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公开(公告)号:KR100376166B1
公开(公告)日:2003-03-15
申请号:KR1019990037637
申请日:1999-09-06
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: G02B6/02
Abstract: PURPOSE: A device of flame hydrolysis deposition(FHD) for manufacturing a fiber-optic amplifier is provided to supply Eribum(Er) and Ytterbium(Yb) in the state of liquid through a pipe into the FHD reaction chamber to control the temperature. CONSTITUTION: In a device of flame hydrolysis deposition(FHD) for manufacturing fiber-optic amplifier, a supplier of reaction gas(11) supplies an FHD reaction chamber(12) with liquid reaction gas, inactive gas for transferring the liquid reaction gas and gas used for FHD. The liquid reaction gas undergoes FHD in a FHD reaction chamber(12). A thermostat(13) provides the FHD reaction chamber(12) with solid fuel evaporated by heat. An aerosol generator(14) provides the FHD reaction chamber with dissolved Erbium(Er) and Ytterbium(Yb).
Abstract translation: 目的:提供用于制造光纤放大器的火焰水解沉积(FHD)装置,以通过管道将液态的Eribum(铒)和镱(Yb)供应到FHD反应室中以控制温度。 构成:在用于制造光纤放大器的火焰水解沉积(FHD)装置中,反应气体(11)的供应者向FHD反应室(12)供应液态反应气体,惰性气体用于将液态反应气体和气体 用于FHD。 液态反应气体在FHD反应室(12)中经历FHD。 恒温器(13)为FHD反应室(12)提供热量蒸发的固体燃料。 气溶胶发生器(14)为FHD反应室提供溶解的铒(Er)和镱(Yb)。
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公开(公告)号:KR1020010076769A
公开(公告)日:2001-08-16
申请号:KR1020000004124
申请日:2000-01-28
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L31/14
Abstract: PURPOSE: An optical device of a plane waveguide type and a method for manufacturing an optical amplifier are provided to embody an optical device and an optical amplifier of low loss by adding an effective element to an optical waveguide. CONSTITUTION: The method includes four steps. The first step is to form a buffering layer(402) to a predetermined thickness as a lower clad layer using a Flame Hydrolysis Deposition(FHD) on a silicon substrate(401), and form a predetermined thickness or more core layer(403) having a predetermined difference of refractive index as an optical waveguide on the buffering layer via high densification using an Aerosol Flame Deposition(AFD). The second step is to form a predetermined thickness or more Cr or Al film on the core layer via a thermal deposition and then form a waveguide pattern via photolithography. The third step is to leave only the waveguide pattern protected by the Cr or Al film via a dry or wet etch, perform a relief etch to the core layer using an Ion Coupled Plasma(ICP) etch to form a signal light transmitting line(404) which is a waveguide having a constant size capable of transmitting an optical signal, and remove the Al or Cr film used as a protecting film. The fourth step is to form an upper clad layer(405) on the exposed buffering layer and the signal light transmitting line.
Abstract translation: 目的:提供一种平面波导型的光学装置和用于制造光放大器的方法,通过向光波导添加有效元件来实现低损耗的光学装置和光放大器。 规定:该方法包括四个步骤。 第一步是在硅衬底(401)上使用火焰水解沉积(FHD)形成预定厚度的作为下包层的缓冲层(402),并且形成预定厚度或更多的芯层(403),其具有 通过使用气溶胶火焰沉积(AFD)的高致密度,在缓冲层上作为光波导的预定折射率差。 第二步是通过热沉积在芯层上形成预定厚度或更多的Cr或Al膜,然后通过光刻形成波导图案。 第三步是仅通过干蚀刻或湿蚀刻仅留下由Cr或Al膜保护的波导图案,使用离子耦合等离子体(ICP)蚀刻对芯层进行浮雕蚀刻,以形成信号光传输线(404 ),其是具有能够透射光信号的恒定尺寸的波导,并且去除用作保护膜的Al或Cr膜。 第四步骤是在暴露的缓冲层和信号光传输线上形成上覆层(405)。
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公开(公告)号:KR1020000025626A
公开(公告)日:2000-05-06
申请号:KR1019980042782
申请日:1998-10-13
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: G02F1/39
Abstract: PURPOSE: A device and method is provided to be applied to variety of optical devices like WDM and laser by using an eribum doped planar amplifier to reduce transfer loss and contact loss with optical fibers. CONSTITUTION: A device comprises an erbium doped core layer(ED), an erbium-undoped core layer(UD), an inputting element(1) a WDM coupler(2), a wave guide(3), a wave length separator(4), an anti-reflective angled wave guide(5), a lower clad layer(10), and an upper clad layer(12). A method comprises a step of forming the ER-undoped core layer on the lower clad layer; a step of forming defining the optical amplifier area by selectively etching the ER-undoped core layer; and a step of forming the ER-doped core layer at the optical amplifier area. The method further comprises a step of forming the wave guide at the optical amplifier area between the input part and the output part and a step of forming the upper clad layer at the whole structure.
