insbesondere für Schalter oder Pumpen. Bei dem Verfahren werden Mikro- und/oder Nanopartikel (5) mit magnetischen und/oder elektrischen Eigenschaften mit einem in fließfähigem Zustand befindlichen Matrixmaterial vermischt, das nach einer Verfestigung elastische Eigenschaften aufweist. Das Matrixmaterial wird als Schicht (1) auf ein Substrat aufgebracht und eine Verteilung der Partikel in der Schicht (1) mit einem oder mehreren elektrischen und/oder magnetischen Feldern gezielt verändert, um eine Anhäufung (2, 3) der Partikel (5) an einer oder mehreren Stellen der Schicht (1) zu erhalten. Die Schicht (1) wird anschließend mit den angehäuften Partikeln zur Bildung einer oder mehrerer Membranen (16) verfestigt. Die Erfindung betrifft auch einen magnetischen Aktor mit einer derartigen Membran. Das Verfahren ermöglicht die Nutzung von elastischen Membranen mit eingelagerten magnetischen oder magnetisierbaren Partikeln, ohne die elastischen Eigenschaften in bestimmten Bereichen der Membran negativ zu beeinflussen.

    Abstract translation: 本发明涉及用于生产电和/或磁性变化的膜的方法，特别是用于开关，或泵。 在微米和/或纳米粒子（5）的方法中与具有容纳在具有可流动状态的基质材料的磁性和/或电气特性混合，经过硬化的弹性特性。 的基质材料被应用作为在基板上的层（1）和所述颗粒在层中的分布（1）选择性地与一个或多个电气和/或磁场改变为积累（图2，3）的颗粒（5） 所得到的层（1）的一个或多个点。 的层（1），然后用累积颗粒固化，以形成一个或多个膜（16）。 本发明还涉及具有这样的膜的磁致动器。 该方法使得能够使用具有嵌入的磁性或可磁化颗粒的弹性膜而不会在膜产生不利影响的某些区域中的弹性特性。

    MICROFABRICATION
    182.
    发明申请
    MICROFABRICATION 审中-公开

    公开(公告)号：WO2007045885A3

    公开(公告)日：2007-05-31

    申请号：PCT/GB2006003898

    申请日：2006-10-20

    Applicant: BAE SYSTEMS PLC ,  HUCKER MARTYN JOHN ,  WARSOP CLYDE

    Inventor： HUCKER MARTYN JOHN ,  WARSOP CLYDE

    IPC: B81C99/00 ,  B81B1/00

    CPC classification number: B81C1/00103 ,  B81B2201/038 ,  B81B2203/033 ,  B81B2203/0376 ,  B81B2203/0384 ,  B81C2201/034

    Abstract: A method of forming a surface of micrometer dimensions conforming to a desired contour for a MEMS device, the method comprising providing a crystalline silicon substrate with a recess in an upper surface, providing a thinner layer of crystalline silicon over the upper surface of the substrate, fusion bonding the layer to the substrate under vacuum conditions, and applying heat to the layer and applying atmospheric pressure on the layer, such as to plastically deform the diaphragm within the recess to the desired contour. The substrate may form the fixed electrode of an electrostatic MEMS actuator, operating on the zip principle.

    Abstract translation: 一种形成符合MEMS器件的期望轮廓的微米尺寸的表面的方法，所述方法包括提供在上表面具有凹陷的晶体硅衬底，在衬底的上表面上提供更薄的晶体硅层， 在真空条件下将层熔合到衬底上，并且将热量施加到层上并在层上施加大气压力，例如使凹部内的隔膜塑性变形为期望的轮廓。 基板可以形成静电MEMS致动器的固定电极，其以拉链原理运行。

    MEMS DEVICE HAVING AN ACTUATOR WITH CURVED ELECTRODES
    185.
    发明申请
    MEMS DEVICE HAVING AN ACTUATOR WITH CURVED ELECTRODES 审中-公开
    具有弯曲电极的致动器的MEMS器件

