公开(公告)号：KR1019980072336A

公开(公告)日：1998-11-05

申请号：KR1019970007092

申请日：1997-03-04

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 이관성 ,  강성우

IPC: H01L21/334

Abstract: 본 발명은 반도체 모오스트랜지스터의 제조방법에 관한 것이다.
본 발명은, 반도체 모오스트랜지스터의 제조방법에 있어서, (1) 반도체 기판 상에 폴리실리콘막 및 텅스텐실리사이드막을 순차적으로 적층시키는 S2단계; (2) 상기 (1)의 수행으로 상기 막들이 순차적으로 적층된 반도체 기판을 소정의 온도분위기로 열처리시키는 S4단계; 및 (3) 상기 (2)의 수행으로 열처리가 이루어진 반도체 기판에 사진식각공정을 수행하여 소정의 영역의 상기 막들을 순차적으로 식각시킨 후 일정 영역에 산화막을 적층시키는 S6단계를 포함하여 이루어짐을 특징으로 한다.
따라서, 공정수행시 발생하는 불량을 방지하여 제품의 신뢰도가 향상되는 효과가 있다.

公开(公告)号：KR1020160059862A

公开(公告)日：2016-05-27

申请号：KR1020140161943

申请日：2014-11-19

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 박찬진 ,  신충환 ,  강성우 ,  오영묵 ,  이선정 ,  한정남

IPC: H01L29/78

CPC classification number: H01L29/66545 ,  H01L21/28518 ,  H01L21/76816 ,  H01L21/76831 ,  H01L23/485 ,  H01L29/66795 ,  H01L29/7855 ,  H01L2029/7858 ,  H01L2221/1063 ,  H01L29/785

Abstract: 반도체장치및 그제조방법이제공된다. 상기반도체장치는, 제1 방향으로연장되어형성되는액티브핀, 액티브핀 상에형성되고, 제1 방향과교차하는제2 방향으로연장되는게이트, 액티브핀의상부에형성되고, 게이트의일측에배치되는소오스또는드레인, 게이트와소오스또는드레인을덮는층간절연막, 층간절연막을관통하여소오스또는드레인과연결되고, 제1 콘택영역과제1 콘택영역의하부에위치하는제2 콘택영역을포함하는소오스또는드레인콘택및 제1 콘택영역과층간절연막사이에형성되는스페이서막을포함하되, 제1 콘택영역의제1 방향폭과제2 콘택영역의제1 방향폭은, 제1 콘택영역과제2 콘택영역의경계에서서로다르다.

Abstract translation: 本发明的目的是提供一种半导体器件，其能够在形成源极或漏极接触时通过使用间隔膜来防止栅极和源极或漏极接触之间的短路，并且能够确保 源或漏极通过使用离子注入工艺的高选择性蚀刻及其制造方法。 半导体器件包括：有源鳍片，其形成为沿第一方向延伸; 形成在活动翅片上并沿与第一方向交叉的第二方向延伸的门; 源极或漏极，形成在有源鳍片上并设置在栅极的一侧; 覆盖栅极和源极或漏极的层间绝缘膜; 穿透层间绝缘膜的源极或漏极接触件连接到源极或漏极，并且包括设置在第一接触区域下方的第一接触区域和第二接触区域; 以及形成在第一接触区域和层间绝缘膜之间的间隔膜。 第一方向上的第一接触区域的宽度和第一方向上的第二接触区域的宽度在第一接触区域和第二接触区域之间的边界上彼此不同。

公开(公告)号：KR100706250B1

公开(公告)日：2007-04-12

申请号：KR1020050061340

申请日：2005-07-07

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 현종선 ,  강성우

IPC: H01L21/02

CPC classification number: H01L21/67393 ,  H01L21/67017 ,  H01L21/67772 ,  H01L21/67775

Abstract: 본 발명은 반도체 기판 제조에 사용되는 장치를 제공한다. 본 발명의 장치는 기판들을 수용하는 용기가 놓이는 로드 포트, 상기 로드 포트와 공정 설비 사이에 배치되어 상기 로드 포트에 놓인 용기와 상기 공정 설비 간에 기판을 이동하는 이송로봇이 설치되는 프레임, 그리고 상기 로드 포트에 놓인 상기 용기 내부로부터 상기 프레임을 향하는 방향으로 흐르도록 상기 용기의 벽에 형성된 유입구를 통해 상기 용기의 내부로 질소가스 또는 비활성 가스를 공급하는 가스 공급 부재를 포함한다. 상술한 구조로 인해, 상기 용기와 상기 공정 설비 간에 기판이 이송될 때 상기 프레임 내의 공기가 상기 용기 내로 유입되는 것을 방지할 수 있다.
웨이퍼, 이송, 용기, 도어, 질소가스, 오염물질

公开(公告)号：KR1020070006213A

公开(公告)日：2007-01-11

申请号：KR1020050061340

申请日：2005-07-07

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 현종선 ,  강성우

IPC: H01L21/02

CPC classification number: H01L21/67393 ,  H01L21/67017 ,  H01L21/67772 ,  H01L21/67775

Abstract: An apparatus and a method for manufacturing a semiconductor device are provided to prevent an inflow of air within a frame into a container when a wafer is conveyed between the container and process equipment by using a load port, the frame, and a gas supplying member. A container(20) accommodating substrates is placed on a load port(100). A frame(200) is arranged between the load port and process equipment(10). A conveying robot(280) is installed on the frame to convey the substrate between the container placed on the load port and the process equipment. A gas supplying member supplies nitrogen gas or inert gas into the inside of the container through an inlet hole formed on a wall of the container so that the gas flows from the inside of the container placed on the load port toward the frame.

