公开(公告)号：WO2002088036A1

公开(公告)日：2002-11-07

申请号：PCT/US2002/009461

申请日：2002-03-25

Applicant: CORNING INCORPORATED ,  ACKERMAN, Bradford G ,  HRDINA, Kenneth E ,  MOORE, Lisa A ,  RUSSO, Nikki J ,  YU, Chunzhe C

Inventor： ACKERMAN, Bradford G ,  HRDINA, Kenneth E ,  MOORE, Lisa A ,  RUSSO, Nikki J ,  YU, Chunzhe C

IPC: C03B8/04

CPC classification number: C03C4/0085 ,  C03B19/1415 ,  C03B19/1453 ,  C03B19/1484 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/42 ,  C03B2207/32 ,  C03B2207/62 ,  C03B2207/70 ,  C03C3/06 ,  C03C3/076 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/42 ,  C03C2203/40 ,  Y02P40/57

Abstract: A titania precursor (18) and a silica precursor (6) are mixed in a manifold (14) and are fed to a burner (28) to create soot (40) which is deposited on a deposition surface (34) which is rotated and elevated. The end product is useful for Extreme UV lithography.

Abstract translation: 将二氧化钛前体（18）和二氧化硅前体（6）混合在歧管（14）中并被供给到燃烧器（28）以产生沉积在旋转的沉积表面（34）上的烟灰（40） 升高。 最终产品适用于Extreme UV光刻。

公开(公告)号：WO2014085529A1

公开(公告)日：2014-06-05

申请号：PCT/US2013/072146

申请日：2013-11-27

Applicant: CORNING INCORPORATED ,  ANNAMALAI, Sezhian ,  DURAN, Carlos, Alberto ,  HRDINA, Kenneth, Edward

Inventor： ANNAMALAI, Sezhian ,  DURAN, Carlos, Alberto ,  HRDINA, Kenneth, Edward

IPC: C03C3/06 ,  C03B19/14 ,  C03C4/00

CPC classification number: G03F1/22 ,  C03B19/12 ,  C03B19/1461 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/20 ,  C03B2201/23 ,  C03B2201/32 ,  C03B2201/40 ,  C03B2201/42 ,  C03C3/06 ,  C03C4/0085 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/23 ,  C03C2201/32 ,  C03C2201/40 ,  C03C2201/42 ,  C03C2203/44 ,  C03C2203/54

Abstract: The present disclosure is directed to a doped silica-titania glass, DST glass, consisting essentially of 0.1 wt.% to 5 wt.% halogen, 50 ppm-wt. to 6 wt.% of one or more oxides of Al, Ta and Nb, 3 wt.% to 10 wt.% TiO 2 and the remainder SiO 2 . In an embodiment the halogen content can be in the range of 0.2 wt.% to 3 wt.% along with 50 ppm-wt. to 6 wt.% one or more oxides of Al, Ta and Nb, 3 wt.% to 10 wt.% TiO 2 and the remainder SiO 2 . In an embodiment the DST glass has an OH concentration of less than 100 ppm. In another embodiment the OH concentration is less than 50 ppm. The DST glass has a Active temperature T f of less than 875°C. In an embodiment T f is less than 825°C. In another embodiment T f is less than 775°C.

Abstract translation: 本公开涉及掺杂的二氧化硅 - 二氧化钛玻璃DST玻璃，其基本上由0.1重量％至5重量％的卤素组成，50重量ppm。 至6重量％的一种或多种Al，Ta和Nb的氧化物，3重量％至10重量％的TiO 2，余量为SiO 2。 在一个实施方案中，卤素含量可以在0.2重量％至3重量％的范围内以及50ppm重量的范围内。 至6重量％的一种或多种Al，Ta和Nb的氧化物，3重量％至10重量％的TiO 2，余量为SiO 2。 在一个实施方案中，DST玻璃的OH浓度小于100ppm。 在另一个实施方案中，OH浓度小于50ppm。 DST玻璃的活性温度Tf小于875℃。 在一个实施方案中，Tf小于825℃。 在另一个实施方案中，Tf小于775℃。

公开(公告)号：WO2014036116A1

公开(公告)日：2014-03-06

申请号：PCT/US2013/057041

申请日：2013-08-28

Applicant: CORNING INCORPORATED ,  ANNAMALAI, Sezhian ,  DAWES, Steven Bruce ,  HRDINA, Kenneth Edward

Inventor： ANNAMALAI, Sezhian ,  DAWES, Steven Bruce ,  HRDINA, Kenneth Edward

IPC: C03C3/06 ,  C03C3/076 ,  C03C3/095 ,  C03C3/097 ,  C03C4/00

CPC classification number: C03C3/097 ,  C03B19/12 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/23 ,  C03B2201/40 ,  C03B2201/42 ,  C03C3/06 ,  C03C3/076 ,  C03C3/095 ,  C03C4/0085 ,  C03C2201/23 ,  C03C2201/40 ,  C03C2201/42 ,  C03C2203/34 ,  C03C2203/42 ,  C03C2203/50

Abstract: This disclosure is directed to a silica-titania-niobia glass and to a method for making the glass. The composition of the silica-titania-niobia (SiO 2 -TiO 2 -Nb 2 O 5 ) glass, determined as the oxides, is Nb 2 O 5 in an amount in the range of 0.005 wt.% to 1.2 wt.% TiO 2 , in an amount in the range of 5 wt.% to 10 wt.%, and the remainder of glass is SiO 2 . In the method, the STN glass precursor is consolidated into a glass by heating to a temperature of 1600°C to 1700°C in flowing helium for 6 hours to 10 hours. When this temperature is reached, the helium flow can be replaced by argon for the remainder of the time. Subsequently the glass is cooled to approximately 1050°C, and then from 1050°C to 700°C followed by turning off the furnace and cooling the glass to room temperature at the natural cooling rate of the furnace.