    公开(公告)号：WO02050874A2

    公开(公告)日：2002-06-27

    申请号：PCT/US2001/049427

    申请日：2001-12-19

    IPC: B81B3/00 ,  B81B7/00 ,  B81B7/04 ,  B81C1/00 ,  G02B6/34 ,  G02B6/35 ,  G02B26/08 ,  H01L

    CPC classification number: G02B26/0866 ,  B81B3/0051 ,  B81B7/0067 ,  B81B2201/038 ,  B81B2201/045 ,  B81B2201/047 ,  B81B2203/051 ,  B81C1/00182 ,  B81C2201/019 ,  B81C2203/0109 ,  G02B6/3512 ,  G02B6/353 ,  G02B6/3548 ,  G02B6/356 ,  G02B6/3566 ,  G02B6/357 ,  G02B6/3572 ,  G02B6/3576 ,  G02B6/3578 ,  G02B6/3582 ,  G02B6/3584 ,  G02B26/0841 ,  G02B26/085 ,  G02B26/0858 ,  H01H2001/0052 ,  H01L2224/48091 ,  H01L2924/00014

    Abstract: MEMS device (300) having an actuator (302, 306) with curved electrodes (308, 310). According to one embodiment of the present invention, an actuator is provided for moving an actuating device linearly. The actuator includes a substrate (304) having a planar surface and an actuating device movable in a linear direction relative to the substrate. The actuator includes at least one electrode beam (312, 314) attached to the actuating device and having an end attached to the substrate (304). The electrode beam is flexible (322, 324) between the actuating device and the end of the electrode beam attached to the substrate. Furthermore, the actuator includes at least one electrode (308, 310) attached to the substrate. The electrode (308, 310) has a curved surface aligned in a position adjacent the length of the electrode beam, whereby the actuating device is movable in its substantially linear direction as the electrode beam (312, 314) moves in a curved fashion corresponding substantially to the curved surface of the electrode.

    Abstract translation: MEMS器件（300）具有带有弯曲电极（308,310）的致动器（302,306）。 根据本发明的一个实施例，提供了用于使致动装置线性移动的致动器。 致动器包括具有平坦表面的基板（304）和可相对于基板沿线性方向移动的致动装置。 致动器包括附接到致动装置的至少一个电极梁（312,314），并且具有连接到基板（304）的一端。 电极束在致动装置和连接到基底的电极束的端部之间是柔性的（322,324）。 此外，致动器包括附接到基板的至少一个电极（308,310）。 电极（308,310）具有在与电极束的长度相邻的位置对准的弯曲表面，由此当电极束（312,314）以基本相当的弯曲方式移动时，致动装置可在其基本上线性的方向上移动 到电极的弯曲表面。

    ACTUATING MEMBER AND METHOD FOR PRODUCING THE SAME
    186.
    发明申请
    ACTUATING MEMBER AND METHOD FOR PRODUCING THE SAME 审中-公开
    控制元件及其制造方法

    公开(公告)号：WO02037660A1

    公开(公告)日：2002-05-10

    申请号：PCT/DK2001/000719

    申请日：2001-10-31

    IPC: A61F2/08 ,  B81B3/00 ,  B81C1/00 ,  H01L41/09 ,  H02N1/00 ,  H02N2/00 ,  H02N2/04 ,  H04R23/00

    CPC classification number: H01L41/0986 ,  B81B3/007 ,  B81B2201/038 ,  H01L41/333 ,  H01L41/45 ,  H02N1/006 ,  H04R23/00

    Abstract: The invention relates to an actuating member comprising an elastomer body that is provided with one electrode each on opposite peripheries. The aim of the invention is to improve the dynamism of such an actuating member. To this end, at least one periphery is provided with at least one waved section that comprises elevations (13) and depressions (14) as the extremes disposed in parallel to the cross direction. Said section is covered by an electrode that completely covers at least a part of the extremes (13, 14) and that extends across the waved section.

