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公开(公告)号：KR101867187B1
公开(公告)日：2018-06-12
申请号：KR1020160168650
申请日：2016-12-12
Applicant: 단국대학교 산학협력단
IPC: G01N21/552 , G01N21/55
CPC classification number: G01N21/554 , G01N2021/556
Abstract: 금속나노입자의표면플라즈몬공명현상을이용한국소화표면플라즈몬공명센서의신호보정방법이제공된다. 이는 DI 수또는버퍼용액내에센서의금속나노입자를담군상태에서센서의출력신호의세기 A를구하여해당센서의기본특성값으로정의하는단계와, 금속나노입자에항체가흡착된상태에서항체-항원반응에따른결합에의해발생하는센서의출력신호세기의변화량 B를구하는단계와, 변화량 B를기본특성값으로나누는단계를포함한다. 이를통해, 센서의금속나노입자의밀도, 크기, 형태와상관없이균일한측정값을얻을수 있다.
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公开(公告)号：KR101610441B1
公开(公告)日：2016-04-07
申请号：KR1020130158013
申请日：2013-12-18
Applicant: 단국대학교 산학협력단
Abstract: 마이크로탐침어레이및 이의제작방법이개시된다. 마이크로탐침어레이들은인접한마이크로탐침과서로다른높이와간격을가진다. 이를통해 3차원환경에서배양된세포들의전기적특성의측정을동시에수행하게된다. 또한, 예비탐침들에대한식각공정에서예비탐침들의간격은상이하게설정된다. 등방성식각이수행되는경우, 좁은간격을가진예비탐침들은상부에서식각이수행되어기저탐침으로생성된다. 또한, 상대적으로넓은간격을가진예비탐침들은하부에서식각이수행되어기저탐침으로생성된다. 이를통해다양한높이를가지는마이크로탐침어레이의제작이이루어진다.
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公开(公告)号：KR1020150071233A
公开(公告)日：2015-06-26
申请号：KR1020130158013
申请日：2013-12-18
Applicant: 단국대학교 산학협력단
Abstract: 마이크로탐침어레이및 이의제작방법이개시된다. 마이크로탐침어레이들은인접한마이크로탐침과서로다른높이와간격을가진다. 이를통해 3차원환경에서배양된세포들의전기적특성의측정을동시에수행하게된다. 또한, 예비탐침들에대한식각공정에서예비탐침들의간격은상이하게설정된다. 등방성식각이수행되는경우, 좁은간격을가진예비탐침들은상부에서식각이수행되어기저탐침으로생성된다. 또한, 상대적으로넓은간격을가진예비탐침들은하부에서식각이수행되어기저탐침으로생성된다. 이를통해다양한높이를가지는마이크로탐침어레이의제작이이루어진다.
Abstract translation: 公开了微探针阵列及其制造方法。 微探针阵列与相邻的微探针具有不同的高度和不同的间隔。 因此，本发明同时测量在三维环境中培养的细胞的电学性质。 此外，在初步探针之间的间隔在蚀刻工序中设定为不同。 具有窄间隔的初步探针在上侧被蚀刻，并且在各向同性蚀刻工艺期间被转换成基底探针。 此外，具有相对宽的间隔的初步探针在下侧被蚀刻并被转换成基底探针。 因此，制造具有各种高度的微探针阵列。
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14.发明授权
公开(公告)号：KR101323894B1
公开(公告)日：2013-12-19
申请号：KR1020110107880
申请日：2011-10-21
Applicant: 단국대학교 산학협력단
IPC: H01L23/48 , H01L23/045 , H01L23/055 , H01L21/60
CPC classification number: H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 기판관통구조물, 이를이용하는전자소자의패키지및 이들의제조방법이개시된다. 먼저, 제1 기판의상면을식각하여비아홀(via hole) 패턴을형성한다. 비아홀 패턴의내부에제2 기판을구성하는물질을리플로시켜채움으로써, 제1 기판에제2 기판의패턴층을형성한다. 제1 기판의상면을패터닝하여제2 기판의패턴층사이에비아홀 패턴을형성한다. 또한, 도금등의공정을이용하여비아홀 패턴을매립하는비아플러그를형성하고, 이를전자소자의패키지에활용한다.
