公开(公告)号：KR101168283B1

公开(公告)日：2012-07-30

申请号：KR1020050072965

申请日：2005-08-09

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김기성 ,  김택 ,  전헌수

IPC: H01S5/183

CPC classification number: B82Y20/00 ,  H01S5/041 ,  H01S5/14 ,  H01S5/18383 ,  H01S5/2009 ,  H01S5/3406 ,  H01S5/34313 ,  H01S5/34346 ,  H01S5/34353

Abstract: 양자우물층에서의 이득효율이 증대되어 레이징 효율이 향상된 수직외부공진형 표면발광 레이저(VECSEL) 소자가 개시된다. 본 발명에 따른 VECSEL 소자는, 기판 위에 형성된 하부 DBR미러, 상기 하부 DBR미러 위에 형성된 RPG층, 상기 RPG층 위에 형성된 캡핑층, 상기 캡핑층의 표면에 펌핑광을 조사하는 광학펌프 및 상기 하부 DBR미러에 대향하여 외부에 설치되는 외부 공진미러를 구비하고, 상기 RPG층은, 정상파의 마디(node) 위치에 주기적으로 마련되는 것으로 상기 펌핑광의 밴드갭 보다 더 큰 에너지 밴드갭 폭을 가지는 물질로 형성된 제1 배리어층과 상기 제1 배리어층간에 개재되는 것으로 InGaAs 물질로 형성되는 복수의 양자우물층과 상기 각각의 양자우물층의 상하부에 마련되는 제2 배리어층을 포함하는 이득층을 구비한다.

公开(公告)号：KR1020060089103A

公开(公告)日：2006-08-08

申请号：KR1020050010185

申请日：2005-02-03

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 마장석 ,  전헌수 ,  옥경식 ,  왕푸 ,  박준식 ,  최수형

IPC: G01N21/62

Abstract: 본 발명은 구형 공진기를 이용하여 DNA 또는 단백질과 같은 생체시료를 분석하기 위한 바이오칩 플랫폼(biochip flatform) 및 이를 구비한 생체시료 검출 소자를 개시한다. 본 발명의 한 유형에 따른 바이오칩 플랫폼은, 기판; 상기 기판 위에 형성되며, 광을 전달하기 위한 광도파로; 및 상기 광도파로의 상면에 부착된 것으로, 상기 광도파로로부터 광을 전달받아 공진을 일으키는 적어도 하나의 마이크로 구(micro sphere);를 포함하는 것을 특징으로 한다.

公开(公告)号：KR1020060083112A

公开(公告)日：2006-07-20

申请号：KR1020050103789

申请日：2005-11-01

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 마장석 ,  전헌수 ,  최수형 ,  이인호 ,  왕푸

IPC: G01N33/543

Abstract: 본 발명은 시료를 생화학적으로 분석하기 위한 바이오칩 플랫폼에 관한 것으로, 보다 상세하게는, DNA 또는 단백질과 같은 시료를 생화학적으로 분석하기 위한 유전성 입자층을 구비한 칩 플랫폼 및 이를 구비한 광 분석 장치에 관한 것이다.
본 발명에 따른 바이오칩 플랫폼은 기판 상에 구형의 유전성 입자를 사용하여 규칙적인 입자층을 형성함으로써, 그 규칙성에 의해 신호의 파장 분리 능력이 우수하고, 그 표면적이 넓어져 목적하는 시료에 대한 형광 신호의 증폭이 대폭 향상됨을 알 수 있다. 본 발명에 따른 바이오 플랫폼은 그 제조공정이 용이하여 경제성이 높고, 그 효율이 뛰어나 생화학적 시료를 분석하는 광 분석 장치에 특히 유용하다.

公开(公告)号：KR1020000057779A

公开(公告)日：2000-09-25

申请号：KR1020000002604

申请日：2000-01-20

Applicant: 삼성전자주식회사 ,  전헌수

Inventor： 전헌수

IPC: H01L31/00 ,  H01L21/30

Abstract: PURPOSE: A method for manufacturing a micro lens is to provide a high-quality micro lens by a simple method using a diffusion-limited etching. CONSTITUTION: A method for manufacturing a micro lens comprises the steps of: forming an etching mask for opening a portion in which the micro lens will be formed on a substrate; preparing a chemical etching solution causing a diffusion-limited etching regarding the substrate; and soaking the substrate having the etching mask in the chemical etching solution so that the exposed part in the opening becomes a dented shape by etching.