Abstract translation: 提供一种用于制造半导体器件的装置和方法，以通过使用负载端口，框架和气体供给构件在晶片在容器和处理设备之间输送时防止框架内的空气流入容器。 容纳基板的容器（20）放置在负载口（100）上。 框架（200）布置在负载端口和处理设备（10）之间。 输送机器人（280）安装在框架上，以将基板输送到放置在装载口上的容器和处理设备之间。 气体供给部件通过形成在容器的壁上的入口孔将氮气或惰性气体供给到容器的内部，使得气体从放置在负载端口上的容器的内部朝向框架流动。

公开(公告)号：KR100630719B1

公开(公告)日：2006-10-02

申请号：KR1020040097947

申请日：2004-11-26

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 한윤식 ,  오동호 ,  에드워드에이규일러 ,  김명업 ,  강성우 ,  팜토 ,  김영훈

IPC: G11B21/10

CPC classification number: G11B5/59633 ,  G11B33/1486

Abstract: 하드 디스크 드라이브의 디스크 상에 서보 정보를 기록하는 서보 기록 장치가 개시된다. 서보 기록 장치는 디스크가 하우징의 내부 챔버 안에 있는 동안 하드 디스크 드라이브의 디스크 상에 서보 정보를 기록할 수 있다. 회전 디스크는 내부 챔버 안에 유체의 흐름을 생성한다. 디스크는 서보 기록 프로세스동안 회전한다. 내부 챔버 안의 유체 밀도가 매체 제어부에 의해 제어되어서 매체 밀도는 일 기압에서의 공기 밀도 이하가 된다. 밀도를 낮추는 것은 유체 흐름에 의해 성성되는 진동 힘들의 크기를 감소시킨다. 크기를 감소시키는 것은 서보 기록 프로세스에서 에러들을 감소시킨다. 밀도는 내부 챔버 안을 진공화함으로써 감소될 수 있다. 밀도는 또한 헬륨과 같이 공기보다 낮은 밀도를 갖는 가스로 내부 챔버를 채움으로써 감소될 수 있다.

公开(公告)号：KR100618894B1

公开(公告)日：2006-09-01

申请号：KR1020050030951

申请日：2005-04-14

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 권해성 ,  이형재 ,  강성우 ,  한윤식

IPC: G11B33/14

CPC classification number: G11B23/505

Abstract: 파티클 검출 시스템을 가진 하드 디스크 드라이브와 파티클 검출 방법이 개시된다. 개시된 하드 디스크 드라이브는, 디스크의 표면을 센싱하여 적어도 하나의 출력 신호를 발생시키는 광픽업을 구비한다. 상기 광픽업은 디스크 표면으로부터 반사되는 광을 검출함에 의해 디스크의 표면을 센싱할 수 있다. 상기 광픽업은 출력 신호를 처리하여 디스크 표면의 고착된 파티클과 디스크 표면 상의 부유 파티클을 식별하는 파티클 식별 회로에 연결된다.

公开(公告)号：KR100537515B1

公开(公告)日：2005-12-19

申请号：KR1020030083355

申请日：2003-11-22

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 이행수 ,  강성우 ,  김영훈

IPC: G11B21/02

CPC classification number: G11B33/121 ,  G11B5/5526 ,  G11B25/043

Abstract: 동적 특성이 향상된 액츄에이터와 이를 구비한 디스크 드라이브가 개시된다. 개시된 액츄에이터는, 데이터의 기록 및 재생을 위한 읽기/쓰기 헤드를 디스크 상의 소정 위치로 이동시키기 위한 것으로, 디스크 드라이브의 베이스 부재에 설치된 액츄에이터 피봇과, 액츄에이터 피봇에 회전 가능하게 결합되며 그 선단부에는 헤드를 지지하는 서스펜션이 설치된 스윙 아암과, 스윙 아암의 후단부에 마련된 코일 지지부와, 코일 지지부에 결합되는 것으로 각각 일정한 방향을 가지는 네 개의 부분을 포함하는 VCM 코일과, VCM 코일과 대면하도록 배치되는 것으로 VCM 코일의 네 개의 부분 각각에 대응되는 네 개의 극을 가지는 마그네트를 구비한다. 이와 같은 본 발명에 의하면, 이와 같은 본 발명에 의하면, 액츄에이터의 평면상의 공진 모드를 가진시키는 트랙에 대해 직각 방향의 가진력을 최소화 또는 제로화할 수 있으므로, 헤드의 트랙 추종 동작시의 정밀도와 성능이 향상된다.