Abstract translation: 本公开涉及二氧化硅 - 二氧化钛 - 铌玻璃和制造该玻璃的方法。 确定为氧化物的二氧化硅 - 二氧化钛 - 氧化铌（SiO2-TiO2-Nb2O5）玻璃的组成为0.005重量％至1.2重量％TiO 2的量的Nb 2 O 5，其量为 5重量％至10重量％，玻璃的其余部分为SiO 2。 在该方法中，通过在流动氦中加热至1600℃至1700℃的温度6小时至10小时，将STN玻璃前体固结成玻璃。 当达到这个温度时，氦气流可以在一段时间内用氩气代替。 随后将玻璃冷却至约1050℃，然后冷却至1050℃至700℃，随后关闭炉，并以炉的自然冷却速率将玻璃冷却至室温。

公开(公告)号：WO2013082246A1

公开(公告)日：2013-06-06

申请号：PCT/US2012/066993

申请日：2012-11-29

Applicant: CORNING INCORPORATED ,  FIACCO, Richard, Michael ,  HRDINA, Kenneth, Edward ,  ASHTON-PATTON, Melissann

Inventor： FIACCO, Richard, Michael ,  HRDINA, Kenneth, Edward ,  ASHTON-PATTON, Melissann

IPC: H01L31/00 ,  C03C3/00 ,  C03C3/06

CPC classification number: H01L31/03923 ,  C03C17/06 ,  C03C17/22 ,  C03C23/008 ,  C03C23/009 ,  C03C2217/26 ,  C03C2217/289 ,  H01L31/0392 ,  H01L31/03925 ,  Y02E10/541

Abstract: A method of moving alkali metal ions in a glass substrate to form a glass substrate having an intrinsic alkali metal barrier layer or an enhanced alkali metal layer by applying voltage to at least one of the surfaces of the substrate such that at least a portion of the alkali metal ions, alkaline earth metal ions, or the combination thereof in the at least one surface move into the thickness of the glass substrate.

Abstract translation: 一种使玻璃基板中的碱金属离子移动以通过向基板的至少一个表面施加电压以形成具有本征碱金属阻挡层或增强的碱金属层的玻璃基板的方法，使得至少一部分 碱金属离子，碱土金属离子或其至少一个表面的组合移动到玻璃基底的厚度中。

公开(公告)号：WO2008140676A3

公开(公告)日：2009-01-08

申请号：PCT/US2008005487

申请日：2008-04-28

Applicant: CORNING INC ,  BOOKBINDER DANA C ,  FIACCO RICHARD M ,  HRDINA KENNETH

Inventor： BOOKBINDER DANA C ,  FIACCO RICHARD M ,  HRDINA KENNETH

IPC: C03C3/06 ,  C03B19/14

CPC classification number: C03C3/06 ,  C03B19/1453 ,  C03B2201/07 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/20 ,  C03B2201/21 ,  C03B2201/22 ,  C03B2201/23 ,  C03B2201/31 ,  C03C2201/22 ,  C03C2201/23 ,  C03C2203/54

Abstract: A fused silica glass and a fused silica article having a combined concentration of at least one of OH and OD of up to about 50 ppm. The fused silica glass is formed by drying a fused silica soot blank or preform in an inert atmosphere containing a drying agent, followed by removal of residual drying agent from the dried soot blank by heating the dried soot blank in an atmosphere comprising an inert gas and of oxygen.

Abstract translation: 熔融石英玻璃和熔融二氧化硅制品，其具有高达约50ppm的OH和OD中的至少一种的组合浓度。 熔融二氧化硅玻璃通过在含有干燥剂的惰性气氛中干燥熔融二氧化硅烟灰坯料或预型体而形成，然后通过在包含惰性气体的气氛中加热干燥的烟灰坯料从干燥的烟灰坯中除去残留的干燥剂， 的氧气。

公开(公告)号：WO2007005322A1

公开(公告)日：2007-01-11

申请号：PCT/US2006/024346

申请日：2006-06-23

Applicant: CORNING INCORPORATED ,  BOOKBINDER, Dana C ,  HRDINA, Kenneth E ,  KOHNKE, Glenn E ,  MOORE, Lisa A ,  NEUKIRCH, Ulrich ,  SCHIEFELBEIN, Susan L ,  SMITH, Charlene M

Inventor： BOOKBINDER, Dana C ,  HRDINA, Kenneth E ,  KOHNKE, Glenn E ,  MOORE, Lisa A ,  NEUKIRCH, Ulrich ,  SCHIEFELBEIN, Susan L ,  SMITH, Charlene M

IPC: C03C3/06 ,  C03C4/00 ,  C03C21/00

CPC classification number: C03C3/06 ,  C03C4/0071 ,  C03C4/0085 ,  C03C2201/21 ,  C03C2201/23 ,  C03C2201/54

Abstract: Disclosed in the application are a synthetic silica glass having low fluence-dependent transmission, particularly at about 193 nm, and a process for making the same. The glass may desirably exhibit a low level of fluorescence at 290 and 390 nm when activated at about 248 nm. The glass may desirably exhibit low level of LIWFD, [SiH*] and/or [ODC].

Abstract translation: 在本申请中公开了具有低注射度依赖性透射率，特别是约193nm的合成二氧化硅玻璃及其制造方法。 当在约248nm激活时，该玻璃可期望地在290和390nm处表现出低水平的荧光。 玻璃可能期望显示低水平的LIWFD，[SiH *]和/或[ODC]。