公开(公告)号：KR100780759B1

公开(公告)日：2007-11-30

申请号：KR1020050006443

申请日：2005-01-24

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 최호석 ,  바실리레니아신 ,  안형민 ,  하정수 ,  안토노브설지이 ,  송미정

IPC: G02F1/13

CPC classification number: H01J37/20 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/20207 ,  H01J2237/2817

Abstract: 박막 트랜지스터 어레이를 수평위치 및 경사위치 모두에서 검사할 수 있도록 한 박막 트랜지스터 어레이 검사장치가 개시된다. 본 발명의 박막 트랜지스터 어레이 검사장치는 진공챔버, 진공챔버의 하부에 배치되며 박막 트랜지스터 어레이가 안치되는 스테이지, 스테이지와 대향되게 진공챔버의 상부에 배치되어 박막 트랜지스터 어레이로 전자빔을 쏘아주는 전자총, 스테이지의 일측단부의 상방에 배치되어 전자빔에 의해 박막 트랜지스터 어레이에서 방출되는 2차 전자를 검출하는 전자 검출유닛, 스테이지의 타측단부의 하부에 배치되어 박막 트랜지스터 어레이를 수평위치와 일정각도의 경사위치 사이에서 위치변경 가능하게 하는 승강유닛을 구비한다.

公开(公告)号：KR100558943B1

公开(公告)日：2006-03-10

申请号：KR1020040002657

申请日：2004-01-14

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김재완 ,  전형조 ,  김용식 ,  심화섭 ,  안형민 ,  최호석 ,  정명호 ,  홍민 ,  김정학 ,  유영수 ,  김성채 ,  변승건 ,  유석인 ,  최규남 ,  이재영

IPC: G02F1/13

CPC classification number: G09G3/006 ,  G06T7/0004 ,  G09G3/20 ,  G09G3/36 ,  Y10S345/904

Abstract: 본 발명은 평판 디스플레이(FPD) 검사방법에 관한 것으로서, 평판 디스플레이에 영상신호를 인가하고 촬영 장치를 통해 상기 평판 디스플레이의 영상을 획득하는 단계와, 획득된 상기 평판 디스플레이의 영상으로부터 위치별 원본밝기정보를 산출하는 단계와, 상기 원본밝기정보를 기초로 곡선접합(curve fitting)에 따라 위치별 접합밝기정보를 산출하는 단계와, 상기 원본밝기정보와 상기 접합밝기정보의 밝기차를 위치별로 산출하는 단계와, 기설정된 허용범위 이상의 상기 원본밝기정보와 상기 접합밝기정보의 밝기차를 갖는 얼룩위치를 검출하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의해 평판 디스플레이의 영역형 얼룩을 신속하고 정밀하게 검사할 수 있다.
영역형 얼룩

公开(公告)号：KR100541449B1

公开(公告)日：2006-01-11

申请号：KR1020030050449

申请日：2003-07-23

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 최호석 ,  김용식 ,  전형조 ,  안형민

IPC: G02F1/13

CPC classification number: G01N21/8806 ,  G01N2021/9513 ,  G02F1/1309

Abstract: 본 발명은, 디스플레이용 패널을 검사하기 위한 패널검사장치에 관한 것으로서, 상기 패널을 지지하는 패널지지대와; 상기 패널지지대와 이격되어 상기 패널지지대에 지지된 상기 패널을 촬영하는 복수의 카메라와; 상기 복수의 카메라 중 적어도 하나를 회전가능하게 지지하는 카메라지지부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의해, 카메라의 수를 줄여 장착이 용이할 뿐만 아니라, 제작비를 절감할 수 있다.

