公开(公告)号：KR100833508B1

公开(公告)日：2008-05-29

申请号：KR1020060124132

申请日：2006-12-07

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 정성혜 ,  이명래 ,  황건 ,  김창규 ,  제창한 ,  최창억

IPC: H01L29/00

CPC classification number: B81C1/0023 ,  B81B2207/012 ,  B81B2207/096 ,  B81C2203/0118 ,  H01L2224/13

Abstract: A MEMS(Micro Electro-Mechanical System) package and a method thereof are provided to improve yield by bonding the MEMS device and a driving electronic device directly. A MEMS package comprises an MEMS device(100) and a driving electronic device(200). The MEMS device is made up of an MEMS structure(114) formed on a substrate; a first pad electrode(116) for driving the MEMS structure; a first sealing unit(118) formed at the edge portion of the substrate; and a connection unit(120) formed on the first pad electrode and the first sealing unit. The driving electronic device comprises a second pad electrode(206) and a second sealing unit(208) corresponding to the first pad electrode and the first sealing unit respectively. And the driving electronic device is bonded with the MEMS device.

Abstract translation: 提供MEMS（微机电系统）封装及其方法，以通过直接连接MEMS器件和驱动电子器件来提高产量。 MEMS封装包括MEMS器件（100）和驱动电子器件（200）。 MEMS器件由形成在衬底上的MEMS结构（114）组成; 用于驱动MEMS结构的第一焊盘电极（116）; 形成在所述基板的边缘部的第一密封单元（118） 以及形成在所述第一焊盘电极和所述第一密封单元上的连接单元（120）。 驱动电子设备包括分别对应于第一焊盘电极和第一密封单元的第二焊盘电极（206）和第二密封单元（208）。 并且驱动电子器件与MEMS器件结合。

公开(公告)号：KR100723309B1

公开(公告)日：2007-05-30

申请号：KR1020050100624

申请日：2005-10-25

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 김성은 ,  강성원 ,  형창희 ,  성진봉 ,  김진경 ,  박덕근 ,  김창규

IPC: H04B11/00

Abstract: 인체를 통신 선로로 하여 음향 신호를 전송하는 음향 송신 시스템이 제공된다. 음향 송신 시스템은 인체와 직접 접촉된 두 개의 음향 송신 장치를 포함하며, 각각의 음향 송신 장치는 인체를 통하여 전송될 가청 주파수 대역의 음향 신호와 생성된 음향 신호와 함께 전송되는 적어도 가청 주파수 대역보다 높은 주파수를 갖는 고주파 신호를 생성한다. 각각의 음향 송신 장치는 생성된 상기 음향 신호와 상기 고주파 신호를 합성하여, 합성된 신호의 출력 위상을 조절하여 인체를 통하여 전송한다. 두 개의 음향 송신 장치에서 인체로 출력된 합성 신호의 간섭에 의하여 사람은 고주파 신호가 제거된 음향 신호를 들을 수 있다.
음파, 간섭, 수신

公开(公告)号：KR1020060064519A

公开(公告)日：2006-06-13

申请号：KR1020050100624

申请日：2005-10-25

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 김성은 ,  강성원 ,  형창희 ,  성진봉 ,  김진경 ,  박덕근 ,  김창규

IPC: H04B11/00

Abstract: 인체를 통신 선로로 하여 음향 신호를 전송하는 음향 송신 시스템이 제공된다. 음향 송신 시스템은 인체와 직접 접촉된 두 개의 음향 송신 장치를 포함하며, 각각의 음향 송신 장치는 인체를 통하여 전송될 가청 주파수 대역의 음향 신호와 생성된 음향 신호와 함께 전송되는 적어도 가청 주파수 대역보다 높은 주파수를 갖는 고주파 신호를 생성한다. 각각의 음향 송신 장치는 생성된 상기 음향 신호와 상기 고주파 신호를 합성하여, 합성된 신호의 출력 위상을 조절하여 인체를 통하여 전송한다. 두 개의 음향 송신 장치에서 인체로 출력된 합성 신호의 간섭에 의하여 사람은 고주파 신호가 제거된 음향 신호를 들을 수 있다.
음파, 간섭, 수신

公开(公告)号：KR1020050063355A

公开(公告)日：2005-06-28

申请号：KR1020030094749

申请日：2003-12-22

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 김창규 ,  이명래 ,  전치훈 ,  최창억 ,  김윤태

IPC: G02B26/00

CPC classification number: G02B26/001 ,  G02B2006/12109

Abstract: 본 발명은 파브리-페로 형태의 파장가변 필터에 관한 것으로, 하부 반사경, 하부 반사경 상부에 광축이 일치되도록 위치된 상부 반사경, 하부 반사경 상부에 위치되며 양측 종단부가 스페이서를 통해 하부 반사경에 고정된 구동체, 구동체의 양측 종단부에 각각 형성된 전극들, 구동체의 중앙부와 상부 반사경을 연결하는 막대구조체, 막대구조체 양측의 하부 반사경에 스페이서를 통해 각각 고정된 고정수단들, 막대구조체와 고정수단들을 연결하며 회전축 역할을 하는 탄성체들을 포함한다. 열팽창이나 전자기력, 혹은 외부의 힘에 의해 구동체의 휨이 발생되면, 탄성체를 회전축으로 지렛대 역할을 하는 막대구조체의 반대편에 연결된 반사경이 구동된다. 따라서 파장가변 범위가 기존보다 넓고 낮은 전력으로 구동할 수 있다. 또한, 두 반사경이 가까워지는 방향과 멀어지는 방향으로 양방향 구동이 가능하며, 구동체와 반사경이 분리되어 있어 전류에 의한 빛의 흡수 및 굴절률 변화가 최소화된다.

公开(公告)号：KR1020050046030A

公开(公告)日：2005-05-18

申请号：KR1020030079987

申请日：2003-11-13

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 김창규 ,  이명래 ,  최창억 ,  전치훈 ,  김윤태

IPC: G02B26/00

CPC classification number: G02B6/29358 ,  G02B6/29395

Abstract: 본 발명은 미소기전집적시스템(MEMS: Micro-Electro-Mechanical System) 형태의 파장가변 필터에 관한 것으로, 광축이 정렬된 두 개의 광섬유 혹은 광 도파로, 상기 광섬유 혹은 광 도파로 앞단에서 빛을 모아주는 두 개의 렌즈, 하나의 기판에 형성된 두 개 혹은 그 이상의 반사경, 적어도 하나의 상기 반사경을 지지하는 열구동체를 포함하며, 전류의 흐름에 따른 열구동체의 열팽창에 의해 상기 반사경이 구동된다. 반사경들이 하나의 기판에 모두 형성되므로 서로 다른 기판에 형성된 반사경을 조립하는 구조에 비하여 제작 과정이 간단하고 초기 공진 파장을 정밀하게 조절할 수 있으며, 열구동체에 직접 전류를 흘려 열팽창시키므로 적은 소모 전력으로 구동이 가능하다. 또한, 반사경을 움직이는 데 정전력을 이용하지 않으므로 반사경들 사이의 고착 현상이 일어나지 않아 정전구동에 의한 파장가변 필터에 비하여 더 넓은 범위의 파장가변이 가능하며, 평면 형태의 반사경이 서로 평행하게 배열되므로 광정렬이 쉽고 선폭이 일정하며 삽입 손실이 적다.