Abstract translation: 目的：制造微透镜的方法是通过使用扩散限制蚀刻的简单方法来提供高质量的微透镜。 构成：一种制造微透镜的方法包括以下步骤：形成蚀刻掩模，用于打开其上将形成微透镜的部分在基板上; 制备对基板进行扩散限制蚀刻的化学蚀刻溶液; 并将具有蚀刻掩模的基板浸渍在化学蚀刻溶液中，使得开口中的暴露部分通过蚀刻成为凹陷形状。

公开(公告)号：KR100363165B1

公开(公告)日：2002-11-30

申请号：KR1020000005485

申请日：2000-02-03

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 신현국 ,  이정관 ,  전헌수

IPC: H01S5/20

Abstract: 마이크로 렌즈 일체형 표면광 레이저가 개시되어 있다. 이 개시된 마이크로 렌즈 일체형 표면광 레이저는, 기판과, 이 기판 상에 순차로 적층 형성된 하부반사기층, 활성층 및 상부반사기층과, 상부반사기층 상에 레이저광을 투과시키는 물질로 적층되고 레이저광이 출사되는 윈도우 영역에 확산제어식각에 의해 형성된 마이크로 렌즈 곡면을 구비하는 렌즈층과, 렌즈층 상의 윈도우 영역을 제외한 적어도 일부 영역에 형성된 상부전극과, 기판 하면에 형성된 하부전극;을 포함하여, 윈도우 영역을 통하여 레이저광을 집속시켜 출사시키도록 된 구성을 가진다.
이러한 마이크로 렌즈 일체형 표면광 레이저는 채용하면 종래에서와 같은 표면광 레이저에서 출사된 레이저광과 집속렌즈 사이의 광축 정렬 과정을 생략시킬 수 있으므로, 광축 정렬 구조가 간단하다.

公开(公告)号：KR1020070018340A

公开(公告)日：2007-02-14

申请号：KR1020050072965

申请日：2005-08-09

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김기성 ,  김택 ,  전헌수

IPC: H01S5/183

CPC classification number: B82Y20/00 ,  H01S5/041 ,  H01S5/14 ,  H01S5/18383 ,  H01S5/2009 ,  H01S5/3406 ,  H01S5/34313 ,  H01S5/34346 ,  H01S5/34353

Abstract: 양자우물층에서의 이득효율이 증대되어 레이징 효율이 향상된 수직외부공진형 표면발광 레이저(VECSEL) 소자가 개시된다. 본 발명에 따른 VECSEL 소자는, 기판 위에 형성된 하부 DBR미러, 상기 하부 DBR미러 위에 형성된 RPG층, 상기 RPG층 위에 형성된 캡핑층, 상기 캡핑층의 표면에 펌핑광을 조사하는 광학펌프 및 상기 하부 DBR미러에 대향하여 외부에 설치되는 외부 공진미러를 구비하고, 상기 RPG층은, 정상파의 마디(node) 위치에 주기적으로 마련되는 것으로 상기 펌핑광의 밴드갭 보다 더 큰 에너지 밴드갭 폭을 가지는 물질로 형성된 제1 배리어층과 상기 제1 배리어층간에 개재되는 것으로 InGaAs 물질로 형성되는 복수의 양자우물층과 상기 각각의 양자우물층의 상하부에 마련되는 제2 배리어층을 포함하는 이득층을 구비한다.

公开(公告)号：KR1020010077595A

公开(公告)日：2001-08-20

申请号：KR1020000005485

申请日：2000-02-03

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 신현국 ,  이정관 ,  전헌수

IPC: H01S5/20

Abstract: PURPOSE: A surface emitting laser including a micro lens and a method for manufacturing the same are provided to reduce an optical axis alignment process by forming a micro lens and a surface emitting laser with one body at direction of emitting a laser beam. CONSTITUTION: A lower reflective layer(110) of high reflexibility is laminated on a substrate(100). An active layer(120) is formed on the lower reflective layer(110) in order to generate light by combining electrons with holes. An upper reflective layer(140) of low reflexibility is laminated on the active layer(120). A lens layer(150) is formed on the upper reflective layer(140). A curved surface of a micro lens is formed on a window region(180) of the lens layer(150) for emitting laser beam. An upper electrode(160) is formed on the remaining region except for the window region(180). A lower electrode(170) is formed on a bottom face of the substrate(100).

Abstract translation: 目的：提供包括微透镜的表面发射激光器及其制造方法，以通过在发射激光束的方向上形成具有一个主体的微透镜和表面发射激光器来减少光轴对准过程。 构成：将高反射性的下反射层（110）层叠在基板（100）上。 在下反射层（110）上形成有源层（120），以便通过将电子与空穴结合来产生光。 在活性层（120）上层叠具有低反射性的上反射层（140）。 在上反射层（140）上形成透镜层（150）。 微透镜的曲面形成在用于发射激光束的透镜层（150）的窗口区域（180）上。 在除了窗口区域（180）之外的剩余区域上形成有上部电极（160）。 下部电极（170）形成在基板（100）的底面上。