公开(公告)号：KR100448188B1

公开(公告)日：2004-09-10

申请号：KR1020000003297

申请日：2000-01-24

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 안형민

IPC: H04N17/02

CPC classification number: G06T7/001 ,  G06T2207/30121 ,  H04N17/04

Abstract: An apparatus and a method for inspecting an image, synchronizing a pattern frame synchronizing signal and an image frame synchronizing signal to initiate grabbing an inspection pattern, where the pattern frame synchronizing signal and the image frame synchronizing signal have different frequencies. With this configuration, where the frequencies of the pattern frame synchronizing signal and the image frame synchronizing signal are not identical, since grabbing an image of the inspection pattern is initiated by synchronizing the image frame synchronizing signal with the pattern frame synchronizing signal, the noise inserted into the image of the inspection pattern becomes regular, thereby resulting in enhancing the reliability of the image inspection.

Abstract translation: 一种用于检查图像的装置和方法，使图案帧同步信号和图像帧同步信号同步以启动抓取检验图案，其中图案帧同步信号和图像帧同步信号具有不同的频率。 由此，在图案帧同步信号与图像帧同步信号的频率不同的情况下，通过使图像帧同步信号与图案帧同步信号同步来开始检查图案，因此插入的噪声 进入检查图案的图像变得规则，从而导致提高图像检查的可靠性。

公开(公告)号：KR1020040060019A

公开(公告)日：2004-07-06

申请号：KR1020020086531

申请日：2002-12-30

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 심화섭 ,  김준보 ,  안형민 ,  홍민 ,  김재완 ,  최호석 ,  전형조

IPC: G02F1/13

Abstract: PURPOSE: A checking apparatus for an LCD(Liquid Crystal Display) module is provided to perform a precise position control easily by rotating an image checking apparatus at the center of three shafts. CONSTITUTION: The LCD module(10) is mounted on an LCD module driving unit(20). The LCD module driving unit(20) moves toward directions of X and Y shafts, that is, performs translation movement. A CCD(Charge Coupled Device) camera is used as an image detecting device(30). By an image detecting driving unit(40), the image detecting device(30) performs a rotation movement as well as the translation movement. Preferably, the image detecting driving unit(40) performs the translation movement toward vertical direction along Z shaft direction of a reference coordinate system on the basis of the image detecting device(30).

Abstract translation: 目的：提供一种用于LCD（液晶显示器）模块的检查装置，通过旋转三轴中心的图像检查装置，容易地执行精确的位置控制。 构成：LCD模块（10）安装在LCD模块驱动单元（20）上。 LCD模块驱动单元（20）向X轴和Y轴方向移动，即进行平移运动。 使用CCD（电荷耦合器件）相机作为图像检测装置（30）。 通过图像检测驱动单元（40），图像检测装置（30）执行旋转运动以及平移运动。 优选地，图像检测驱动单元（40）基于图像检测装置（30）沿着参考坐标系的Z轴方向朝着垂直方向进行平移运动。

公开(公告)号：KR1020010076040A

公开(公告)日：2001-08-11

申请号：KR1020000003297

申请日：2000-01-24

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 안형민

IPC: H04N17/02

CPC classification number: G06T7/001 ,  G06T2207/30121 ,  H04N17/04

Abstract: PURPOSE: A device for inspecting image quality and a method of the same are provided to improve a reliability of an image quality inspection by standardizing a noise inserted into an image of an inspection pattern. CONSTITUTION: A pattern signal generating unit(13) generates an inspection pattern signal. A pattern frame synchronous signal generating unit(15) generates a pattern frame synchronous signal. A pattern generator(11) displays the inspection pattern signal on a video display unit according to the pattern frame synchronous signal. An imaging frame synchronous signal generating unit(26) generates an imaging frame synchronous signal. A camera(21) images the inspection pattern displayed on the video display unit according to the imaging frame synchronous signal. A phase selecting unit(24) selects an arbitrary phase point inter the pattern frame synchronous signal. A synchronous signal synchronizing unit(23) synchronizes a first signal of the imaging frame synchronous signal with the selected phase point.

