公开(公告)号：KR1020160066448A

公开(公告)日：2016-06-10

申请号：KR1020140170833

申请日：2014-12-02

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 고강웅 ,  류성윤 ,  손영훈 ,  송길우 ,  안태흥 ,  전형조 ,  한상경 ,  호리에마사히로 ,  고우석 ,  양유신 ,  이상길 ,  전병환

IPC: G01N21/956 ,  H01L21/66

CPC classification number: G01N21/8806 ,  G01J4/00 ,  G01J2004/001 ,  G01N21/21 ,  G01N21/211 ,  G01N21/9501 ,  G01N21/956 ,  G01N2021/213 ,  G01N2021/8848 ,  G01N21/95607

Abstract: 본발명의기술적사상에따른표면검사방법은, 제1 편광상태의입사광을단면적을가지는평행광선으로조정하여검사대상에조사하는단계; 및상기검사대상으로부터반사되는반사광의제2 편광상태를측정하는단계;를포함하고, 상기제1 편광상태와상기제2 편광상태의변화량을이용하여, 상기검사대상중 상기입사광이조사된전체면적에대한검사가이루질수 있다.

Abstract translation: 根据本发明的技术思想，一种检查表面的方法包括：通过将第一偏振态的入射光改变成具有横截面的平行光来照射测试对象的步骤; 以及测量从测试对象反射的光的第二偏振状态的步骤。 可以使用第一偏振态和第二偏振态之间的变化来检查在检查对象中发射入射光的整个区域的检查。 因此，能够提高检查速度。

公开(公告)号：KR1020050014127A

公开(公告)日：2005-02-07

申请号：KR1020030052607

申请日：2003-07-30

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 유영수 ,  김용식 ,  편희수 ,  전형조 ,  안형민

IPC: G02F1/13

Abstract: PURPOSE: An apparatus for testing an LCD(Liquid Crystal Display) panel is provided to reduce a test time by making it possible to test the LCD panel from various angles at one time. CONSTITUTION: An LCD panel supporting part(40) installed on a body(60) supports an LCD panel(30). A probe unit(50) is contacted to the LCD panel and outputs an electrical test pattern image signal to the LCD panel. A plurality of image pickup parts(10a,10b,10c,10d, 10e) are away from the LCD panel by predetermined distance and pick up test pattern images displayed on the LCD panel at different angles. One of the image pickup parts picks up an image to a vertical direction of the LCD panel and others pick up images at various angles sloped from the vertical direction.

Abstract translation: 目的：提供一种用于测试LCD（液晶显示器）面板的设备，以便一次可以从各种角度测试LCD面板来缩短测试时间。 构成：安装在主体（60）上的LCD面板支撑部件（40）支撑LCD面板（30）。 探针单元（50）与LCD面板接触并将电测试图形图像信号输出到LCD面板。 多个图像拾取部件（10a，10b，10c，10d，10e）远离LCD面板预定距离，并以不同的角度拾取显示在LCD面板上的测试图案图像。 图像拾取部件中的一个拾取液晶显示面板的垂直方向的图像，并且其他图像拾取从垂直方向倾斜的各种角度的图像。

公开(公告)号：KR100465804B1

公开(公告)日：2005-01-13

申请号：KR1020020085061

申请日：2002-12-27

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 최호석 ,  김준보 ,  전형조 ,  홍민 ,  김재완 ,  심화섭 ,  안형민

IPC: G02F1/13

Abstract: PURPOSE: A system and a method for correcting brightness distortion are provided to meet the size of the completed LCD(Liquid Crystal Display) panel for checking and correct exactly the brightness distortion. CONSTITUTION: A backlight(14) is a reference light emitting device which is used in order to correct the brightness distortion when checking badness of the LCD panel. A diffusion filter(12) is installed to an upper portion of the backlight(14) and controls the brightness of the backlight(14) uniformly. An image acquisition device(10) obtains image and brightness data of the backlight(14) and the completed checking LCD. A light intensity meter measures the brightness of a diffusion filter surface. An image processing unit(15) stores variation obtained from the brightness data measured by the light intensity meter and image and brightness data of the diffusion filter surface and thereafter applies it to the brightness data of the completed checking LCD, thereby correcting the brightness distortion.

