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公开(公告)号：KR101156732B1
公开(公告)日：2012-06-14
申请号：KR1020100050832
申请日：2010-05-31
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: 본 발명은 환경 센서 및 환경 센서 제작 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 정전 용량 방식을 사용하는 환경 센서 및 환경 센서 제작 방법에 관한 것이다.
이를 위해 본 발명은 메탈이 증착되어 있는 폴리머 박막과 상기 폴리머 박막을 지지하기 위한 지지부재를 포함하는 상부 구조물과 상기 상부 구조물의 지지부재가 안착되는 안착부와 상기 안착부의 내부에 전극을 형성하고 있는 전극부를 포함함을 특징으로 하는 하부 구조물을 포함하는 환경 센서를 제안한다.-
公开(公告)号：KR101145669B1
公开(公告)日：2012-05-24
申请号：KR1020100116317
申请日：2010-11-22
Applicant: 전자부품연구원
CPC classification number: A61B5/14532 , A61B5/14551 , A61B5/150022 , A61B5/15003 , A61B5/155 , A61B5/157
Abstract: PURPOSE: A continuous blood glucose monitoring sensor capable of monitoring the blood glucose in real time is provided to measure the amount of glucose in blood of a patient by the change of optical signals. CONSTITUTION: A continuous blood glucose monitoring sensor comprises the following: a glad layer(140) laminated on the upper side of a substrate; a core layer(160) including a first optical waveguide(162) and a second optical waveguide(164); a body fluid inlet/outlet unit for inflowing and out-flowing body fluid through the optical waveguide; and a non-label sensor detecting a signal by the combination of a glucose antibody and a glucose molecule. The non-label sensor contains nano-particles polymerized with the glucose molecule.
Abstract translation: 目的：提供能够实时监测血糖的连续血糖监测传感器，通过光信号的变化来测量患者血液中的葡萄糖量。 构成：连续血糖监测传感器包括：层叠在基材上侧的高分层（140） 包括第一光波导（162）和第二光波导（164）的芯层（160）; 体液入口/出口单元，用于通过光波导流体流出体液; 以及通过葡萄糖抗体和葡萄糖分子的组合检测信号的非标记传感器。 非标记传感器含有与葡萄糖分子聚合的纳米颗粒。
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公开(公告)号：KR101145668B1
公开(公告)日：2012-05-24
申请号：KR1020100116327
申请日：2010-11-22
Applicant: 전자부품연구원
CPC classification number: A61B5/14532 , A61B5/0002 , A61B5/1455 , G06F19/00
Abstract: PURPOSE: A continuous blood sugar monitoring system is provided to monitor the blood sugar of a patient by fixing a reversibly reacting glucose antibody to the surface of the system. CONSTITUTION: A continuous blood sugar monitoring system(100) for monitoring the blood sugar of a patient comprises the following: an integrated management terminal unit(200) analyzing and transmitting blood sugar data obtained from a sensor unit; a data transceiver(300) transmitting the analyzed blood sugar data received from the integrated management terminal unit to subscribers; and first, second, and third optical waveguides. The third optical waveguide is located in between the first and second optical waveguides.
Abstract translation: 目的：提供连续血糖监测系统，通过将可逆反应的葡萄糖抗体固定在系统的表面来监测患者的血糖。 构成：用于监测患者血糖的连续血糖监测系统（100）包括：综合管理终端单元（200），分析和传送从传感器单元获得的血糖数据; 将从所述综合管理终端单元接收的所分析的血糖数据发送给用户的数据收发器（300） 以及第一，第二和第三光波导。 第三光波导位于第一和第二光波导之间。
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公开(公告)号：KR1020100136666A
公开(公告)日：2010-12-29
申请号：KR1020090054865
申请日：2009-06-19
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: PURPOSE: An apparatus of array type for observing cells is provided to shorten cell observation time by observing a large amount of cells. CONSTITUTION: An apparatus(101) for observing cells comprises: an incubator; a cell culture chip(120) which is installed inside the incubator and in which a plurality of cell culture chamber is arranged in an array form; a light emitting device(130) arranged to correspond to the cell culture chambers; and a plurality of image device(150) which is arragned to correspond to the cell culture chambers. The light emitting device is vertically mounted on the upper portion of the incubator.
