Abstract:
본 발명은 산화물 박막 트렌지스터를 제공한다. 이 산화물 박막 트렌지스터는 기판; 상기 기판에서 제1 방향으로 연장되는 게이트 전극; 상기 게이트 전극 상에 배치되고 상기 게이트 전극을 가로지르도록 배치되는 게이트 절연막; 상기 게이트 절연막 상에 배치되고 상기 게이트 전극의 양측에서 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향으로 연장되는 산화물 반도체층; 상기 산화물 반도체층 상에 배치되고 상기 게이트 전극을 중심으로 서로 이격되어 배치되는 소오스 전극 및 드레인 전극; 상기 소오스 전극 및 상기 드레인 전극 상에 배치되고 상기 소오스 전극과 상기 드레인 전극 사이의 노출된 산화물 반도체층 상에 배치되는 절연층; 및 상기 소오스 전극과 상기 드레인 전극 사이의 노출된 산화물 반도체층과 정렬되고 상기 절연층 상에 배치되는 보호층을 포함한다. 상기 보호층은 투명한 금속 산화물로 구성된 하부 보호층; 상기 하부 보호층 상에 배치된 금속층; 및 투명한 금속 산화물로 구성되고 상기 금속층 상에 배치된 상부 보호층을 포함한다.
Abstract:
본 발명은 수직형 발광 다이오드 소자 및 그 제조 방법을 제공한다. 이 수직형 발광 다이오드 소자는 도전성 기판; 상기 도전성 기판 상에 배치된 p형 GaN층; 상기 GaN층 상에 배치된 활성층; 상기 활성층에 배치된 제1 n 형 GaN층; 상기 제1 n형 GaN 층 상에 배치된 도핑되지 않은 AlN층; 상기 AlN 층 상에 배치된 제2 n형 GaN층; 및 상기 p형 GaN층, 상기 활성층, 상기 제1 n 형 GaN층, 그리고 상기 AlN층을 관통하여 상기 제2 n형 GaN층에 접합하는 콘택 플러그를 포함한다.
Abstract:
본 발명은 TiO 2 /Ag/TiO 2 다층박막 구조를 갖는 플렉시블 투명전극에 관한 것으로서, 더욱 구체적으로는, Ag 금속층; 및 상기 Ag 금속층의 상면 및 하면에 각각 적층된 TiO 2 층을 포함하는 플렉시블 투명전극으로서, 상기 Ag 금속층의 두께는 11 nm 내지 25 nm이며, 상기 TiO 2 층의 두께는 20 nm 내지 80 nm인 것을 특징으로 하는 플렉시블 투명전극에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 종래 ITO 전극에 비견할 만한 높은 투과도를 지니면서도, 낮은 면저항값을 갖고, 상온 증착 공정에 의해서 제조되어 고온 열처리가 필요 없이 폴리머 기판에 그대로 제조가 가능한 플렉시블 투명전극을 제공할 수 있다.
Abstract translation:本发明涉及具有TiO 2 / Ag / TiO 2多层薄膜结构的柔性透明电极,更具体地,涉及柔性透明电极,其包括:Ag金属层; 以及层叠在Ag金属层的上侧和下侧的二氧化钛层,其中,Ag金属层的厚度为11nm〜25nm,TiO 2层的厚度为20nm〜80nm 纳米。 本发明可以提供一种柔性透明电极,其具有较低的薄层电阻值,而与常规的ITO电极相比具有高的透光率,并且可以直接在聚合物基材上制造而不需要高温热处理,因为相同的是 通过室温沉积工艺制造。
Abstract:
본발명은 TiO/Ag/TiO다층박막구조를갖는플렉시블투명전극에관한것으로서, 더욱구체적으로는, Ag 금속층; 및상기 Ag 금속층의상면및 하면에각각적층된 TiO층을포함하는플렉시블투명전극으로서, 상기 Ag 금속층의두께는 11 nm 내지 25 nm이며, 상기 TiO층의두께는 20 nm 내지 80 nm인것을특징으로하는플렉시블투명전극에관한것이다. 본발명에따르면, 종래 ITO 전극에비견할만한높은투과도를지니면서도, 낮은면저항값을갖고, 상온증착공정에의해서제조되어고온열처리가필요없이폴리머기판에그대로제조가가능한플렉시블투명전극을제공할수 있다.
Abstract translation:本发明涉及具有TiO / Ag / TiO多层薄膜结构的柔性透明电极,更具体地涉及Ag金属层; 并且,在Ag金属层的上下表面层叠有TiO层,Ag金属层的厚度为11nm〜25nm,TiO层的厚度为20nm〜80nm 到柔性透明电极。 根据本发明,当精灵高渗透性显着常规媲美ITO电极,具有低的薄层电阻,由室温下沉积工艺制造可被提供给可以被制造为聚合物基板,而不需要高温热处理的柔性透明电极。