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公开(公告)号：KR1020170107300A
公开(公告)日：2017-09-25
申请号：KR1020160031095
申请日：2016-03-15
Applicant: 한국기계연구원
IPC: G03F7/20
Abstract: 본발명은공정속도를향상시키고오차를감소시킬수 있는레이저직접묘화장치및 레이저직접묘화방법을제공한다. 본발명의일 측면에따른레이저직접묘화장치는회전가능하게설치되며다각형상의단면을갖는폴리곤스캐너, 가공대상물이위치하는스테이지, 상기스테이지를이송시키는스테이지제어부, 상기스테이지의이동오차를측정하는제1오차측정부, 및레이저펄스를온(on) 또는오프(off)시키되, 상기제1오차측정부에서전달된신호를바탕으로상기레이저펄스의온(on) 또는오프(off)를제어하여오차를보상하는레이저변조기를포함한다.
Abstract translation: 本发明提供一种能够提高处理速度并减少错误的激光直接描绘装置和激光直接描绘方法。 根据本发明的一个方面，提供了一种激光直接描绘装置，它包括：可旋转地安装并具有多边形横截面的多边形扫描器;载置工件的载物台;用于传送载物台的载物台控制器; 误差测量单元和激光脉冲被打开或关闭，同时通过基于从第一误差测量单元发送的信号来控制激光脉冲的ON或OFF来控制误差 还有一个补偿激光束的激光调制器。
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公开(公告)号：KR1020160131733A
公开(公告)日：2016-11-16
申请号：KR1020150064732
申请日：2015-05-08
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: 본발명의목적은패턴의양측에서열영향부를최소화하면서미세선폭의패턴을형성하는미세패턴금형가공시스템을제공하는것이다. 본발명의일 실시예에따른미세패턴금형가공시스템은, 설정된펄스폭의레이저빔을생산하는레이저발진부, 레이저빔을상기베이스에설치되는타겟에조사하여설정된선폭의패턴을가공하는폴리곤스캐너, 및상기폴리곤스캐너를장착하고상기베이스에설치되어상기타겟에대한상기폴리곤스캐너의위치를조절하는스테이지를포함한다.
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公开(公告)号：KR101582632B1
公开(公告)日：2016-01-05
申请号：KR1020130093775
申请日：2013-08-07
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: 빠른속도로정밀하게레이저가공을수행할수 있는기판절단방법을제공한다. 본발명에따른기판절단방법은, 레이저광원에서레이저빔을생성하는단계와, 프레넬영역소자를이용하여레이저빔을발산성분과수렴성분을포함한회절된제1 빔성분들과회전되지않은제2 빔성분을포함하는복수의빔 성분으로분리시키는단계와, 집광기를이용하여복수의빔 성분을기판의두께방향을따라일직선상으로집속시켜복수의레이저초점을형성함과아울러기판내부에복수의변질층을형성하여기판을절단하는단계를포함한다. 제2 빔성분의레이저초점을중심으로제1 빔성분들의레이저초점들이기판의두께방향을따라대칭으로배열되고, 기판은적어도일 표면에강화층이형성된강화유리기판이며, 제1 빔성분들각각의에너지강도는제2 빔성분의에너지강도보다높다.
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公开(公告)号：KR1020150093452A
公开(公告)日：2015-08-18
申请号：KR1020140014248
申请日：2014-02-07
Applicant: 한국기계연구원
IPC: G07D7/12 , B42D25/328
CPC classification number: G07D7/12 , B42D25/328
Abstract: 본 기재의 위조방지 패턴 감지장치는, 위조방지 패턴이 형성된 대상물에서 상기 위조방지 패턴이 방향성을 갖는 복수 개의 미세 패턴부를 포함하고, 상기 미세 패턴부는 동일한 방향으로 연장된 복수 개의 미세 요철을 구비할 때, 상기 대상물로부터 상기 위조방지 패턴을 감지하는 장치로서, 레이저 빔을 방출하는 레이저 발진기와, 상기 레이저 빔을 집광하여 방향성을 갖는 미세 패턴부로 이루어진 상기 위조방지 패턴에 조사하는 제1 렌즈와, 상기 위조방지 패턴으로부터 반사되면서 회절된 인식 패턴을 촬영하는 촬영기, 및 상기 촬영된 인식 패턴을 분석하여 식별기호를 감지하는 감지기를 포함한다.