Abstract translation: 目的：提供一种用于观察细胞的阵列型装置，通过观察大量细胞来缩短细胞观察时间。 构成：用于观察细胞的装置（101）包括：培养箱; 细胞培养片（120），其安装在培养箱的内部，多个细胞培养室以阵列形式排列; 布置成对应于细胞培养室的发光装置（130）; 以及被配置为对应于细胞培养室的多个图像装置（150）。 发光装置垂直安装在培养箱的上部。
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公开(公告)号：KR1020100001569A
公开(公告)日：2010-01-06
申请号：KR1020080061526
申请日：2008-06-27
IPC: H01L31/115
CPC classification number: H01L31/115 , H01L21/31116 , H01L31/0224 , H01L31/085 , H01L31/18
Abstract: PURPOSE: An infrared sensor and a manufacturing method of the same are provided to detect a body and a room temperature in confined space by controlling an body perception effective angle through MEMS(Microelectromechanical Systems) process. CONSTITUTION: In a device, a membrane structure is formed on a first substrate(110). An insulating film(120) is formed on the first substrate. An sensing infrared ray film(130) is formed on the membrane structure of the insulating film. The sensing infrared ray film senses the infrared ray transmitting an infrared ray absorption film(220). A pair of electrodes(140,141) are connected to an external circuit in order to transfer a sensing signal of the sensing infrared ray film. A second substrate(210) is arranged on the insulating film in order to support the infrared ray absorption film. The infrared ray absorption film absorbs the infrared ray of 8-10μm wavelength.
Abstract translation: 目的：提供一种红外传感器及其制造方法，以通过MEMS（微机电系统）工艺控制身体感知有效角度来检测密闭空间中的身体和室温。 构成：在装置中，在第一基板（110）上形成膜结构。 绝缘膜（120）形成在第一基板上。 在绝缘膜的膜结构上形成感测红外线膜（130）。 感测红外线胶片感测透射红外线吸收膜（220）的红外线。 一对电极（140,141）连接到外部电路，以便传送感测红外线胶片的感测信号。 为了支撑红外线吸收膜，在绝缘膜上设置第二基板（210）。 红外线吸收膜吸收8-10μm波长的红外线。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020090108194A
公开(公告)日：2009-10-15
申请号：KR1020080033491
申请日：2008-04-11
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: PURPOSE: A gas sensor and a manufacturing method thereof are provided to make the manufacturing process simple by forming holes on the lower side of a sensor unit by injecting etching gas through etching holes formed previously. CONSTITUTION: A gas sensor includes a substrate, an insulating layer, a sensor unit, an electrode pad, first holes, and second holes. The substrate(300) has a plurality of grooves(301). The insulating layer is formed on the top of the substrate. The sensor unit(310) and the electrode pad are formed on the insulating layer. The first holes(340) for etching are formed by removing the insulating layer around the sensor unit. The second holes(350) are formed through the first holes on the lower part of the sensor unit for thermal isolation.
Abstract translation: 目的：提供一种气体传感器及其制造方法，通过在先前形成的蚀刻孔中注入蚀刻气体，在传感器单元的下侧形成孔，使制造工艺简单。 构成：气体传感器包括基板，绝缘层，传感器单元，电极焊盘，第一孔和第二孔。 基板（300）具有多个槽（301）。 绝缘层形成在基板的顶部。 传感器单元（310）和电极焊盘形成在绝缘层上。 用于蚀刻的第一孔（340）通过去除传感器单元周围的绝缘层而形成。 第二孔（350）通过传感器单元的下部的第一孔形成，用于热隔离。
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公开(公告)号：KR100919781B1
公开(公告)日：2009-10-01
申请号：KR1020070068315
申请日：2007-07-06
Abstract: 본 발명은 필름형 박막을 위한 다공질 기판의 제조 방법에 관한 것으로서, 보다 자세하게는 필름형 박막 형성 산화물이 증착되는 기판의 기공크기를 나노 스케일로 제어할 수 있는 필름형 박막을 위한 다공질 기판의 제조 방법에 관한 것이다.
