패턴 형성 장치
    11.
    发明授权
    패턴 형성 장치 有权
    用于形成图案的装置

    公开(公告)号:KR101390532B1

    公开(公告)日:2014-04-30

    申请号:KR1020120092448

    申请日:2012-08-23

    Abstract: 패턴 형성 장치가 개시된다. 패턴 형성 장치는 용액방사부, 스테이지부 및 가이드 전극부를 구비한다. 용액방사부는 방사용액을 수용하는 시린지, 시린지에 연결되고 방사용액을 방사하는 노즐 및 노즐에 제1 전압을 인가하는 제1 전압발생장치를 구비한다. 스테이지부는 노즐과 소정 간격 이격되게 배치된 스테이지 및 스테이지에 제2 전압을 인가하는 제2 전압발생장치를 구비한다. 가이드 전극부는 노즐을 사이에 두고 서로 이격되게 배치되고 서로 전기적으로 분리된 제1 가이드 전극과 제2 가이드 전극, 제3 전압을 생성하는 제3 전압발생장치 및 제3 전압을 제1 가이드 전극과 상기 제2 가이드 전극에 교대로 인가하는 스위칭 장치를 구비한다. 이러한 패턴 형성 장치는 전기방사된 나노섬유들을 기판에 평행하게 배열시킬 수 있다.

    임피던스를 이용한 인시투 박막 두께 측정 장치, 박막 두께 측정 방법 및 그 기록 매체
    12.
    发明授权
    임피던스를 이용한 인시투 박막 두께 측정 장치, 박막 두께 측정 방법 및 그 기록 매체 有权
    使用阻抗的薄膜厚度的现场测量装置,其同一方法及其记录介质的现场测量方法

    公开(公告)号:KR101206744B1

    公开(公告)日:2012-11-30

    申请号:KR1020110018096

    申请日:2011-02-28

    Inventor: 채희엽 김대경

    Abstract: 본 발명의 일 실시예에 의하면, 플라즈마 상태를 이용한 박막 증착에 있어서 인시투 상황 하에서 실시간으로 박막 증착 두께를 측정할 수 있으므로 별도의 증착 두께 확인 공정을 제거할 수 있는 효과가 있다. 이를 위해 특히, 본 발명의 일 실시예는 챔버; 챔버 내부에 형성되며 시스층(sheath)을 포함하는 플라즈마 가스; 챔버 내부에 설치되며 상부로 박막이 증착되는 기판; 챔버 외부에서 챔버에 소스 전력을 인가하는 소스 RF 전원; 챔버 외부에서 기판에 바이어스 전력을 인가하는 바이어스 RF 전원; 기판과 바이어스 RF 전원 사이에서의 전류 및 전압에 기반하여 실측 임피던스를 실시간으로 측정하는 임피던스 측정부; 및 시스층에 대응하는 제1 커패시턴스, 박막에 대응하는 제2 커패시턴스 및 측정된 실측 임피던스에 기반하여 증착 시간에 따른 박막의 증착 두께를 연산하는 두께 연산부;를 포함하는 임피던스를 이용한 인시투 박막 두께 측정 장치를 포함한다.

    대면적 유기조명을 위한 유기발광 장치 및 그 제조 방법
    13.
    发明授权
    대면적 유기조명을 위한 유기발광 장치 및 그 제조 방법 有权
    用于大面积有机照射的有机发光装置及其制造方法

    公开(公告)号:KR101032026B1

    公开(公告)日:2011-05-02

    申请号:KR1020090122606

    申请日:2009-12-10

    Inventor: 조성민 채희엽

    Abstract: PURPOSE: An organic light emitting device for a large organic light and a manufacturing method thereof are provided to independently connect a transparent electrode and a metal electrode to a power source, thereby eliminating problems due to high resistance of the transparent electrode. CONSTITUTION: A first electrode layer(200) is formed on a substrate(100). The first electrode layer is formed of a transparent material with high conductivity and work function. An organic light emitting layer(300) is formed on the first electrode layer. A second electrode layer(400) is formed on the organic light emitting layer. The first and second electrode layers include a power connecting unit extended to an edge of the organic light emitting layer.

    Abstract translation: 目的:提供一种用于大型有机光的有机发光器件及其制造方法,以将透明电极和金属电极独立地连接到电源,从而消除由于透明电极的高电阻引起的问题。 构成:在基板(100)上形成第一电极层(200)。 第一电极层由具有高导电性和功函数的透明材料形成。 在第一电极层上形成有机发光层(300)。 在有机发光层上形成第二电极层(400)。 第一和第二电极层包括延伸到有机发光层的边缘的电力连接单元。

    초극유연성 봉지 박막
    16.
    发明公开
    초극유연성 봉지 박막 有权
    超声波柔性封装薄膜

    公开(公告)号:KR1020140130016A

    公开(公告)日:2014-11-07

    申请号:KR1020140015730

    申请日:2014-02-11

    Abstract: 본원은, 초극유연성 다층 봉지 박막, 상기 다층 봉지 박막의 제조 방법, 및 상기 다층 봉지 박막의 제조 장치에 관한 것이다.