Abstract translation: 检测防伪图案的装置是当物体具有包含多个具有方向性的精细图案部分的伪造物图案时，检测来自物体的防伪图案的装置，并且精细图案部分具有多个精细凹凸 结构沿同一方向延伸。 该装置包括：发射激光束的激光振荡器; 第一透镜，其凝结激光束并照射由具有方向性的精细图案部分形成的防伪图案; 拍摄设备，其拍摄从防伪图案反射和衍射的识别图案; 以及通过分析所拍摄的识别图案来检测识别符号的检测器。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101538028B1
公开(公告)日：2015-07-22
申请号：KR1020140043304
申请日：2014-04-11
Applicant: 한국기계연구원
IPC: B23K26/03 , B23K26/362 , G01B11/06
Abstract: 본발명은박막의가공두께제어및 모니터링을위한실시간측정및 가공장치에관한것이다. 본발명의목적은, 서로다른재료로이루어지는박막이다층으로적층되는가공대상물을레이저가공함에있어서, 현재가공되고있는박막의물성을실시간으로모니터링할수 있도록장치를구성하여, 상층의박막가공이완료되는시점에정확히가공을중단할수 있도록함으로써, 하층박막의손상을최소화하면서효과적으로상측박막만의선택적제거가가능하도록하는, 박막의가공두께제어및 모니터링을위한실시간측정및 가공장치를제공함에있다.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于控制和监测薄膜的处理厚度的实时测量和处理装置及其实时测量及其处理方法。 本发明的目的是提供一种用于控制和监测薄膜激光器的处理厚度的实时测量和处理装置，处理由不同材料制成的薄膜多层叠的物体。 该装置被配置为监视正在被处理的薄膜的物理特性，以在完成薄膜上层的处理的同时准确地停止处理，以便最小化下层的 薄膜并有效选择薄膜的上层去除。
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公开(公告)号：KR101395258B1
公开(公告)日：2014-05-15
申请号：KR1020130143200
申请日：2013-11-22
Applicant: 한국기계연구원
IPC: H01J37/26
Abstract: The present invention relates to an electron microscope and, more specifically, to an electron microscope with a detachable vacuum chamber unit installing a detachable vacuum chamber to scan a specimen being the object of scanning even when the size of the specimen is large by moving as needed, thereby improving convenience relative to conventional usage; and to a scanning method using the same.
Abstract translation: 本发明涉及一种电子显微镜，更具体地说，涉及具有可拆卸真空室单元的电子显微镜，该单元安装可拆卸的真空室，以扫描即使在需要时通过移动样本的尺寸较大的扫描对象的试样 从而提高了相对于常规使用的便利性; 以及使用其的扫描方法。
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公开(公告)号：KR1020050030006A
公开(公告)日：2005-03-29
申请号：KR1020030066311
申请日：2003-09-24
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: A precision processing device utilizing a femto-second laser and a method thereof are provided to increase processing efficiency by alternating a stage-shifting type with a scanner type according to size of a workpiece and asked precision and to improve cleanliness and minimize thermal or physical deformation by forming an effective vacuum chamber for the workpiece in a workpiece supporting unit. A laser processing device for precisely manufacturing a work-piece(14) with a femto-second laser comprises a lasing unit(1) generating the femto-second laser; a laser beam transmitting unit sending the femto-second laser generated at the lasing unit; and a laser processing station composed of a beam concentrating unit(8) collecting the laser beam sent from the laser beam transmitting unit and a work-piece supporting unit(15) fixing and supporting the work-piece on a focus of the laser beam coming out of the beam concentrating unit. The laser beam transmitting unit is composed of beam dividers(2, 6) splitting the laser beam into at least two paths. The laser processing station is composed of a first and a second laser processing station, respectively, having one beam concentrating unit and one work-piece supporting unit to process with the laser beam transferred through each laser path. The first laser processing station is composed of a first beam concentrating unit, a first work-piece supporting unit, and a first shifting stage(12) to process the work-piece with moving. The second laser processing station is composed of a beam deflecting unit, a second beam concentrating unit, and a second work-piece supporting unit to fix the work-piece and process by yawing the laser beam at the beam deflecting unit.
Abstract translation: 提供了一种使用毫微微秒激光器的精密加工装置及其方法，以通过根据工件的尺寸交替使用扫描仪类型的舞台换档类型来提高加工效率，并要求精度并改善清洁度并最小化热或物理变形 通过在工件支撑单元中形成用于工件的有效真空室。 用于用毫微微秒激光器精确制造工件（14）的激光加工装置包括：产生毫微微秒激光器的激光单元（1）; 发送在激光单元处产生的毫微微秒激光器的激光束发射单元; 以及由收集从激光束传送单元发送的激光束的光束聚集单元（8）组成的激光加工站和在激光束的焦点上固定和支撑工件的工件支撑单元（15） 离开光束集中单元。 激光束发射单元由将激光束分成至少两条路径的分束器（2,6）组成。 激光加工台由分别具有一个光束聚集单元和一个工件支撑单元的第一和第二激光加工台组成，以便通过每个激光路径传送的激光束进行处理。 第一激光处理站由第一光束聚集单元，第一工件支撑单元和第一移动台（12）组成，用于移动工件。 第二激光处理站由光束偏转单元，第二光束聚焦单元和第二工件支撑单元组成，用于通过在光束偏转单元处偏转激光束来固定工件和处理。
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公开(公告)号：KR101880077B1
公开(公告)日：2018-07-20
申请号：KR1020160157388
申请日：2016-11-24
Applicant: 한국기계연구원 , 재단법인 파동에너지 극한제어 연구단
Abstract: 본발명은전자기적특성이인공적으로조정된인공적인구조체를외부에노출되지않도록제조할수 있는내장형메타구조체제조방법에관한것으로서, 물성변화단계와, 에칭단계와, 코팅단계를포함한다. 물성변화단계는투명재질로된 피가공체의내부에서일정패턴을갖는가상의메타구조체영역을따라레이저빔를이동시켜가상의메타구조체영역의물성을변화시키는단계이다. 에칭단계는가상의메타구조체영역에에칭액을주입하여가상의메타구조체영역에해당하는피가공체의일부분을선택적으로제거하는단계이다. 코팅단계는피가공체의일부분이선택적으로제거되어형성된미소채널의내벽면에금속박막층을코팅하는단계이다. 상기물성변화단계, 에칭단계및 코팅단계에의해가상의메타구조체영역은피가공체의내부에서메타구조체로변환되며, 메타구조체가외부에노출되지않는것을특징으로한다.
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