Abstract translation: 目的：提供用于检查图像质量的装置及其方法，以通过标准化插入到检查图案的图像中的噪声来提高图像质量检查的可靠性。 构成：图案信号生成部（13）生成检查图形信号。 模式帧同步信号生成单元（15）生成模式帧同步信号。 图案生成器（11）根据图案帧同步信号在视频显示单元上显示检查图案信号。 成像帧同步信号生成部（26）生成摄像帧同步信号。 相机（21）根据成像帧同步信号对显示在视频显示单元上的检查图案进行成像。 相位选择单元（24）选择模式帧同步信号中的任意相位点。 同步信号同步单元（23）将成像帧同步信号的第一信号与所选择的相位点同步。

公开(公告)号：KR1020160040044A

公开(公告)日：2016-04-12

申请号：KR1020140133553

申请日：2014-10-02

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 안명기 ,  안진우 ,  조태영 ,  안형민 ,  이태형

IPC: G01N21/95 ,  G01N21/956 ,  G01N21/01 ,  G06T7/00

CPC classification number: G01N21/8806 ,  G01N21/95 ,  G01N2021/9513

Abstract: 본발명의기술적사상은패널의곡면부분의화질을명확하게검사하면서도, 검사장치의구성을단순화하고검사비용및 검사시간을감축할수 있는패널검사장치및 검사방법을제공한다. 그패널검사장치는패널이배치되는지지대; 상기패널의곡면영역에대응하여배치된거울; 상기패널로부터의이미지와상기거울을통해반사된이미지를받아집광하는렌즈; 및상기렌즈를통해전달된이미지를캡쳐하는이미지센서;를포함한다.

Abstract translation: 本发明提供一种面板检查装置和精确检查面板的弯曲部分的质量的方法; 简化了检查装置的结构; 并降低检查成本和时间。 面板检查装置包括：布置有面板的支撑件; 相应于面板的弯曲部分布置的反射镜; 从面板接收图像的透镜和通过反射镜反射的图像并集中图像; 以及拍摄通过透镜传送的图像的图像传感器。

公开(公告)号：KR100633091B1

公开(公告)日：2006-10-12

申请号：KR1020050008837

申请日：2005-01-31

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 최호석 ,  안토노브세르게이 ,  안형민 ,  하정수 ,  바실리레냐신 ,  송미정 ,  바실리레냐신

IPC: H01L21/66

CPC classification number: G01N23/00 ,  G01R31/307 ,  G09G3/006 ,  Y10S345/904

Abstract: 본 발명은 다수의 픽셀이 형성된 박막 트랜지스터 기판의 검사장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 검사장치는 상기 박막 트랜지스터 기판과 대향하게 이격 배치되며, 상기 픽셀에 대응하는 기준 패턴이 형성된 기준 기판과; 상기 박막 트랜지스터 기판과 상기 기준 기판 사이의 이격 공간에 전계가 형성되도록 상기 픽셀 및 상기 기준 패턴에 전원을 공급하는 전원공급부와; 상기 이격 공간의 일측으로부터 타측을 향해 전자빔을 방출하는 전자빔 방출 유닛과; 상기 전자빔 방출 유닛으로부터 방출되어 상기 이격 공간을 통과한 전자빔을 검출하기 위한 전자빔 검출 유닛과; 상기 전자빔 검출 유닛에 의해 검출된 전자빔의 검출 위치에 기초하여, 상기 박막 트랜지스터 기판의 상기 픽셀의 결함 여부를 판단하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의해, 박막 트랜지스터 기판의 결함 여부를 검사함에 있어서 저 진공 상태에서도 정확한 검사가 가능하고, 박막 트랜지스터 기판의 사이즈의 변화에 적응적으로 대처할 수 있고, 검사 시간을 단축할 수 있다.

