公开(公告)号：KR200146292Y1

公开(公告)日：1999-06-15

申请号：KR2019950053339

申请日：1995-12-29

Applicant: 고등기술연구원연구조합

Inventor： 장낙영 ,  이호상 ,  정병철 ,  송승훈 ,  김의중 ,  권오철

IPC: G02B7/04

Abstract: 본 고안은 미세변위 생성장치를 개시한다.
본 고안은, 그 내면에 관통구멍이 형성되며, 그 일측외주면에는 관통구멍과 연통된 절개홈이 형성되고, 그 상면이 경사진 경사면과 평탄한 평탄면으로 구획된 변위생성용 링과; 변위생성용 링의 절개홈에 개재되며, 변위생성용 링의 원주면을 확장시키는 액츄에이터와; 그 내면에 관통구멍이 형성되며, 그 하면에는 변위생성용 링의 경사면에 안착되도록 동일 경사면이 형성된 기준링;을 포함하여 된 것으로서, 액츄에이터 자체가 갖고 있는 변위에 비해 월등이 작은 변위를 생성할 수 있어 초정밀 이송에 보다 좋은 효과를 갖게되며, 특히 경사면의 각도를 달리할 경우 다양한 변위량을 얻을 수 있게 된다.
또한 액츄에이터가 직접 구동부위에 접촉되지 않음으로써, 열에 의한 영향을 방지할 수 있는 이점이 있다.

公开(公告)号：KR100198362B1

公开(公告)日：1999-06-15

申请号：KR1019950067092

申请日：1995-12-29

Applicant: 고등기술연구원연구조합

Inventor： 장낙영 ,  이호상 ,  권오철 ,  김의중 ,  송승훈 ,  정병철

IPC: F16C35/077

Abstract: 본 발명은 베어링 자동예압장치를 개시한다.
본 발명은, 하우징의 내측면에 스핀들을 회전 가능하게 지지하는 복수개의 볼베어링과, 상기 복수개의 볼 베어링들 사이의 하우징 내측면에 볼 베어링의 외륜과 소정간격 이격되도록 연장 형성되는 걸림 플랜지와, 상기 복수개의 볼 베어링 외륜과 상기 하우징의 걸림 플랜지 측면 사이의 개재되며 전압이 인가되는 것에 의해 그 원주방향에 대해 수직되는 방향으로 변위를 발생시키는 환형의 피에조 액츄에이터와, 상기 스핀들의 회전수를 감지하는 엔코더와, 상기 엔코더에 의해 감지되는 스핀들의 회전수에 따라 상기 피에조 액츄에이터 각각에 가변적인 전압을 공급하는 콘트롤러를 포함하여 상기 스핀들의 축방향으로의 이동을 가능케하고 상기 볼베어링에의 예압을 최적으로 유지함을 특징으로 하는 베어링 자동 예압장치를 제공하며, 스핀들의 � ��전수를 감지하는 엔코더와, 이 엔코더에 의해 감지된 스핀들의 회전수에 따라 적정 전압을 피에조 액츄에이터에 공급하는 콘트롤러를 통해 스핀들을 하우징에 회전 가능하게 지지하고 있는 볼 베어링에 가해지는 예압을 신속하게 적정하게 유지시킬 수 있고 각각의 피에조 액츄에이터에 서로 다른 전압을 인가함으로써 스핀들의 축방향 위치를 조절할 수 있는 효과가 있다. 따라서 제품의 성능 예컨대 정밀도의 향상을 꾀할 수 있다.

公开(公告)号：KR100194733B1

公开(公告)日：1999-06-15

申请号：KR1019960078553

申请日：1996-12-31

Applicant: 고등기술연구원연구조합

Inventor： 김의중

IPC: B23Q15/18

Abstract: 본 발명은 압전 물질을 액튜에이터로 하여 공구 탑재대를 이송하는 미소 절삭 장치에서 공구 탑재대와 센서 지지대의 열팽창에 따른 측정 오차를 자동으로 보상할 수 있는 구조를 갖는 미소 절삭 장치에 관한 것이다. 본 발명은 고정 지지대의 길이 방향으로 이동가능하게 설치되며 그 선단에는 미소 절삭 공구가 탑재된 공구 탑재대, 상기 고정 지지대에 고정적으로 설치된 센서 지지대에 매달려서 상기 공구 탑재대의 하단 사이의 거리를 측정하는 변위 센서를 구비하고 상기 변위 센서에서 측정된 거리량에 의거하여 공구 탑재대의 이동량을 제어하는 미소 절삭 장치에 있어서, 상기 미소 절삭 공구와 공구 탑재대 및 센서 지지대를 열팽창 계수가 동일한 재질로 형성함과 동시에 상기 미소 절삭 공구와 공구 탑재대 하단 사이의 거리와 상기 센서 지지대의 길이 방향으로의 중심 거리를 실질적으로 동일하게 한 것을 특징으로 한다.