Abstract translation: 目的：提供一种校正亮度失真的系统和方法，以满足完成的LCD（液晶显示器）面板的尺寸，用于检查和校正亮度失真。 构成：背光源（14）是参考发光装置，用于在检查LCD面板的不良时校正亮度失真。 漫射滤波器（12）安装到背光（14）的上部并且均匀地控制背光（14）的亮度。 图像获取装置（10）获得背光（14）和已完成检查LCD的图像和亮度数据。 光强度计测量扩散过滤器表面的亮度。 图像处理单元（15）存储从由光强度计测量的亮度数据和扩散滤波器表面的图像和亮度数据获得的变化，然后将其应用于完成的检查LCD的亮度数据，从而校正亮度失真。

公开(公告)号：KR100558943B1

公开(公告)日：2006-03-10

申请号：KR1020040002657

申请日：2004-01-14

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김재완 ,  전형조 ,  김용식 ,  심화섭 ,  안형민 ,  최호석 ,  정명호 ,  홍민 ,  김정학 ,  유영수 ,  김성채 ,  변승건 ,  유석인 ,  최규남 ,  이재영

IPC: G02F1/13

CPC classification number: G09G3/006 ,  G06T7/0004 ,  G09G3/20 ,  G09G3/36 ,  Y10S345/904

Abstract: 본 발명은 평판 디스플레이(FPD) 검사방법에 관한 것으로서, 평판 디스플레이에 영상신호를 인가하고 촬영 장치를 통해 상기 평판 디스플레이의 영상을 획득하는 단계와, 획득된 상기 평판 디스플레이의 영상으로부터 위치별 원본밝기정보를 산출하는 단계와, 상기 원본밝기정보를 기초로 곡선접합(curve fitting)에 따라 위치별 접합밝기정보를 산출하는 단계와, 상기 원본밝기정보와 상기 접합밝기정보의 밝기차를 위치별로 산출하는 단계와, 기설정된 허용범위 이상의 상기 원본밝기정보와 상기 접합밝기정보의 밝기차를 갖는 얼룩위치를 검출하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의해 평판 디스플레이의 영역형 얼룩을 신속하고 정밀하게 검사할 수 있다.
영역형 얼룩

公开(公告)号：KR100541449B1

公开(公告)日：2006-01-11

申请号：KR1020030050449

申请日：2003-07-23

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 최호석 ,  김용식 ,  전형조 ,  안형민

IPC: G02F1/13

CPC classification number: G01N21/8806 ,  G01N2021/9513 ,  G02F1/1309

Abstract: 본 발명은, 디스플레이용 패널을 검사하기 위한 패널검사장치에 관한 것으로서, 상기 패널을 지지하는 패널지지대와; 상기 패널지지대와 이격되어 상기 패널지지대에 지지된 상기 패널을 촬영하는 복수의 카메라와; 상기 복수의 카메라 중 적어도 하나를 회전가능하게 지지하는 카메라지지부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의해, 카메라의 수를 줄여 장착이 용이할 뿐만 아니라, 제작비를 절감할 수 있다.

公开(公告)号：KR1020040060019A

公开(公告)日：2004-07-06

申请号：KR1020020086531

申请日：2002-12-30

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 심화섭 ,  김준보 ,  안형민 ,  홍민 ,  김재완 ,  최호석 ,  전형조

IPC: G02F1/13

Abstract: PURPOSE: A checking apparatus for an LCD(Liquid Crystal Display) module is provided to perform a precise position control easily by rotating an image checking apparatus at the center of three shafts. CONSTITUTION: The LCD module(10) is mounted on an LCD module driving unit(20). The LCD module driving unit(20) moves toward directions of X and Y shafts, that is, performs translation movement. A CCD(Charge Coupled Device) camera is used as an image detecting device(30). By an image detecting driving unit(40), the image detecting device(30) performs a rotation movement as well as the translation movement. Preferably, the image detecting driving unit(40) performs the translation movement toward vertical direction along Z shaft direction of a reference coordinate system on the basis of the image detecting device(30).

