公开(公告)号：TWI650044B

公开(公告)日：2019-02-01

申请号：TW103128168

申请日：2014-08-15

Applicant: 荷蘭商ASML荷蘭公司 ,  ASML NETHERLANDS B. V.

Inventor： 諾德曼 奧斯卡 法蘭西斯 喬瑟夫 ,  NOORDMAN, OSCAR FRANCISCUS JOZEPHUS ,  俄林斯 馬可斯 法蘭西斯 安東尼奧斯 ,  EURLINGS, MARKUS FRANCISCUS ANTONIUS

IPC: H05G2/00 ,  G03F7/20

公开(公告)号：TWI643418B

公开(公告)日：2018-12-01

申请号：TW104102119

申请日：2015-01-22

Applicant: ASML荷蘭公司 ,  ASML NETHERLANDS B. V.

Inventor： 張 凱文 ,  ZHANG, KEVIN ,  里班伯格 克里斯托 ,  LIEBENBERG, CHRISTO ,  史查夫甘斯 亞歷山大 ,  SCHAFGANS, ALEXANDER

IPC: H01S3/09 ,  H01S3/095

公开(公告)号：TWI643243B

公开(公告)日：2018-12-01

申请号：TW102133983

申请日：2013-09-18

Applicant: ASML荷蘭公司 ,  ASML NETHERLANDS B. V.

Inventor： 洛卜史塔 艾瑞克 羅勒夫 ,  LOOPSTRA, ERIK ROELOF ,  凡 沙特 珍 伯納德 波萊奇莫斯 ,  VAN SCHOOT, JAN BERNARD PLECHELMUS ,  參格 提姆瑟 法蘭西斯 ,  SENGERS, TIMOTHEUS FRANCISCUS ,  范倫丁 克力斯坦 路易斯 ,  VALENTIN, CHRISTIAAN LOUIS ,  凡 迪及西爾當克 安東尼爾斯 喬漢尼司 喬瑟夫司 ,  VAN DIJSSELDONK, ANTONIUS JOHANNES JOSEPHUS

IPC: H01L21/027 ,  G03F7/20

公开(公告)号：TWI643209B

公开(公告)日：2018-12-01

申请号：TW103144295

申请日：2014-12-18

Applicant: ASML荷蘭公司 ,  ASML NETHERLANDS B. V.

Inventor： 陶 業爭 ,  TAO, YEZHENG ,  史圖華特 約翰T ,  STEWART, JOHN TOM ,  布朗 丹尼爾J W ,  BROWN, DANIEL J. W.

IPC: G21K5/00 ,  H05G2/00

公开(公告)号：TWI643025B

公开(公告)日：2018-12-01

申请号：TW104119469

申请日：2015-06-16

Applicant: ASML荷蘭公司 ,  ASML NETHERLANDS B. V.

Inventor： 克歇梅克斯 山德 ,  KERSSEMAKERS, SANDER ,  丹 邦伊 威海明司 派特斯 ,  DE BOEIJ, WILHELMUS PETRUS ,  德 蘭奇 葛本 法蘭克 ,  DE LANGE, GERBEN FRANK ,  胡甄丹 克莉絲汀娜 艾利珊卓 ,  HOOGENDAM, CHRISTIAAN ALEXANDER ,  凡 吉斯 比卓斯 法新克司 ,  VAN GILS, PETRUS FRANCISCUS ,  卡敏加 吉而摩 馬修斯 ,  庫特 簡 傑彼 ,  KUIT, JAN JAAP ,  斯庫爾曼斯 卡羅斯 裘漢斯 凱薩琳娜 ,  SCHOORMANS, CAROLUS JOHANNES CATHARINA

IPC: G03F7/20

公开(公告)号：TWI641917B

公开(公告)日：2018-11-21

申请号：TW105103051

申请日：2016-01-30

Applicant: 荷蘭商ASML荷蘭公司 ,  ASML NETHERLANDS B. V.