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公开(公告)号：KR102233028B1
公开(公告)日：2021-03-29
申请号：KR1020190095732
申请日：2019-08-06
Applicant: 단국대학교 산학협력단
IPC: G01N21/552 , G01N33/543 , G01N21/25
Abstract: 표면플라즈몬공명센서가개시된다. 표면플라즈몬공명센서는, 광섬유; 상기광섬유의끝 부분에배치된미세탐침; 상기미세탐침의특정영역에배치되는나노구조물을포함하고, 상기미세탐침의특정영역은, 광섬유의끝 부분으로부터일정거리만큼이격된위치에존재하고, 상기나노구조물은, 나노사이즈의간격의절연층양쪽에전도층이배치된다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020210017060A
公开(公告)日：2021-02-17
申请号：KR1020190095732
申请日：2019-08-06
Applicant: 단국대학교 산학협력단
IPC: G01N21/552 , G01N33/543 , G01N21/25
Abstract: 표면플라즈몬공명센서가개시된다. 표면플라즈몬공명센서는, 광섬유; 상기광섬유의끝 부분에배치된미세탐침; 상기미세탐침의특정영역에배치되는나노구조물을포함하고, 상기미세탐침의특정영역은, 광섬유의끝 부분으로부터일정거리만큼이격된위치에존재하고, 상기나노구조물은, 나노사이즈의간격의절연층양쪽에전도층이배치된다.
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公开(公告)号：KR101962011B1
公开(公告)日：2019-03-25
申请号：KR1020170049602
申请日：2017-04-18
Applicant: 단국대학교 산학협력단
IPC: G01N33/483 , G01N27/327 , B01L3/00
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公开(公告)号：KR101885422B1
公开(公告)日：2018-08-06
申请号：KR1020160054843
申请日：2016-05-03
Applicant: 단국대학교 산학협력단
Abstract: 전자기력구동스캐닝마이크로미러장치및 그제조방법이개시된다. 이는중앙부위에개방홀을가지는기판과, 개방홀에배치되어미러판을포함하고전자기력에의해미러판의반사각도의조절이가능하도록설치되는미러유닛과, 미러판의상부에상부공간을제공하도록기판의상면에배치되는상부캡부와, 미러판의하부에하부공간을제공하도록기판의하면에배치되는하부캡부를포함한다. 미러유닛의코일은수직형비아콘택요소를통하여외부접속패드와연결된다.
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公开(公告)号：KR101849017B1
公开(公告)日：2018-05-29
申请号：KR1020160147337
申请日：2016-11-07
Applicant: 단국대학교 산학협력단 , 한양대학교 에리카산학협력단
CPC classification number: C12M1/12 , B01D39/14 , C12Q1/24 , G01N1/40 , G01N2001/4088
Abstract: 나노필터를포함하는유체소자제조방법이개시된다. 이는탐침형돌출기둥을가지는필터몰드를이용하여제조하는과정을포함한다. 여기서는필터몰드상에제1고분자층을적층하고, 제1고분자층을부분적으로제거하되식각시간을제어함으로써탐침형돌출기둥들의노출길이를조절함으로써필터홀의사이즈를결정할수 있다. 이렇게얻어진유체소자는단층형필터구조를포함하고, 그럼으로써상대적으로낮은압력의유체도원활하게흐를수 있게된다.
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公开(公告)号：KR1020160116238A
公开(公告)日：2016-10-07
申请号：KR1020150043275
申请日：2015-03-27
Applicant: 단국대학교 산학협력단
IPC: G01N33/487 , B81B1/00 , B81C1/00
Abstract: 마이크로탐침구조물및 이의제조방법이개시된다. 이는두 번의 DRIE 공정및 RIE 공정을이용하여넓은간격을갖는마이크로탐침제작이가능하기때문에마스크패턴의간격및 크기의제한을받지않으며, 마이크로탐침간의간격에상관없이탐침의높이조절이가능함으로써, 적용하고자하는어플리케이션에맞게제작이가능하다.
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