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公开(公告)号：KR1020040024738A
公开(公告)日：2004-03-22
申请号：KR1020020056170
申请日：2002-09-16
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: B01D39/16
CPC classification number: B01D46/0005 , B01D46/52 , B01D2258/0216 , B01D2279/51
Abstract: PURPOSE: An air filter for clean room is provided which prevents generation of contaminants due to corrosion by using a material with high acid resistance as a material for components of the air filter and reduces process cost by reducing replacement cost of the air filter. CONSTITUTION: The air filter for clean room comprising a frame(200); mediums(220) laid up perpendicularly to the air flowing direction so that one surface of the medium is oppositely directed to air flowing direction(250) inside the frame; and separators(230) which support the mediums, and which are positioned between the mediums and formed of a polymer based material having acid resistance for forming an air passageway, wherein the separators are formed of any one material selected from the group consisting of polystyrene, polyethylene, polypropylene, polyvinyl chloride, ethylene vinylacetate, polyethylene terephthalate, polycarbonate, polybutylene terephthalate, polyacetal and polyamide, wherein an oxide film is formed on an outer part of the frame to prevent corrosion of the frame, and wherein the mediums are fixed to the inner wall of the frame by sealant(210) such as polyurethane.
Abstract translation: 目的：提供洁净室的空气过滤器，通过使用耐酸性高的材料作为空气过滤器部件的材料，防止腐蚀产生污染物，并通过降低空气过滤器的更换成本降低加工成本。 构成：用于洁净室的空气过滤器，包括框架（200）; 介质（220）垂直于空气流动方向放置，使得介质的一个表面相对地指向框架内的空气流动方向（250）; 和分离器（230），其支撑介质，并且位于介质之间并由具有耐酸性的聚合物基材料形成以形成空气通道，其中所述隔板由选自以下的任何一种材料形成：聚苯乙烯， 聚乙烯，聚丙烯，聚氯乙烯，乙烯乙酸乙烯酯，聚对苯二甲酸乙二醇酯，聚碳酸酯，聚对苯二甲酸丁二醇酯，聚缩醛和聚酰胺，其中在框架的外部形成氧化膜以防止框架的腐蚀，并且其中介质固定在 框架的内壁由诸如聚氨酯的密封剂（210）组成。
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公开(公告)号：KR100706795B1
公开(公告)日：2007-04-12
申请号：KR1020050075263
申请日：2005-08-17
Applicant: 삼성전자주식회사
Abstract: 본 발명은 공기로부터 오염물질을 제거하는 오염 제어 시스템을 제공한다.
오염 제어 시스템은 기액 접촉에 의해 공기 중의 분자상 오염물질들을 포집하고 이를 아래 방향으로 배출하는 제거기와 제거기가 적셔진 상태로 유지되도록 제거기로 탈이온수를 공급하는 액체 공급기를 가진다. 제거기는 그 측방향으로 공기가 유입되도록 배치되고, 액체 공급기는 제거기의 상부에서 탈이온수를 제거기로 공급하도록 배치된다.
오염 제어 시스템, 분자상 오염 물질, 기액 접촉, 제거기, 액체 공급기Abstract translation: 本发明提供了一种用于从空气中去除污染物的污染控制系统。
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公开(公告)号：KR100605106B1
公开(公告)日：2006-07-31
申请号：KR1020040051177
申请日：2004-07-01
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/02
CPC classification number: F24F13/068 , F24F3/161
Abstract: 본 발명은 본 발명은 청정실 환경에서 사용되는 바닥과 같은 그레이팅(Grating) 패널과, 그 패널을 사용하는 청정실 시스템에 관한 것이다. 본 발명의 그레이팅(Grating) 패널은 복수개의 천공구멍들을 갖는 베이스판을 포함하되, 천공구멍은 공기가 유입되는 유입부와, 공기가 유출되는 유출부를 갖으며, 상기 유입부는 상기 유출부에 가까울수록 그 단면적이 감소되며, 상기 유출부는 상기 유입부로부터 멀어질수록 그 단면적이 증가된다.