公开(公告)号：KR1020050112638A

公开(公告)日：2005-12-01

申请号：KR1020040037761

申请日：2004-05-27

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 강성우 ,  현종선

IPC: H01L21/205 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/20

CPC classification number: H01J37/3244 ,  C23C16/45563

Abstract: 웨이퍼에 공급되는 가스가 웨이퍼 표면 전체에 균일하게 공급되도록 하기 위한 가스 분사 수단 및 이를 이용한 반도체 소자의 제조 장치를 제공한다. 가스 분사 수단은 제 1 가스관이 가스 분사 수단의 중앙부에 위치하고 있는 제 1 가스 공급부 및 제 2 가스관이 복수개로 분지되어 방사상으로 퍼지면서 등간격으로 이격되고, 상기 분지된 가스관이 제 1 가스관을 둘러싸는 외측부에서 튜브 형상을 통해 서로 연결되어 있는 제 2 가스 공급부를 포함하며, 상기 제 1 가스 공급부의 하부에는 다수의 가스 분사구가 동일한 밀도로 형성되어 있고, 제 2 가스 공급부의 하부에는 분지된 가스관이 상기 제 2 가스 공급부의 상부에 존재하는지 유무에 따라 서로 다른 밀도로 가스 분사구가 형성되어 있다. 이 가스 분사 수단을 포함하는 반도체 소자 제조 장치 또한 제공된다.

公开(公告)号：KR100413769B1

公开(公告)日：2004-01-03

申请号：KR1020010056790

申请日：2001-09-14

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 강성우 ,  오동호 ,  황태연 ,  한윤식 ,  손영 ,  노광춘

IPC: G11B21/12

CPC classification number: G11B5/4833

Abstract: An actuator that can vary the gram load of a suspension arm of a hard disk drive. The actuator may be a shape memory alloy, piezoelectric transducer, or other means for deflecting and changing the gram load of a suspension arm of an actuator arm assembly. When the disk drive is not operating the gram load may be set to a high value that will prevent head slapping. The gram load of the suspension arm may be varied by the actuator to reduce the gram load when the disk drive is operating.

Abstract translation: 一种可以改变硬盘驱动器悬架臂克重的执行器。 致动器可以是形状记忆合金，压电换能器或用于偏转和改变致动器臂组件的悬臂的克载荷的其它装置。 当磁盘驱动器不运行时，克负载可能被设置为一个高值，这将防止磁头拍打。 当磁盘驱动器运行时，悬架臂的克负载可以通过致动器改变以减少克负载。

公开(公告)号：KR1020020022001A

公开(公告)日：2002-03-23

申请号：KR1020010056790

申请日：2001-09-14

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 강성우 ,  오동호 ,  황태연 ,  한윤식 ,  손영 ,  노광춘

IPC: G11B21/12

CPC classification number: G11B5/4833

Abstract: PURPOSE: A method for adjusting gram load for suspension arm, actuator arm assembly and hard disk drive is provided to prevent damage of head or disk by reducing head slapping. CONSTITUTION: An actuator arm assembly comprises an actuator arm(24); a suspension arm(22) paired to the actuator arm, and which has a gram load; a head(20) coupled to the suspension arm; and an actuator(42) for adjusting gram load of the suspension arm. A hard disk drive comprises a base plate; a spindle motor coupled to the base plate; a disk coupled to the spindle motor; an actuator arm mounted to the base plate; a voice coil motor coupled to the actuator arm; a suspension arm coupled to the actuator arm, and which has a gram load; a head coupled to the suspension arm and the disk; and an actuator for adjusting gram load of the suspension arm. A method for adjusting gram load of suspension arm is characterized in that an actuator is operated so as to adjust the gram load of the suspension arm coupled to the head and actuator.

Abstract translation: 目的：提供一种用于调整悬架臂，执行器臂组件和硬盘驱动器的克负载的方法，以通过减少头部打击来防止头或盘损坏。 构成：致动器臂组件包括致动器臂（24）; 与致动器臂配对并具有克负荷的悬架臂（22）; 耦合到所述悬架臂的头部（20） 以及用于调节悬架臂的克负荷的致动器（42）。 硬盘驱动器包括基板; 联接到所述基板的主轴电动机; 联接到主轴电动机的盘; 安装到基板的致动器臂; 耦合到所述致动器臂的音圈电动机; 悬挂臂，其联接到所述致动器臂，并具有克负载; 联接到所述悬架臂和所述盘的头部; 以及用于调节悬架臂的克负载的致动器。 用于调节悬架臂的克负荷的方法的特征在于，致动器被操作以便调节联接到头部和致动器的悬架臂的克负荷。