Abstract:
패턴 형성 장치가 개시된다. 패턴 형성 장치는 용액방사부, 스테이지부 및 가이드 전극부를 구비한다. 용액방사부는 방사용액을 수용하는 시린지, 시린지에 연결되고 방사용액을 방사하는 노즐 및 노즐에 제1 전압을 인가하는 제1 전압발생장치를 구비한다. 스테이지부는 노즐과 소정 간격 이격되게 배치된 스테이지 및 스테이지에 제2 전압을 인가하는 제2 전압발생장치를 구비한다. 가이드 전극부는 노즐을 사이에 두고 서로 이격되게 배치되고 서로 전기적으로 분리된 제1 가이드 전극과 제2 가이드 전극, 제3 전압을 생성하는 제3 전압발생장치 및 제3 전압을 제1 가이드 전극과 상기 제2 가이드 전극에 교대로 인가하는 스위칭 장치를 구비한다. 이러한 패턴 형성 장치는 전기방사된 나노섬유들을 기판에 평행하게 배열시킬 수 있다.
Abstract:
본 발명의 일 실시예에 의하면, 플라즈마 상태를 이용한 박막 증착에 있어서 인시투 상황 하에서 실시간으로 박막 증착 두께를 측정할 수 있으므로 별도의 증착 두께 확인 공정을 제거할 수 있는 효과가 있다. 이를 위해 특히, 본 발명의 일 실시예는 챔버; 챔버 내부에 형성되며 시스층(sheath)을 포함하는 플라즈마 가스; 챔버 내부에 설치되며 상부로 박막이 증착되는 기판; 챔버 외부에서 챔버에 소스 전력을 인가하는 소스 RF 전원; 챔버 외부에서 기판에 바이어스 전력을 인가하는 바이어스 RF 전원; 기판과 바이어스 RF 전원 사이에서의 전류 및 전압에 기반하여 실측 임피던스를 실시간으로 측정하는 임피던스 측정부; 및 시스층에 대응하는 제1 커패시턴스, 박막에 대응하는 제2 커패시턴스 및 측정된 실측 임피던스에 기반하여 증착 시간에 따른 박막의 증착 두께를 연산하는 두께 연산부;를 포함하는 임피던스를 이용한 인시투 박막 두께 측정 장치를 포함한다.
Abstract:
PURPOSE: An organic light emitting device for a large organic light and a manufacturing method thereof are provided to independently connect a transparent electrode and a metal electrode to a power source, thereby eliminating problems due to high resistance of the transparent electrode. CONSTITUTION: A first electrode layer(200) is formed on a substrate(100). The first electrode layer is formed of a transparent material with high conductivity and work function. An organic light emitting layer(300) is formed on the first electrode layer. A second electrode layer(400) is formed on the organic light emitting layer. The first and second electrode layers include a power connecting unit extended to an edge of the organic light emitting layer.
Abstract:
The present invention relates to an apparatus for forming a pattern using electrospraying and electrospinning, and more specifically, to an apparatus for forming a pattern, capable of forming droplets and nano fibers charged in a desired direction in a desired pattern by controlling an electric field in an electrospraying and spinning system to overcome the instability of an electrospraying and spinning method.
Abstract:
본 발명은 소자 봉지용 봉지구조체 및 이의 제조방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 반응물질로 실란 화합물과 질소 함유 가스를 저온에서 증착시켜 형성된 유동성 산화물 박막으로 유기층의 핀홀을 채움으로써 기존 ALD 증착법 보다 증착속도 향상으로 인한 생산속도가 개선되고, 낮은 온도에서 증착 공정이 가능하여 소자의 손상 정도를 현저히 줄일 수 있다. 특히, 벤딩 시 막 깨짐 현상이 개선되어 플렉시블 디스플레이 적용에 유리한 발광 소자를 개발할 수 있다.
Abstract:
정전 분무 인쇄 장치가 개시된다. 정전 분무 인쇄 장치는 노즐, 제1 전압공급부 및 2개의 가이드 전극을 구비한다. 노즐은 유기물질을 포함하는 용액을 분사한다. 제1 전압공급부는 노즐에 양의 전압을 인가하여 노즐로부터 분사되는 용액을 미세 액적들로 쪼깬다. 가이드 전극들은 노즐의 단부를 사이에 두고 서로 이격되도록 배치되고, 제1 방향으로 연장되며, 접지된다. 이러한 정전 분무 인쇄 장치는 균일한 두께의 유기 패턴을 형성할 수 있다.