公开(公告)号：KR102057234B1

公开(公告)日：2019-12-18

申请号：KR1020180084604

申请日：2018-07-20

Applicant: 재단법인대구경북과학기술원

Inventor： 전동환 ,  황대규 ,  김대환 ,  김영일 ,  강진규

IPC: H01L31/18 ,  H01L31/0392 ,  H01L31/0749 ,  H01L31/032

公开(公告)号：KR101656842B1

公开(公告)日：2016-09-13

申请号：KR1020140107167

申请日：2014-08-18

Applicant: 재단법인대구경북과학기술원

Inventor： 전동환 ,  고병수 ,  황대규 ,  강진규

IPC: H01L31/0749 ,  H01L31/0392 ,  H01L31/024 ,  H01L31/18

CPC classification number: Y02E10/50 ,  Y02P70/521

Abstract: 본발명은 (a) Cu, Zn 및 Sn을동시진공증발법으로기판에증착하는단계; (b) 단계 (a)에서증착된박막에 S, Se 또는 S 및 Se을증착하는단계; 및 (c) 열처리단계를포함하는 CZTS/CZTSe계박막의제조방법에관한것으로, 본발명에의하는경우박막내의 Sn의소실을최소화하고, 열처리시 VI 족원소를별도를공급할필요가없으므로, 공정의비용이절감되는이점이있다.

公开(公告)号：KR101488202B1

公开(公告)日：2015-02-06

申请号：KR1020140139016

申请日：2014-10-15

Applicant: 재단법인대구경북과학기술원

Inventor： 전동환 ,  황대규 ,  성시준 ,  김대환 ,  이동하

IPC: H01L31/042 ,  H01L31/06 ,  H01L31/18

CPC classification number: Y02E10/50 ,  Y02P70/521

Abstract: 본 발명은 전자파를 사용하여 화합물 박막 태양전지용 버퍼층을 제조하는 방법에 관한 것으로, 종래의 화학조 침착법의 열원 공급 방법인 항온조를 통한 전달 방식 대신에 전자파의 유전 가열방식을 사용하여 버퍼층을 증착한다. 이를 통해 빠르고 균일하게 화학조 내부 용액 온도를 상승시켜 공정 시간을 단축하고, 증착하고자 하는 기판에 열원을 균일하게 공급함으로서 양질의 박막을 빠르게 증착할 수 있다.