公开(公告)号：KR1019980059216A

公开(公告)日：1998-10-07

申请号：KR1019960078553

申请日：1996-12-31

Applicant: 고등기술연구원연구조합

Inventor： 김의중

IPC: B23Q15/18

Abstract: 본 발명은 압전 물질을 액튜에이터로 하여 공구 탑재대를 이송하는 미소 절삭 장치에서 공구 탑재대와 센서 지지대의 열팽창에 따른 측정 오차를 자동으로 보상할 수 있는 구조를 갖는 미소 절삭 장치에 관한 것이다. 본 발명은 고정 지지대의 길이 방향으로 이동가능하게 설치되며 그 선단에는 미소 절삭 공구가 탑재된 공구 탑재대, 상기 고정 지지대에 고정적으로 설치된 센서 지지대에 매달려서 상기 공구 탑재대의 하단 사이의 거리를 측정하는 변위 센서를 구비하고 상기 변위 센서에서 측정된 거리량에 의거하여 공구 탑재대의 이동량을 제어하는 미소 절삭 장치에 있어서, 상기 미소 절삭 공구와 공구 탑재대 및 센서 지지대를 열팽창 계수가 동일한 재질로 형성함과 동시에 상기 미소 절삭 공구와 공구 탑재대 하단 사이의 거리와 상기 센서 지지대의 길이 방향으로의 중심 거리를 실질적으로 동일하게 한 것을 특징으로 한다.

公开(公告)号：KR1019980012802A

公开(公告)日：1998-04-30

申请号：KR1019960027206

申请日：1996-07-05

Applicant: 고등기술연구원연구조합

Inventor： 김의중

IPC: H02K41/02

公开(公告)号：KR1019970033425A

公开(公告)日：1997-07-22

申请号：KR1019950067091

申请日：1995-12-29

Applicant: 고등기술연구원연구조합

Inventor： 장낙영 ,  이호상 ,  송승훈 ,  김의중 ,  권오철 ,  정병철

IPC: B23Q1/25

Abstract: 본 발명은 3차원 이동장치를 개시한다.
본 발명은, 메인 테이블과; 메인 테이블의 상면에 위치되며, 그 일측면에 마련된 구동 메카니즘에 의해 Z축 방향으로 이동하는 제1조동 테이블과; 제1조동 테이블의 상면에 위치되며, 그 일측면에 마련된 구동 메카니즘에 의해 X축 방향으로 이동하는 제2조동 테이블과; 제2조동 테이블의 상면에 위치되며, 그 일측면에 마련된 구동메카니즘에 의해 Y축 방향으로 이동하는 제3조동 테이블과; 제3조동 테이블의 상면과 소정간격 이격되도록 위치되는 미세이동 테이블과; 미세이동 테이블을 상기 제1, 2, 3, 조동 테이블을 중심으로 6자유도 방향으로 미세이동 시키기 위한 미세조절수단과; 미세조절수단에 의해 6자유도 방향으로 미세이동되는 미세이동 테이블의 위치를 감지하기 위한 감지수단과; 감지수단에 의해 감지된 미세이동 테이블의 이송값과, 설정된 미세이동 테이블의 이송값간의 오차를 제어하기 위한 제어수단; 을 포함하여 된 것으로서, 매우 정밀한 위치결정이 가능하며, 특히 미세이동 테이블의 질량과 부피가 작고 간단한 구조를 취하고 있어 고속위치 결정이 가능하고 제작이 용이한 효과가 있다.

公开(公告)号：KR100765988B1

公开(公告)日：2007-10-10

申请号：KR1020010035404

申请日：2001-06-21

Applicant: 고등기술연구원연구조합

Inventor： 김의중 ,  이호재

IPC: B24B47/22

Abstract: 본 발명은 축대칭 광학소자인 공작물을 가공할 때에 가공정밀도를 향상시키기 위하여 가공면의 광축을 가공기의 비접촉으로 정밀하게 일치시키고 공작물의 센터를 자동으로 찾도록 하는 표면가공장치에 관한 것으로, 공작물을 회전시키는 회전테이블위에 설치되어 공작물을 탑재하고서 공작물의 광축을 미세하게 조정하는 틸팅수단과, 상기 공작물의 편심상태를 감지하여 틸팅수단에 구동신호를 출력하여 제어하는 광학측정유닛 및 이 광학측정유닛을 탑재하고서 그 위치를 조정하는 동기회전수단을 포함하여 이루어지며, 틸팅수단은 하우징에 안착된 회동판을 다수개의 액츄에이터를 통해 회동되고, 동기회전수단은 어느 하나가 구동기어인 한 쌍의 기어와, 이 기어에 치차결합되는 짝수개의 중간기어로 이루어지며, 상기 광학측정유닛은 공작물에 광선을 조사하기 위해 광원과 콜리메이터렌즈 및 슬릿을 포함하는 광조사수단과, 공작물로부터의 반사빛을 수광하는 수광수단을 포함하여 구성되어, 공작물의 형상이 오목면이나 볼록면에 관계없이 센터를 조정할 수 있도록 한 것이다.
표면가공, 축대칭, 광학소자, 공작물, 중심