公开(公告)号：KR1020060087946A

公开(公告)日：2006-08-03

申请号：KR1020050008837

申请日：2005-01-31

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 최호석 ,  안토노브세르게이 ,  안형민 ,  하정수 ,  바실리레냐신 ,  송미정 ,  바실리레냐신

IPC: H01L21/66

CPC classification number: G01N23/00 ,  G01R31/307 ,  G09G3/006 ,  Y10S345/904

Abstract: 본 발명은 다수의 픽셀이 형성된 박막 트랜지스터 기판의 검사장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 검사장치는 상기 박막 트랜지스터 기판과 대향하게 이격 배치되며, 상기 픽셀에 대응하는 기준 패턴이 형성된 기준 기판과; 상기 박막 트랜지스터 기판과 상기 기준 기판 사이의 이격 공간에 전계가 형성되도록 상기 픽셀 및 상기 기준 패턴에 전원을 공급하는 전원공급부와; 상기 이격 공간의 일측으로부터 타측을 향해 전자빔을 방출하는 전자빔 방출 유닛과; 상기 전자빔 방출 유닛으로부터 방출되어 상기 이격 공간을 통과한 전자빔을 검출하기 위한 전자빔 검출 유닛과; 상기 전자빔 검출 유닛에 의해 검출된 전자빔의 검출 위치에 기초하여, 상기 박막 트랜지스터 기판의 상기 픽셀의 결함 여부를 판단하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의해, 박막 트랜지스터 기판의 결함 여부를 검사함에 있어서 저 진공 상태에서도 정확한 검사가 가능하고, 박막 트랜지스터 기판의 사이즈의 변화에 적응적으로 대처할 수 있고, 검사 시간을 단축할 수 있다.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于形成有多个像素的薄膜晶体管基板的检查装置。 根据本发明的检查装置包括：参考衬底，与薄膜晶体管衬底相对设置并具有与像素对应的参考图案; 电源单元，用于向所述像素和所述参考图案供电，使得在所述薄膜晶体管基板和所述参考基板之间的空间中形成电场; 电子束发射单元，其从所述间隔空间的一侧向另一侧发射电子束; 电子束检测单元，用于检测从电子束发射单元发射并穿过间隔空间的电子束; 以及控制单元，用于基于由电子束检测单元检测到的电子束的检测位置来确定薄膜晶体管基板的像素是否有缺陷。 因此，在检查薄膜晶体管基板的缺陷时，即使在低真空状态下也能够准确地进行检查，从而适应薄膜晶体管基板的尺寸变化，缩短检查时间。

公开(公告)号：KR1020050014127A

公开(公告)日：2005-02-07

申请号：KR1020030052607

申请日：2003-07-30

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 유영수 ,  김용식 ,  편희수 ,  전형조 ,  안형민

IPC: G02F1/13

Abstract: PURPOSE: An apparatus for testing an LCD(Liquid Crystal Display) panel is provided to reduce a test time by making it possible to test the LCD panel from various angles at one time. CONSTITUTION: An LCD panel supporting part(40) installed on a body(60) supports an LCD panel(30). A probe unit(50) is contacted to the LCD panel and outputs an electrical test pattern image signal to the LCD panel. A plurality of image pickup parts(10a,10b,10c,10d, 10e) are away from the LCD panel by predetermined distance and pick up test pattern images displayed on the LCD panel at different angles. One of the image pickup parts picks up an image to a vertical direction of the LCD panel and others pick up images at various angles sloped from the vertical direction.

Abstract translation: 目的：提供一种用于测试LCD（液晶显示器）面板的设备，以便一次可以从各种角度测试LCD面板来缩短测试时间。 构成：安装在主体（60）上的LCD面板支撑部件（40）支撑LCD面板（30）。 探针单元（50）与LCD面板接触并将电测试图形图像信号输出到LCD面板。 多个图像拾取部件（10a，10b，10c，10d，10e）远离LCD面板预定距离，并以不同的角度拾取显示在LCD面板上的测试图案图像。 图像拾取部件中的一个拾取液晶显示面板的垂直方向的图像，并且其他图像拾取从垂直方向倾斜的各种角度的图像。