公开(公告)号：KR1020060130372A

公开(公告)日：2006-12-19

申请号：KR1020050051011

申请日：2005-06-14

Applicant: 한국기계연구원 ,  한국과학기술원

Inventor： 최대근 ,  정준호 ,  이응숙 ,  한창수 ,  배병수 ,  김우수

IPC: G03F7/00 ,  G03F7/075 ,  H01L21/027 ,  B82B3/00

CPC classification number: G03F7/0002 ,  B29C33/424 ,  B29C2033/426

Abstract: Fluorinated organosilane compound for pattern replicating mold and organic-inorganic hybrid mold for the pattern replication are provided to obtain the mold with desired level of strength without alternative surface treatment using a releasing agent, and be employed in nano-implanting process and soft lithography by adding fluorinated organosilane compound to the mold. The compound includes fluorinated linear or branched chain alkyl, phenyl, phenylalkoxy or amine group and is formed by using silicon compounds, as starting material, represented by specific formula, for example, the formula(1) of (OR^1)nSi-R^2m, wherein: R1 is hydrogen or linear or branched chain alkyl group having carbon atoms ranging from 1 to 15; R2 is fluorinated linear or branched chain alkyl, phenyl, phenylalkoxy or amine group having carbon atoms ranging from 1 to 15; n is natural number of 1 to 3, m is natural number of 1 to 3 and n + m is 4. The organic-inorganic hybrid mold comprises a layer containing the organosilane compound and has reverse-master patterns on surface of the organosilane compound containing layer.

Abstract translation: 提供用于图案复制的模板复制用氟化有机硅烷化合物和用于图案复制的有机 - 无机混合模具以获得具有期望水平的强度的模具，而不使用脱模剂进行替代的表面处理，并且用于纳米植入工艺和软光刻中，通过添加 氟化有机硅烷化合物。 该化合物包括氟化的直链或支链烷基，苯基，苯基烷氧基或胺基，并且通过使用由特定的化学式表示的硅化合物作为原料形成，例如（OR 1）n Si-R 2m，其中：R1是氢或碳原子数为1至15的直链或支链烷基; R2为碳原子数为1〜15的氟化直链或支链烷基，苯基，苯基烷氧基或胺基; n为1〜3的自然数，m为1〜3的自然数，n + m为4.有机 - 无机混合模具包含含有机硅烷化合物的层，在含有有机硅烷化合物的表面具有反向母体图案 层。

公开(公告)号：KR1020060086513A

公开(公告)日：2006-08-01

申请号：KR1020050007276

申请日：2005-01-26

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 양승만 ,  김사라 ,  최대근 ,  장세규 ,  신성철 ,  정종률

IPC: H01L21/306 ,  B82Y40/00

CPC classification number: B82B3/0014 ,  G11C11/161

Abstract: 본 발명은 단분산 입자를 마스크로 활용한 자성 금속 점 정렬 형성방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 패턴화를 요하는 금속박막 위에 구형의 단분산 입자를 배열하는 단계; 코팅된 단일막 또는 이중막을 반응성 이온 식각 조건을 조절하여 고분자 입자의 크기를 조절하는 단계; 고분자 마스크를 이용하여 아르곤 이온 식각 또는 금속을 증착하는 단계; 및 금속 패턴으로부터 마스크를 제거하는 단계를 포함하는 금속 점 정렬의 형성방법에 관한 것이다.
본 발명은 종래 광식각 공정으로는 구현하기 어려운 100nm 이하의 미세패턴화가 가능하고, 간단한 공정에 의해 다양한 크기와 모양의 금속패턴을 형성할 수 있으며, 미리 원하는 성질의 자성금속을 증착하므로 자성금속의 선택이 자유롭고, 마스크의 크기 및 모양 조절함에 따라서 원하는 금속패턴의 제조가 가능하다.
또한 본 발명에 의한 나노 패턴은 새로운 나노패턴의 형성을 위한 마스크, 반도체 메모리의 기억소자를 위한 마스크, 촉매의 패턴화된 기저 물질, 바이오센서 등의 생물소자, 반사 방지막 및 광소자 등으로 응용이 가능하다.

公开(公告)号：KR100558967B1

公开(公告)日：2006-03-10

申请号：KR1020030042674

申请日：2003-06-27

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 양승만 ,  유형균 ,  최대근

IPC: H01L21/027

Abstract: 본 발명의 제 1측면에 따른 양각배열패턴의 형성방법은, 양각으로 패턴화된 마스터의 상면에 연성의 제1고분자를 적층시키고 경화처리하여 음각의 패턴을 형성하는 단계; 음각의 패턴이 형성된 제 1고분자층을 마스터로부터 분리하고 상기 패턴내에 소정의 제 1입자를 충진하는 단계; 패턴이 형성된 제 1고분자층의 상면에 점착성의 제 2고분자를 적층시켜 상기 제 1입자로 구성되는 양각의 패턴을 상기 제 2고분자층의 표면에 부착시키는 단계; 및 상기 제 2고분자층을 상기 제 1고분자층으로부터 분리하고 상기 제 2고분자층에 형성된 홈에 제 2입자를 충진하는 단계를 포함하는 양각배열패턴의 형성방법을 제공한다.
또한, 본 발명의 제 2측면에 따른 방법은, 양각으로 패턴화된 마스터의 상면에 연성의 고분자를 적층시키고 경화처리하여 음각의 패턴을 형성하는 단계; 음각의 패턴이 형성된 고분자층을 마스터로부터 분리하고 상기 패턴 내에 소정의 제1입자를 충진하는 단계; 상기 고분자층의 음각의 패턴이 형성된 면에 소정의 기판을 부착시키는 단계; 상기 고분자층을 식각하여 상기 기판상에 상기 제1입자로 구성되는 양각패턴을 형성하는 단계; 및 상기 기판상에 형성된 홈에 제2입자를 충진하는 단계를 포함하는 양각배열패턴의 형성방법을 제공한다.

公开(公告)号：KR100433470B1

公开(公告)日：2004-05-27

申请号：KR1020010079232

申请日：2001-12-14

Applicant: 주식회사 아트라스비엑스 ,  한국과학기술원

Inventor： 박진 ,  최대근 ,  홍성훈 ,  박승빈 ,  양승만 ,  홍원희 ,  김광석 ,  송현우

IPC: H01M10/08

CPC classification number: Y02E60/126

Abstract: PURPOSE: Provided is a binder-added inorganic gel electrolyte for a sealed type lead storage battery, which is excellent in structural strength, charging capacity, and lifetime property. CONSTITUTION: The binder-added inorganic gel electrolyte is produced by mixing and dispersing silica in sulfuric acid solution at more than 2000rpm and then adding 0.001-1%(based on the weight of the electrolyte) of polyvinyl alcohol as a binder to the silica-sulfuric acid solution dispersion, wherein the polyvinyl alcohol has a molecular weight of more than 10000.

Abstract translation: 用途：本发明提供一种用于密封型铅蓄电池的无机凝胶电解质粘结剂，其结构强度，充电容量和寿命特性优异。 构成：添加粘合剂的无机凝胶电解质是通过将二氧化硅在硫酸溶液中以大于2000rpm的速度混合和分散，然后将作为粘合剂的聚乙烯醇的0.001-1％（基于电解质的重量）加入到二氧化硅 - 硫酸溶液分散液，其中聚乙烯醇的分子量大于10000。