    Abstract translation: 它是设置有设置在具有电极的两个相对的边界表面各自的弹性体材料制成的本体中的致动器。 在这里，人们想改善的动力。 为此目的，至少一个波纹区域平行延伸的至少一个边界表面到横向方向的高度（13）和谷部（14），极端，其上覆盖有电极的整个表面上，并在其他覆盖极端的至少一个部分（13，14） 通过波纹部相连。

    CONTROLLING PHYSICAL MOTION WITH ELECTROLYTICALLY FORMED BUBBLES
    187.
    发明申请
    CONTROLLING PHYSICAL MOTION WITH ELECTROLYTICALLY FORMED BUBBLES 审中-公开
    用电解泡沫塑料控制物理运动

    公开(公告)号：WO01094823A1

    公开(公告)日：2001-12-13

    申请号：PCT/US2001/017401

    申请日：2001-05-30

    IPC: B81B3/00 ,  F15B15/20 ,  F15C5/00 ,  F16K99/00 ,  F16K31/163

    CPC classification number: F15C5/00 ,  B81B3/0032 ,  B81B2201/038 ,  B81B2201/054 ,  B81B2203/051 ,  F15B2015/208 ,  F16K99/0001 ,  F16K99/0005 ,  F16K99/0011 ,  F16K99/0023 ,  F16K99/0036 ,  F16K99/0042 ,  F16K99/0061 ,  F16K2099/0074 ,  F16K2099/0076 ,  F16K2099/008

    Abstract: A micro-fabricated structure (320) includes a housing (322) defining an actuation chamber (303) with a set of electrodes (304) formed therein. A movable micro-fabricated structure (324) is positioned proximate to the actuation chamber (303). The electrodes (304) cause electrolytic formation of a bubble (310) that produces controlled displacement of the movable micro-fabricated structure (324). The movable micro-fabricated structure (324) may be a flow-controlled, free-standing block valve, a pressure-controlled, free-standing block valve, a free-standing block valve, or a plate (356). In the case of a plate (356), such as a mirror, the plate (356) may be lifted and tilted in a controlled manner. The controlled displacement of the movable micro-fabricated structure (324) may be terminated by evacuating the bubble (310) through a specially shaped escape path, by producing a spark with the electrodes (304), or by electrolytic dissipation of the bubble (310).

    Abstract translation: 微制造结构（320）包括限定具有形成在其中的一组电极（304）的致动室（303）的壳体（322）。 可移动微制造结构（324）定位成靠近致动室（303）。 电极（304）引起电解形成气泡（310），其产生可移动微结构（324）的受控位移。 可移动的微型制造结构（324）可以是流量控制的，独立的截止阀，压力控制的，独立的止回阀，独立的止回阀或板（356）。 在诸如镜子的板（356）的情况下，板（356）可以以受控的方式提升和倾斜。 可移动微结构（324）的受控位移可以通过使气泡（310）通过特殊形状的逸出路径排出，通过用电极（304）产生火花，或者通过气泡（310）的电解耗散来终止 ）。

    ELECTROTHERMALLY ACTUATED VIBROMOTOR
    188.
    发明申请
    ELECTROTHERMALLY ACTUATED VIBROMOTOR 审中-公开
    电动执行振动电机

    公开(公告)号：WO00063532A1

    公开(公告)日：2000-10-26

    申请号：PCT/US2000/009844

    申请日：2000-04-12

    IPC: B81B3/00 ,  F01B29/10 ,  F03G7/06

    CPC classification number: F01B29/10 ,  B81B3/0024 ,  B81B2201/038 ,  B81B2203/051 ,  F03G7/065

    Abstract: A vibromotor (10) includes a polysilicon surface-micromachined substrate. A movable guided element is slidably mounted on the substrate. At least one thermal actuator (20) has an impact head (40) and an anchoring end. The anchoring end pivotally disposed on the substrate external to a side of the movable guided element controls the movement of the movable guided element by electrothermally biasing the impact head (40) to tap against the movable guided element.

    Abstract translation: 振动电动机（10）包括多晶硅表面微加工衬底。 可动引导元件可滑动地安装在基板上。 至少一个热致动器（20）具有冲击头（40）和锚定端。 枢转地设置在可移动导向元件的侧面上的基板上的锚定端部通过电热偏置冲击头（40）以抵靠可动导向元件来控制可动导向元件的运动。

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