    Abstract translation: 本发明涉及一种超柔性封装薄膜。 更具体地说,本发明涉及超柔性封装薄膜以及制造超柔性封装薄膜的方法。 根据本发明的实施方案的超柔性封装薄膜包括在基板上形成的金属氧化物的无机薄膜和包含在无机薄膜上形成的聚合物的有机薄膜。 根据本发明实施例的多层封装薄膜包括由无机薄膜和有机薄膜组成的层。 根据本发明的实施方案,无机薄膜的单层具有0.1nm至20nm的厚度。

    패턴 형성 장치
    17.
    发明授权
    패턴 형성 장치 有权
    用于形成图案的装置

    公开(公告)号:KR101434092B1

    公开(公告)日:2014-08-26

    申请号:KR1020130024781

    申请日:2013-03-08

    CPC classification number: D01D5/0092 B82Y40/00 D01D5/0076

    Abstract: The present invention relates to an apparatus for forming a pattern using electrospraying and electrospinning, and more specifically, to an apparatus for forming a pattern, capable of forming droplets and nano fibers charged in a desired direction in a desired pattern by controlling an electric field in an electrospraying and spinning system to overcome the instability of an electrospraying and spinning method.

    Abstract translation: 本发明涉及一种使用电喷雾和静电纺丝形成图案的装置,更具体地说,涉及一种用于形成图案的装置,其能够通过控制电场中的电场来形成以期望的图案以期望的方向填充的液滴和纳米纤维 电喷雾和纺丝系统,以克服电喷雾和纺丝方法的不稳定性。

    유기전자소자용 폴리머/무기 다층 박막 봉지
    18.
    发明公开
    유기전자소자용 폴리머/무기 다층 박막 봉지 有权
    有机电子器件的聚合物/无机多层薄膜封装

    公开(公告)号:KR1020140092268A

    公开(公告)日:2014-07-23

    申请号:KR1020140017311

    申请日:2014-02-14

    Abstract: 본발명은유기전자소자용다층박막봉지에관한것으로, 더욱상세하게는 Si-O 결합을갖는십자형태의유·무기전구체물질을사용하여제조되는플라즈마중합체박막, 및무기박막을포함하는, 유연성이확보되고봉지특성이향상된유기전자소자용다층박막봉지에관한것이다.

    Abstract translation: 本发明涉及一种用于有机电子器件的多层薄膜封装,更具体地涉及一种具有柔性和改进的封装性能的有机电子器件的多层薄膜封装,其包括无机薄膜和等离子体聚合物薄膜 通过使用具有Si-O键的交叉形状的有机和无机前体材料制造。

    소자용 봉지구조체 및 이의 제조방법
    19.
    发明授权
    소자용 봉지구조체 및 이의 제조방법 有权
    装置的封装结构及其制造方法

    公开(公告)号:KR101351109B1

    公开(公告)日:2014-01-15

    申请号:KR1020120016565

    申请日:2012-02-17

    Inventor: 채희엽 김대경

    Abstract: 본 발명은 소자 봉지용 봉지구조체 및 이의 제조방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 반응물질로 실란 화합물과 질소 함유 가스를 저온에서 증착시켜 형성된 유동성 산화물 박막으로 유기층의 핀홀을 채움으로써 기존 ALD 증착법 보다 증착속도 향상으로 인한 생산속도가 개선되고, 낮은 온도에서 증착 공정이 가능하여 소자의 손상 정도를 현저히 줄일 수 있다. 특히, 벤딩 시 막 깨짐 현상이 개선되어 플렉시블 디스플레이 적용에 유리한 발광 소자를 개발할 수 있다.

    정전 분무 인쇄 장치
    20.
    发明授权
    정전 분무 인쇄 장치 有权
    静电喷涂设备

    公开(公告)号:KR101305768B1

    公开(公告)日:2013-09-06

    申请号:KR1020110143182

    申请日:2011-12-27

    Abstract: 정전 분무 인쇄 장치가 개시된다. 정전 분무 인쇄 장치는 노즐, 제1 전압공급부 및 2개의 가이드 전극을 구비한다. 노즐은 유기물질을 포함하는 용액을 분사한다. 제1 전압공급부는 노즐에 양의 전압을 인가하여 노즐로부터 분사되는 용액을 미세 액적들로 쪼깬다. 가이드 전극들은 노즐의 단부를 사이에 두고 서로 이격되도록 배치되고, 제1 방향으로 연장되며, 접지된다. 이러한 정전 분무 인쇄 장치는 균일한 두께의 유기 패턴을 형성할 수 있다.

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