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公开(公告)号：KR1020040035418A
公开(公告)日：2004-04-29
申请号：KR1020020064555
申请日：2002-10-22
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: A42B1/00
Abstract: PURPOSE: A dustproof cap for a sanitary chamber is provided to minimize particles discharged from a body of a worker and to improve a wearing condition. CONSTITUTION: A dustproof cap for a sanitary chamber comprises a hood unit(102) being formed to expose a part of a face of a worker and to cover the whole head of the worker and including an edge connected to the face and made of fiber materials with elasticity to be worn to fit the worker's face; and a wing unit(110) being connected to the lower end of the hood unit(102) and having an adhesive tape on the end of the wing to control the size around a neck when wearing. The hood unit(102) includes a first portion(106) to cover the upper part and the rear middle part of the head on the basis of the face of the worker, and a second portion(107) continuously sewed with the edge of the first portion(106) to cover both sides of the head and the forehead and jaw of the face of the worker.
Abstract translation: 目的：提供用于卫生室的防尘盖，以使从工作人员身体排出的颗粒最小化并改善磨损状况。 构成：用于卫生室的防尘盖包括罩单元（102），其形成为暴露工作人员的一部分面部并覆盖工作人员的整个头部，并且包括连接到面部并由纤维材料制成的边缘 具有弹性以适应工人的脸部; 以及翼单元（110），其连接到所述罩单元（102）的下端，并且在所述翼的端部上具有粘合带，以在穿着时控制颈部周围的尺寸。 罩单元（102）包括：第一部分（106），用于基于工人的脸部覆盖头部的上部和后部中部;以及第二部分（107），其连续缝合 第一部分（106），以覆盖头部的两侧以及工作者面部的前额和下颌。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020040018865A
公开(公告)日：2004-03-04
申请号：KR1020020050946
申请日：2002-08-27
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: A41D13/00
Abstract: PURPOSE: A clean room dust-free garment is provided to minimize the inflow of ion components or metal components generated from a worker into a clean room. CONSTITUTION: The clean room dust-free garment(10) comprises: an upper garment(12) for the upper body of a worker; a zipper(22) attached to the upper garment, coated with polyurethane material and for use in putting on or taking off the upper garment; and a lower garment(14) for the lower body of the worker.
Abstract translation: 目的：提供洁净室无尘衣服，以尽量减少从工作人员进入洁净室的离子组件或金属部件的流入。 规定：洁净室无尘服装（10）包括：用于上层工人的上衣（12）; 附着在上衣上的拉链（22），涂覆有聚氨酯材料并用于穿上或脱下上衣; 和用于工人下半身的下衣（14）。
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公开(公告)号：KR200260705Y1
公开(公告)日：2002-01-17
申请号：KR2019990008420
申请日：1999-05-17
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: A43B7/36
Abstract: 본 고안은 청정실용 방진화를 개시한다. 이에 의하면, 가피와 몸판을 도전성 방진원단으로 2중 봉제처리하고 가피의 내부면에 카본사가 벌집모양의 형태를 가지면서 혼합된 방진원단을 배치하고, 깔창에 카본사가 벌집모양의 형태를 갖는 방진원단을 덮고, 밑창 내에 고 저항체와 도전성 유연 판재를 내재한다.
따라서, 몸판에서의 정전기가 2중 봉제처리된 도전성 방진원단에 의해 신속하게 제거되고, 가피와 몸판의 이음매에서 파티클의 발진이나 통과가 어려워 인체에서 발생되는 파티클의 효과적인 차단이 가능하고, 가피와 몸판의 결합이 견고하여 제품수명의 연장에 따른 원가절감이 가능하고, 깔창과 밑창의 원활한 정전기 제거가 가능하고, 방전된 정전기의 역류가 방지된다.-
公开(公告)号：KR1019970017905A
公开(公告)日：1997-04-30
申请号：KR1019950029841
申请日：1995-09-13
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/00
Abstract: 반도체에 관련된 여러 가지의 파티클을 평가할 수 있는 파티클 평가용 시험챔버와 이를 이용한 파티클 평가시스템이 포함되어 있다. 또한 파티클 평가 기준시험(Reference Test)을 할 수 있는 파티클 평가 시스템과 파티클의 구조 및 성분 분석을 할 수 있는 파티클 평가 시스템이 포함되어 있다. 본 발명의 파티클 평가 시스템은, 시험챔버 내부 또는 외부에서 샘플링된 파티클이 혼합된 공기를 시험챔버의 이소키네틱 샘플링프루브에 의해 일정하게 샘플링하여, 시험챔버와 연결된 파티클카운터, 멀티플렉서 프로세서, 및 컴퓨터에서 파티클을 카운팅하고 모니터링할 수 있다. 따라서, 크린룸 의복, 제조공정 라인에서 사용되는 여러가지 지원장비, 기타 청정용품, 작업자의 작업행동등에서 발생하는 파티클오염의 정도를 평가할 수 있고, 신규 청정용품의 자격인증에도 적용할 수 있다. 또한 파티클 생성 시스템을 파티클 평가 시스템에 연결하여, 상기 파티클 생성 시스템으로부터 샘플링된 파티클을 공급함으로써 파티클 평가기준시험을 행할 수 있고, 임펙터를 파티클 평가 시스템에 연결하여, 샘플링된 공기에 포함되어 있는 파티클을 상기 임펙터에서 크기별로 샘플링한 후 분석장비를 사용하여 파티클의 구조 및 성분을 분석할 수 있다.