公开(公告)号：KR1020050109840A

公开(公告)日：2005-11-22

申请号：KR1020040034869

申请日：2004-05-17

Applicant: 고등기술연구원연구조합

Inventor： 김호상 ,  이재석 ,  이대희 ,  김의중

IPC: H01S3/10

CPC classification number: H01S3/101 ,  G02B26/101 ,  G02B27/30

Abstract: 본 발명은 레이저 가공장치에서 공작물(workpiece)로 향하는 레이저의 방향을 조절하는 레이저 가공장치의 레이저 스캐너에 관한 것이다.
본 발명의 레이저 스캐너는 레이저 빔 발생기에서 발생된 레이저 빔을 콜리메이터에서 평행광으로 변환하여 마스크를 통과시킨 후 레이저 스캐너를 통해 공작물에 조사하여 마스크 형상에 따라 공작물을 레이저 가공하기 위한 레이저 가공장치에 있어서, 레이저 스캐너가 일단에 반사경이 설치된 로드 타입의 봉과, 봉의 타단을 선운동으로 구동하여 반사경의 조사방향을 X,Y축으로 움직이기 위한 복수개의 압전 액츄에이터와, 상기 봉을 지지하고 상기 직선운동을 회전운동으로 변환하기 위해 봉의 중간에 형성된 볼 피봇을 포함하여 구성된다. 따라서 본 발명은 서브 마이크로미터급의 빔조사 정밀도를 제공하여 초정밀 가공을 가능하게 한다.

公开(公告)号：KR100356440B1

公开(公告)日：2002-10-19

申请号：KR1019990055478

申请日：1999-12-07

Applicant: 고등기술연구원연구조합

Inventor： 김의중

IPC: B24B1/00

Abstract: 본발명은연마기에관한것으로서, 본발명은회전하면서피연마재를연마시키는폴리셔, 이폴리셔에회전력을제공하는모터, 상기폴리셔를상기피연마재를기준으로상하이송시키는위치조정수단, 연마작업시상기폴리셔에작용하는압력을측정하는압력센서, 위치조정수단에의해위치고정된상기폴리셔를미소이동시키는액추에이터및 상기폴리셔의연마작업중 상기압력센서에의해측정된압력과기설정된압력을비교한결과에따라상기액추에이터를구동시키는제어수단을포함하여구성된다. 이에따라, 모터를감싸고있는스테이터의상부에압력센서를설치하고그 압력센서에서측정된압력과초기입력된압력을비교하여액추에이터를이용하여폴리셔의연마작업을제어함으로써종래에비해효과적인연마작업이이루어지게된다.

公开(公告)号：KR100257299B1

公开(公告)日：2000-05-15

申请号：KR1019970065622

申请日：1997-12-03

Applicant: 고등기술연구원연구조합

Inventor： 김호상 ,  김의중

IPC: H01L41/04 ,  H03H9/00

Abstract: PURPOSE: An apparatus for driving a piezo ceramic actuator is to drive the piezo ceramic actuator accurately by removing a hysteresis phenomenon. CONSTITUTION: A displacement sensor(500) detects a displacement of a piezo ceramic actuator(400) to output a displacement detection signal. A proportional integrator controller(100) receives a deviation between the displacement detection signal and an input signal and generates a control signal for enhancing an output characteristic of the piezo ceramic actuator. An estimation unit(600) receives the input signal and estimates a next displacement to output a next value of the input signal corresponding to the next displacement. An adder(210) adds the control signal and the output signal of the estimation unit to generate an added signal. A notch filter(200) receives the added signal and attenuates an oscillation frequency of the added signal. A high voltage amplifier(300) amplifies the output signal of the notch filter to a predetermined level and outputs an amplified signal to the piezo ceramic actuator.

Abstract translation: 目的：驱动压电陶瓷致动器的装置是通过消除滞后现象来精确地驱动压电陶瓷致动器。 构成：位移传感器（500）检测压电陶瓷致动器（400）的位移以输出位移检测信号。 比例积分器控制器（100）接收位移检测信号和输入信号之间的偏差，并产生用于增强压电陶瓷致动器的输出特性的控制信号。 估计单元（600）接收输入信号并估计下一个位移以输出对应于下一个位移的输入信号的下一个值。 加法器（210）将控制信号和估计单元的输出信号相加以产生相加的信号。 陷波滤波器（200）接收相加的信号并衰减所添加的信号的振荡频率。 高压放大器（300）将陷波滤波器的输出信号放大到预定电平，并将放大的信号输出到压电陶瓷致动器。