Abstract translation: 目的：提供一种用于LCD（液晶显示器）模块的检查装置，通过旋转三轴中心的图像检查装置，容易地执行精确的位置控制。 构成：LCD模块（10）安装在LCD模块驱动单元（20）上。 LCD模块驱动单元（20）向X轴和Y轴方向移动，即进行平移运动。 使用CCD（电荷耦合器件）相机作为图像检测装置（30）。 通过图像检测驱动单元（40），图像检测装置（30）执行旋转运动以及平移运动。 优选地，图像检测驱动单元（40）基于图像检测装置（30）沿着参考坐标系的Z轴方向朝着垂直方向进行平移运动。

公开(公告)号：KR100399146B1

公开(公告)日：2003-09-26

申请号：KR1020000079776

申请日：2000-12-21

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 전형조

IPC: G05B23/02

Abstract: PURPOSE: A test apparatus and a method for measuring an offset of the same are provided to obtain an accurate offset value by measuring automatically an interval between a laser sensor and a vision camera. CONSTITUTION: A laser sensor(15) is used as distance measurer. A vision device includes a vision camera(21). The vision camera(21) is used for photographing a corresponding region of a subject for photography. A driving portion is used for shifting a test table(4) on which the subject is loaded. An offset generating portion is used for generating an offset value between the laser sensor(15) and the vision camera(21). A test pattern(5) is used for measuring the offset value. A control portion controls an operation of the driving portion. The vision device is formed with the vision camera(21), a lighting apparatus for lighting up the subject, a monitor for displaying the photographed subject, and a vision reading portion for grasping a photographing state of the subject.

Abstract translation: 目的：通过自动测量激光传感器和视觉照相机之间的间隔来提供用于测量其偏移的测试设备和方法以获得精确的偏移值。 构成：激光传感器（15）用作距离测量仪。 视觉装置包括视觉相机（21）。 视觉照相机（21）用于拍摄被摄体的相应区域进行拍摄。 驱动部分用于移动装载有对象的测试台（4）。 偏移生成部分用于生成激光传感器（15）和视觉相机（21）之间的偏移值。 测试图案（5）用于测量偏移值。 控制部分控制驱动部分的操作。 视觉装置由视觉照相机（21），用于照亮对象的照明设备，用于显示拍摄对象的监视器以及用于掌握对象的拍摄状态的视觉读取部分构成。

公开(公告)号：KR1020030004970A

公开(公告)日：2003-01-15

申请号：KR1020010058081

申请日：2001-09-19

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김형철 ,  정재현 ,  김용원 ,  김준보 ,  최원 ,  윤광준 ,  전형조 ,  정현권 ,  이경무 ,  최승환

IPC: G03B42/02

CPC classification number: G01N23/046 ,  G01N2223/419

Abstract: PURPOSE: A dislocation image reconstruction method for X-ray photographing unit is provided to achieve improved speed for obtaining dislocation image and accuracy of image processing. CONSTITUTION: A dislocation image reconstruction method, comprises a first step of obtaining a dislocation image(210) and a transmission image(220) for an object; a second step of obtaining a model information(240) by removing the dislocation image from the transmission image through the filtering of the dislocation image from the transmission image; a third step of obtaining an X-ray permeated image(230) for the object; and a fourth step of obtaining a dislocation image(250) by removing the model information from the X-ray permeated image through filtering.

