-
公开(公告)号:CN116963871A
公开(公告)日:2023-10-27
申请号:CN202180095325.0
申请日:2021-09-29
Applicant: 东和株式会社
IPC: B24B41/06
Abstract: 本发明自动更换用以保持加工对象物的保持用板,包括:加工机构4,对密封完毕基板W进行加工;板收容部24,收容用以保持密封完毕基板W的保持用板M1;保持基部M2,可装卸地安装有保持用板M1,使用保持用板M1来保持密封完毕基板W;以及板搬送机构25,在板收容部24及保持基部M2之间搬送保持用板M1,板搬送机构25将自保持基部M2卸除的保持用板M1搬送至板收容部24,并将位于板收容部24的保持用板M1搬送至保持基部M2。
-
公开(公告)号:CN112828639B
公开(公告)日:2023-04-11
申请号:CN202011292571.9
申请日:2020-11-18
Applicant: 东和株式会社
Abstract: 本发明涉及一种刀片更换装置及切断系统。本发明对于不具有刀片的自动更换功能的切断装置,能够自动更换刀片,设为如下结构,包括:门扇开闭机构(21),将使用刀片(61)来将切断对象物(W)切断的切断装置(10)的门扇(D)进行开闭;以及刀片更换机构(22),在利用门扇开闭机构(21)来打开门扇(D)的状态下,更换刀片(61);并且设置于切断装置(10)的外部。
-