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公开(公告)号：KR1020090011216A
公开(公告)日：2009-02-02
申请号：KR1020070074586
申请日：2007-07-25
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/02
CPC classification number: B01D46/0058 , B01D46/002 , B01D46/24 , B01D46/4272 , Y10S55/31
Abstract: An apparatus for filtering air including air interrupter and a cleaning system of semiconductor manufacturing facility including the same are provided to block many particles and to increase productivity by installing a second air filtering device and a second blower. A main frame(31) of a second air filtering device(30) has an opening connected to an air supplying line. A buffer frame(33) is inserted in the main frame. A plurality of slots(35) includes a plurality of air entrances(37). A plurality of filters(39) is positioned on a plurality of slots, and filters pollution material contained in an air. An air interrupter(43) controls the air coming through the air entrances in exchanging a plurality of filters, and includes a slide panel.
Abstract translation: 提供一种用于过滤空气的装置，包括空气断路器和包括其的半导体制造设备的清洁系统，以阻止许多颗粒并通过安装第二空气过滤装置和第二鼓风机来提高生产率。 第二空气过滤装置（30）的主框架（31）具有连接到供气管线的开口。 缓冲框架（33）插入主框架中。 多个狭槽（35）包括多个空气入口（37）。 多个过滤器（39）定位在多个槽上，并且对包含在空气中的污染物质进行过滤。 空气断路器（43）控制通过空气入口的空气交换多个过滤器，并且包括滑动面板。
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公开(公告)号：KR100155881B1
公开(公告)日：1998-12-01
申请号：KR1019950029841
申请日：1995-09-13
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/00
Abstract: 반도체에 관련된 여러 가지의 파타클을 평가할 수 있는 파티클 평가용 시험챔버와 이를 이용한 파티클 평가 시스템이 포함되어 있다. 또한 파티클 평가 기준시험(Reference Test)을 할 수 있는 파티클 평가 시스템과 파티클의 구조 및 성분 분석을 할 수 있는 파티클 평가 시스템이 포함되어 있다. 본 발명의 파티클 평가 시스템은, 시험챔버 내부 또는 외부에서 샘플링된 파티클이 환합된 공기를 시험챔버의 이소키네틱 샘플링프루브에 의해 일정하게 샘플링하여, 시험챔버와 연결된 파티클카운터, 멀티플렉서 프로세서, 및 컴퓨터에서 파티클을 카운팅하고 모니터링할 수 있다. 따라서, 크린룸 의복, 제조공정 라인에서 사용하는 여러 가지 지원장비, 기타 청정용품, 작업자의 작업행동 등에서 발생하는 파티클오염의 정도를 평가할 수 있고, 신규 청정용품의 자격인증에도 적용할 수 있다. 또한 파티클 생성 시스템을 파티클 평가 시스템에 연결하여, 상기 파티클 생성 시스템으로부터 샘플링된 파티클을 공급함으로써 파니클 평가기준시험을 행할 수 있고, 임펙터를 파티클 평가 시스템에 연결하여, 샘플링된 공기에 포함되어 있는 파티클을 상기 임펙터에서 크기별로 샘플링한 후 분석장비를 사용하여 파티클의 구조 및 성분을 분석할 수 있다.
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