公开(公告)号：KR102076904B1

公开(公告)日：2020-02-12

申请号：KR1020180031006

申请日：2018-03-16

Applicant: 한국광기술원

Inventor： 정탁 ,  박준범

IPC: H01L33/00 ,  H01L27/15

公开(公告)号：KR1020150097307A

公开(公告)日：2015-08-26

申请号：KR1020140018658

申请日：2014-02-18

Applicant: 한국광기술원

Inventor： 박형조 ,  박준범 ,  백종협 ,  이상헌 ,  정태훈 ,  김윤석 ,  정성훈 ,  오화섭 ,  정탁 ,  이승재 ,  주진우 ,  김자연

IPC: H01B13/00 ,  H01B5/14

CPC classification number: H01B13/0026

Abstract: 본 발명의 일 실시예는 상기 기판상에 탄소 나노 튜브 도전층을 형성하는 탄소 나노 튜브 도전층 제조 방법에 관한 것으로서, 복수 개의 탄소 나노 튜브를 구비하는 분산액을 제조하는 단계, 상기 분산액에 대하여 원심 분리 공정을 진행하는 단계, 상기 원심 분리 공정을 거친 분산액을 기판에 대하여 성막하는 단계, 상기 성막 단계를 진행하여 형성된 막의 표면에 대하여 활성화 공정을 진행하는 단계, 적어도 금속 원소를 포함하는 도금액을 준비하는 단계, 상기 활성화를 진행한 기판을 상기 도금액에 넣어 도금 공정을 진행하는 단계 및 상기 기판에 대하여 열처리를 구비하는 후처리 공정을 진행하는 단계를 포함하는 탄소 나노 튜브 도전층 제조 방법을 개시한다.

Abstract translation: 本发明的实施例涉及一种制造碳纳米管导电层以在基板上形成碳纳米管导电层的方法。 该方法包括：制造具有碳纳米管的分散液的工序; 对分散液体进行离心过滤处理的步骤; 在基板上形成通过离心过滤处理的分散液体层的工序; 在通过进行层形成步骤形成的层的表面上进行活化处理的步骤; 制备至少包含金属元素的电镀溶液的步骤; 将通过激活处理的基板浸渍在电镀液中的电镀工序的工序; 以及对基板进行热处理的后处理工序的工序。