Abstract translation: 目的：提供用于X射线摄影单元的位错图像重建方法，以获得用于获得位错图像和图像处理精度的改善的速度。 构成：位错图像重建方法，包括获得物体的位错图像（210）和透射图像（220）的第一步骤; 第二步骤，通过从发送图像中对位错图像进行滤波，从发送图像中去除位错图像来获得模型信息（240）; 获得用于所述物体的X射线透过图像（230）的第三步骤; 以及通过滤波从X射线透过图像中去除模型信息来获得位错图像（250）的第四步骤。

公开(公告)号：KR1020160121206A

公开(公告)日：2016-10-19

申请号：KR1020150050912

申请日：2015-04-10

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 고강웅 ,  전형조 ,  호리에마사히로 ,  송길우

IPC: H01L21/66

CPC classification number: G03F7/70633 ,  G01B11/14 ,  G01B11/27 ,  H01L22/12 ,  H01L23/544

Abstract: 오버레이에러의검출방법이제공된다. 오버레이에러의검출방법은, 제1 레이어에제1 오버레이키를형성하고, 상기제1 오버레이키는제1 피치를갖는복수의제1 타겟패턴을포함하고, 상기제1 레이어에대해수직으로배치된제2 레이어에제2 오버레이키를형성하고, 상기제2 오버레이키는상기제1 피치와다른제2 피치를갖는복수의제2 타겟패턴을포함하고, 상기제1 레이어및 상기제2 레이어에제1 파장을갖는입사광을조사하고, 상기제1 레이어및 상기제2 레이어로부터반사된반사광으로부터상기입사광에대한상기반사광의위상패턴을획득하고, 상기반사광의위상패턴을분석하여상기제1 레이어및 상기제2 레이어의오버레이에러를검출하는것을포함한다.

Abstract translation: 一种用于检测覆盖误差的方法包括：形成第一覆盖键，该第一覆盖键包括在衬底的第一层上具有第一间距的多个间隔开的第一目标图案; 形成第二覆盖键，其包括在所述第一层下方的所述基板的第二层上具有不同于所述第一间距的第二间距的多个间隔开的第二目标图案; 用具有第一波长的入射光照射第一层和第二层; 获得从第一层和第二层反射的光的相位图案; 计算反射光的相位图案的峰值点或谷点的位置; 以及使用相位图案的峰值点或谷点的位置来检测第一层和第二层的覆盖误差。

公开(公告)号：KR100745586B1

公开(公告)日：2007-08-02

申请号：KR1020010024671

申请日：2001-05-07

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 정재현 ,  김형철 ,  김용원 ,  최원 ,  윤광준 ,  전형조 ,  정현권

IPC: H01M10/42

CPC classification number: H01M10/0583 ,  G01N23/04 ,  H01M10/052

Abstract: 금속캔과 그 내부에 삽입된 젤리 롤 사이의 배치간격을 변경시키지 않는 방식으로 전지의 불량여부를 검사할 수 있고, 크기가 다른 모델의 전지로 교체할 때 신속하고 편리하게 조정할 수 있는 전지 검사장치가 제공된다. 그 장치는 검사전지 공급 컨베이어, 검사전지 공급 컨베이어로부터 공급된 검사전지들을 검사위치와 배출위치로 이송시키는 적어도 하나 이상의 이송 로봇, 이송된 검사전지들에 X-Ray를 조사시키는 X-Ray 발생기, 검사 완료된 전지들을 배출시키는 정품전지 배출 컨베이어, 정품전지 배출 컨베이어를 따라 이송되는 검사 완료된 전지들로부터 불량품전지를 제거시키는 불량품전지 배출 로봇, 조사된 X-Ray를 기초로 하여 검사전지의 불량여부를 판단하여 상기 불량품전지 배출 로봇를 제어하는 제어부, 불량품전지 배출 로봇에 의해 제거된 불량품전지를 배출시키는 불량품전지 배출 컨베이어를 구비한다. 이송 로봇은 복수의 검사전지와 복수의 검사가 완료된 전지를 동시에 집어서 다음 위치로 이송시키는 수직이송 로봇과, 수직이송 로봇에 의해 이송된 검사전지를 정확한 측정위치로 이송시키는 수평이송 로봇으로 구성된다.