Abstract:
프로브의 가이드 장치는 전후진 이동 가능한 중공의 튜브체와, 상기 튜브체의 전방측 단부에 대해 최초 연장 방향을 유지하며 선회 운동하도록 상기 튜브체와 연결되는 이동체와, 상기 이동체의 전방측 단부에서 상기 광 간섭 단층 영상의 촬영 대상물의 촬영 대상면과 수직하게 배향되는 프로브를 포함하고, 상기 이동체를 선회 운동시키는 동시에 상기 튜브체를 전후진 이동시켜 선회 운동에 따른 상기 이동체의 전후진 방향 변위를 상쇄함으로써, 상기 이동체가 작업 위치에서 전후진 방향으로의 변위 없이 상기 전후진 방향과 수직 방향으로 평형 이동하여, 상기 프로브가 상기 촬영 대상면과 평행하게 이동하도록 한다.
Abstract:
A sensor apparatus comprises: a sensor body with an optical fiber where multiple grids are formed in the longitudinal direction; an optical source which generates first incidence light and second incidence light with a different wavelength from each other, and induces the incidence to the optical fiber; and an optical analyzer which analyzes a wavelength signal of the light. The first incidence light forms refractive detection reflected light by being interfered or reflected by the multiple grids. The second incidence light forms second reflected light by being reflected from an outside obstacle after being outputted from a light outlet of the optical fiber. The second reflected light forms distance detection reflected light by being interfered by reference reflected light which is formed by the reflection of the second incidence light from a reference surface. The optical analyzer detects reflective states of the sensor body by detecting changes in the wavelength band of the refractive detection reflected light, and detects a distance between the sensor body and the obstacle by detecting the wavelength band of the distance detection reflected light.