具有改进的性能的MEMS换能器

    公开(公告)号:CN115280797A

    公开(公告)日:2022-11-01

    申请号:CN202180016496.X

    申请日:2021-01-15

    Abstract: 本发明涉及一种MEMS换能器,其包括用于产生或拾取流体中的在竖直方向上的压力波的可振动膜(1),其中可振动膜(1)由承载件(4)支撑并且可振动膜(1)具有两个或更多个竖直部分(2),这些竖直部分平行于竖直方向形成并且包括至少一个致动器材料的层(11)。可振动膜(1)的端部与电极(13)接触,这意味着至少一个电极(13)的致动允许激励两个或更多个竖直部分(2)产生水平振动,或者意味着激励两个或更多个竖直部分(2)产生水平振动使得能够在至少一个电极处(13)产生电信号。

    通过光阑结构对可移动IR发射器的调制

    公开(公告)号:CN112739998A

    公开(公告)日:2021-04-30

    申请号:CN201980059762.X

    申请日:2019-09-13

    Abstract: 本发明涉及一种可以被调制的红外发射器,该红外发射器包括光阑结构、结构化微加热元件以及致动器,其中,光阑结构和结构化微加热元件可以使用致动器在平行平面上相对于彼此移动,以调制被发射的红外辐射的强度。本发明额外地涉及生产红外发射器的方法、涉及使用红外发射器对红外辐射的发射进行调制的方法以及涉及红外发射器的优选应用。本发明还优选地涉及一种系统,该系统包括红外发射器和用于调节致动器的控制器。

    通过辐射区域的变化来调制IR发射器的辐射强度

    公开(公告)号:CN112703378A

    公开(公告)日:2021-04-23

    申请号:CN201980059574.7

    申请日:2019-09-13

    Abstract: 本发明涉及一种可调制的红外发射器,其包括MEMS加热元件和致动器,其中致动器触发MEMS加热元件的形状和/或结构改变。MEMS加热元件的形状和/或结构的所述改变可以使发射区域与总区域的比率发生变化,从而产生所发射的红外光束的强度变化。本发明还涉及一种用于红外发射器的制造方法、一种利用红外发射器对红外辐射进行调制发射的方法,以及红外发射器的优选用途。在另外的优选方面,本发明涉及一种包括红外发射器和用于调节致动器的控制装置的系统。

    用于自动化系统的免疫测定

    公开(公告)号:CN112074739A

    公开(公告)日:2020-12-11

    申请号:CN201980029333.8

    申请日:2019-04-29

    Abstract: 本发明涉及用于检测样品中的靶分子的方法,包括以下顺序步骤:(a.)在反应孔中的缓冲溶液中同时温育(i.)怀疑含有一种或多种靶分子的样品、(ii.)适于与靶分子结合的固相偶联的捕获分子,其中捕获分子与珠子(捕获珠子)偶联、(iii.)限定量的适于与靶分子和/或捕获分子结合的检测分子,其中检测分子与珠子(检测珠子)偶联,其中捕获珠子与检测珠子是可分离的,(b.)在反应孔中分离捕获珠子与包含未结合的检测珠子的缓冲溶液,和(c.)检测已与捕获珠子分离的缓冲溶液中剩余的未结合的检测珠子,其中该方法不包括洗涤步骤。

    用于测量转速的设备
    16.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103339471A

    公开(公告)日:2013-10-02

    申请号:CN201180066060.8

    申请日:2011-12-01

    CPC classification number: G01C19/56 G01C19/5776

    Abstract: 用于测量转速的设备(1)具有机械的转速传感器(2),其具有惯性质量体,其能够借助于激励装置沿着主轴线置于初级振动中并且沿着横向于主轴线伸展的次轴线偏转,使得惯性质量体在出现围绕横向于主轴线且横向于次轴线伸展的量测轴线的转速的情况下沿着次轴线执行通过科里奥利力激励的二次振动。为了检测二次振动的经幅度调制的传感器信号,存在至少一个传感器元件(4)。Sigma-Delta调制器具有与传感器元件连接的低通滤波器(6)、量化器和布置在反馈路径中的次级执行器(10),用于将反作用于所述科里奥利力的力施加到质量体上。次级执行器(10)经由反馈路径与量化器连接,使得反馈信号在时间上平均地补偿质量体沿二次振动方向的偏转。为了将经幅度调制的传感器信号的频带移动到较低的频段中,在传感器元件与低通滤波器(6)之间布置有第一调制级(5)。为了撤销频移在量化器与转速传感器(2)之间的反馈路径中布置有第二调制级(9)。

    作为声学纳米力传感器的MEMS敲击模式悬臂

    公开(公告)号:CN118749202A

    公开(公告)日:2024-10-08

    申请号:CN202380022931.9

    申请日:2023-02-16

    Abstract: 在第一方面中,本发明涉及一种用于对声学信号进行检测的MEMS麦克风。MEMS麦克风具有可振动的麦克风膜,该麦克风膜由穿过声音入口开口进入的声波引起振动。MEMS麦克风还具有包括测量梢端部的悬臂。悬臂由致动器主动引起振动,使得测量梢端部以无接触的振动的方式被引导至麦克风膜。在这种情况下,隧道电流在麦克风膜与测量梢端部之间流动,并且该隧道电流可以用于对麦克风膜的取决于声波的振动行为进行检测。电子电路被配置成对麦克风膜与测量梢端部之间的隧道电流进行测量。根据本发明的MEMS麦克风使得可以以高分辨率对特别低的声压级进行检测。在另外的方面中,本发明涉及一种用于使用根据本发明的MEMS麦克风对声学信号进行检测的方法。

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