본 발명의 필름형 박막을 위한 다공질 기판의 제조 방법은 필름형 박막을 위한 다공질 기판을 제조함에 있어서, 전극층이 형성된 실리콘 기판을 준비하는 제1단계; 상기 전극층상에 다공질층 형성을 위한 알루미늄층을 형성하는 제2단계; 상기 알루미늄층이 형성된 기판을 옥살산 용액에 침지시키고 1차 양극산화 처리하여 상기 알루미늄층의 일부에 복수의 기공을 갖는 제1다공질층을 형성하는 제3단계; 상기 제1다공질층을 제거하는 제4단계; 및 상기 제1다공질층이 제거된 기판을 옥살산 용액에 침지시키고 2차 양극산화 처리하여 상기 제1다공질층이 제거되고 남은 상기 알루미늄층에 균일한 복수의 기공을 갖는 제2다공질층을 형성하는 제5단계를 포함한다.-
公开(公告)号：KR100917792B1
公开(公告)日：2009-09-24
申请号：KR1020070068367
申请日：2007-07-06
IPC: B81B7/02
Abstract: 본 발명은 히팅 구조물의 하부에 반사판을 형성함으로써, 히팅 구조물의 하부로부터 발열된 열을 반사하여 외부로 방출시켜, 발열효율을 향상시킬 수 있는 반사판을 구비한 마이크로 히터를 제공함에 그 목적이 있다.
본 발명의 반사판을 구비한 마이크로 히터는 MEMS 공정을 이용하여 형성한 마이크로 히터에 있어서, 외부에서 인가된 전압을 이용하여 열을 방출하기 위한 기판상에 형성된 히팅 구조물; 및 상기 히팅 구조물로부터 방출되는 열을 반사시키기 위하여 상기 히팅 구조물 하부에 위치한 상기 기판상에 형성한 반사판을 포함한다.
마이크로, 히터, 반사판-
公开(公告)号：KR100916929B1
公开(公告)日：2009-09-15
申请号：KR1020070068357
申请日：2007-07-06
IPC: G01N21/3504 , G01N21/35 , G01N21/00
Abstract: 본 발명에 따른 반도체형 가스 센서는 적외선 발광부, 적외선 발광부의 온도를 측정하기 위한 적외선 온도 측정부 및 적외선 발광부로부터 방출된 적외선을 수광하기 위한 적어도 하나 이상의 적외선 수광부를 포함하되, 적외선 온도 측정부 및 적외선 수광부의 감지 물질은 산화 바나듐으로 서로 동일하며, 상기 적외선 수광부의 감지 물질 상부에 적외선 흡수층이 형성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 반도체형 가스 센서의 제조공정은 저 스트레스 실리콘 질화막 또는 ONO막이 형성된 기판상에 적외선 발광부를 형성하는 단계, 상기 적외선 발광부가 형성된 기판상에 적외선 온도 측정부 및 적외선 수광부의 감지 물질인 산화 바나듐을 증착한 후, 패터닝하는 단계, 기판의 전면에 보호층을 형성하는 단계, 보호층을 식각하여 적외선 발광부, 적외선 온도 측정부 및 적외선 수광부에 각각 콘택홀을 형성하는 단계, 기판의 전면에 전극 물질을 증착한 후 패터닝하여 전극 배선 및 전극 패드를 형성하는 단계, 적외선 수광부에 절연층 및 적외선 흡수층을 형성하는 단계, 적외선 발광부, 적외선 온도 측정부 및 적외선 수광부가 형성된 영역의 기판 후면을 식각하여 적어도 하나 이상의 멤브레인막을 형성하는 단계를 포함한다.
가스 센서, 산화 바나듐, 적외선 발광부, 적외선 수광부-
公开(公告)号：KR1020090093360A
公开(公告)日：2009-09-02
申请号：KR1020080018839
申请日：2008-02-29
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: A gas sensor circuit is provided to make the structure of a calculating circuit simple by reducing the noise on an output signal by the temperature. A gas sensor circuit comprises an infrared sensor(100) and a clipping part(300). The infrared sensor receives the infrared ray emitted from the infrared light source. The clipping part is connected to the infrared sensor. The clipping part clips the inputted signal with the maximum voltage value of the signal. The clipping part comprises a maximum voltage generating system(320) and a clipping member(310). The maximum voltage generating system produces the signal maximum voltage value. The clipping member clips the signal referring to the maximum voltage value generated in the maximum voltage generating system.
Abstract translation: 提供了一种气体传感器电路，通过降低输出信号上的噪声，使计算电路的结构简单化。 气体传感器电路包括红外传感器（100）和夹持部（300）。 红外线传感器接收从红外光源发射的红外线。 剪辑部分连接到红外传感器。 剪辑部分用信号的最大电压值剪切输入的信号。 夹持部分包括最大电压产生系统（320）和夹持部件（310）。 最大电压发生系统产生信号最大电压值。 剪辑构件根据最大电压产生系统中产生的最大电压值来剪辑信号。
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