Inventor： 柳星蘭 ,  LIU, XING LAN ,  史密德 韓卓克 真 海德 ,  SMILDE, HENDRIK JAN HIDDE ,  彭玥霖 ,  PENG, YUE LIN ,  希可利 哈奇 爾金 ,  佩羅 裘瑟林 ,  PELLO, JOSSELIN ,  凡 哈倫 理查 喬哈奈 法蘭西卡斯 ,  VAN HAREN, RICHARD JOHANNES FRANCISCUS

IPC: G03F7/20

公开(公告)号：TWI641821B

公开(公告)日：2018-11-21

申请号：TW105112331

申请日：2016-04-20

Applicant: 荷蘭商ASML荷蘭公司 ,  ASML NETHERLANDS B. V.

Inventor： 巴賽曼 喬納斯 喬可巴斯 麥修斯 ,  BASELMANS, JOHANNES JACOBUS MATHEUS ,  迪 巴克 彼得 巴特 艾洛伊斯 ,  凡羅斯 妮可 ,  VANROOSE, NICO ,  伊波寧特 吉凡尼 ,  IMPONENTE, GIOVANNI ,  史塔斯 羅南 裘翰斯 威廉瑪斯 ,  STAS, ROLAND JOHANNES WILHELMUS ,  考爾 珊比特 ,  KAUR, CHANPREET ,  道尼斯 詹姆士 羅伯特 ,  DOWNES, JAMES ROBERT

IPC: G01M11/02 ,  G03F7/20

公开(公告)号：TWI636709B

公开(公告)日：2018-09-21

申请号：TW103108131

申请日：2014-03-10

Applicant: 荷蘭商ASML荷蘭公司 ,  ASML NETHERLANDS B. V.

Inventor： 拉法斯 羅伯特J ,  RAFAC, ROBERT J. ,  陶業爭 ,  TAO, YEZHENG

IPC: H05G2/00

公开(公告)号：TWI635369B

公开(公告)日：2018-09-11

申请号：TW105118034

申请日：2016-06-07

Applicant: 荷蘭商ASML荷蘭公司 ,  ASML NETHERLANDS B. V.

Inventor： 凡 巫斯登 安東 伯恩哈得 ,  VAN OOSTEN, ANTON BERNHARD ,  希尼 保羅 克利絲丁安 ,  HINNEN, PAUL CHRISTIAAN ,  迪 克夫 羅伯特斯 寇尼勒斯 馬汀納斯 ,  DE KRUIF, ROBERTUS CORNELIS MARTINUS ,  蘇洽 羅伯特 約翰 ,  SOCHA, ROBERT JOHN

IPC: G03F7/20 ,  G03F1/44

公开(公告)号：TWI633395B

公开(公告)日：2018-08-21

申请号：TW105133392

申请日：2016-10-17

Applicant: 荷蘭商ASML荷蘭公司 ,  ASML NETHERLANDS B. V.

Inventor： 譚 伯格 彼德 ,  TEN BERGE, PETER ,  摩斯 艾佛哈德斯 柯奈利斯 ,  MOS, EVERHARDUS CORNELIS ,  凡 哈倫 理查 喬哈奈 法蘭西卡斯 ,  VAN HAREN, RICHARD JOHANNES FRANCISCUS ,  沃爾登尼爾 彼得 韓森 ,  WARDENIER, PETER HANZEN ,  傑森 艾瑞克 ,  JENSEN, ERIK ,  凱斯川普 伯納多 ,  KASTRUP, BERNARDO ,  庫必司 麥克 ,  KUBIS, MICHAEL ,  馬肯斯 喬納斯 凱瑟尼斯 哈伯特斯 ,  MULKENS, JOHANNES CATHARINUS HUBERTUS ,  戴克司 大衛 法蘭斯 賽門 ,  DECKERS, DAVID FRANS SIMON ,  漢克 沃夫甘 哈慕特 ,  HENKE, WOLFGANG HELMUT ,  李 鍾哲 ,  LEE, JOUNGCHEL

IPC: G03F7/20