公开(公告)号：KR101299898B1

公开(公告)日：2013-08-23

申请号：KR1020070007115

申请日：2007-01-23

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 소우마야스타카 ,  사카이미츠히로 ,  와다노리오 ,  야히로슌이치

IPC: H01L21/02

Abstract: 본 발명은 기판 냉각 장치에 관한 것으로서, 기판 냉각 장치 (25)는, 기판 (G)를 한 방향으로 반송하는 반송로로서의 롤러반송 기구 (5)와 롤러반송 기구 (5)에 의해 반송되고 있는 기판 (G)를 케이싱 (6)내에서 냉각 매체에 접촉시켜 냉각하는 냉각 기구 (7)을 구비하여 기판이 대형으로서도 안전성이 뛰어나는 것과 동시에, 수율의 향상을 도모하는 것이 가능한 기술을 제공한다.

公开(公告)号：KR101269748B1

公开(公告)日：2013-05-30

申请号：KR1020060123948

申请日：2006-12-07

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 소마야스타카 ,  와다노리오 ,  야히로슌이치

IPC: H01L21/027 ,  H01L21/324

Abstract: 본발명은가열처리장치에관한것으로서가열처리장치 (28)은기판 (G)를한방향으로반송하는반송로로서의롤러반송기구 (5)와반송로를포위하도록설치된케이싱 (6)과케이싱 (6)내에반송로를반송되는기판 (G)의양면측에기판 (G)에근접하도록반송로를따라각각설치된제1 및제2의면형상히터 (71a~71r, 72a~72r)를구비하여기판이대형으로서도기판의휘어짐이나파손등의발생을억제할수가있는것과동시에기판을수용하는케이싱의소형화를도모하는것이가능한가열처리장치를제공한다.