Abstract translation: 目的:通过使用磨耗掺杂的平面放大器来减少传输损耗和光纤接触损耗,提供了一种器件和方法应用于各种光器件如WDM和激光器。 构成:器件包括掺铒核心层(ED),铒未掺杂核心层(UD),输入元件(1),WDM耦合器(2),波导(3),波长分离器(4) ),防反射角度波导(5),下包层(10)和上包层(12)。 一种方法包括在下包层上形成未掺杂的ER层的步骤; 通过选择性地蚀刻所述ER未掺杂的芯层来形成所述光放大器区域的步骤; 以及在光放大器区域形成ER掺杂核心层的步骤。 该方法还包括在输入部分和输出部分之间的光学放大器区域处形成波导的步骤,以及在整个结构处形成上部包层的步骤。
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公开(公告)号:KR1019980022176A
公开(公告)日:1998-07-06
申请号:KR1019960041261
申请日:1996-09-20
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L21/20
Abstract: 광 도파로 및 평면형 수동 광소자 제작을 위하여 필요한 실리카 후막을 산화물 입자를 이용하여 형성하는 방법이 개시된다. 본 발명은 SiO
2 가 주성분이고 굴절률 변화와 조밀화 공정의 온도 저하를 위한 산화물을 정량화하여 섞은 후에, 유기물 결합제, 분산제 또는 소포제와 같은 첨가제를 균일한 조성이 되도록 진공하에서 충분히 교반시킨 후, 닥터 블레이드 테이프 캐스팅법을 이용하여 원하는 두께의 실리카막을 Si 기판상에 도포한다. 소정 온도와 분위기에서 조밀화 공정을 수행하여 치밀한 실리카 후막을 형성한다. 본 발명에 따르면, 복잡하며 고가인 별도의 장비 없이 산화물 입자를 이용하여 경제적이며 대량 생산에 적합한 광 도파로용 실리카 후막을 제작할 수 있다.-
公开(公告)号:KR1019970048650A
公开(公告)日:1997-07-29
申请号:KR1019950049257
申请日:1995-12-13
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: G02B6/10
Abstract: 본 발명은 광통신에 사용되는 수동부품을 별도의 기판위에 도파로를 형성하여 광신호의 흐름을 구성하고 광회로를 구현하는 유리막을 용이하게 형성하기 위한 실리카 미립자의 저온 고밀화 공정 및 그 장치에 관한 것으로 통상 화염가수분해법은 광섬유의 제조법인 VAD법에서 파생된 방법으로 상압, 고온의 토치내에 원료를 반응시켜 산화물 미립자를 형성하여 열처리로 고밀화된 유리막을 얻는 방법으로서 종래의 방법은 화염온도가 1200∼1250℃의 고온토치반응이라는 점과 미립자의 녹임공정온도가 1250∼1380℃로 높은 이유 때문에 발생하는 복굴절, 균열등의 문제가 완전히 배제되지 못하며 또한 동일한 고밀화 공정온도에서 점도의 조절이 용이하지 않아 오버 클래드막 증착후 평탄성이 열악한 문제가 있었다.
이와 같은 문제점을 해소하기 위하여 안출된 본 발명은 양질의 유리막을 형성하여 광부품의 손실을 근본적으로 개선하고 향후 광통신에서 사용될 각종 광부품의 질적향상을 위하여 고밀화 공정 최적화를 위한 공정방법 및 시스템으로서 실리콘기판과 유리막의 열팽창 계수의 차이에 따른 복굴절, 균열등의 문제를 해소하고 실리콘, 석영등의 기판위에 광회로를 구성하여 극저손실의 광수동부품을 제조할 수 있도록 FHD(화염 가수분해 증착)법을 이용하여 실리콘 기판위에 저손실의 실리카 도파로를 제조하기 위한 입자상의 실리카를 용융, 균일화하는 것이다.
본 발명은 저온화염으로 형성된 실리카 미립자의 고밀화를 기존의 방법보다 저온에서 공정하여 복굴절, 균열등의 문제를 감소시켜 FHD방법에서 가장 문제시 되는 기판의 크기를 증가시킬 수 있고, 또한 기존의 수평형으로 사용되던 고밀화 전기로를 수직형으로 설계하여 고온에서 석영 튜브의 휨현상을 제거 하였으며 좁은 가열 영역에서도 대량의 기판을 공정할 수 있게 함을 특징으로 하는 것임.-
公开(公告)号:KR1019960014955A
公开(公告)日:1996-05-22
申请号:KR1019940027302
申请日:1994-10-25
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: G01R31/28
Abstract: 본 발명은 디지탈 회로의 기판으로 사용되는 PCB설계시 배선간의 누화상태를 점검하기 위한 PCB의 누와 시험장치에 관한 것으로 특히, 검사대상인 PCB의 핀홀 또는 비아홀에 펄스신호를 직접 전송하기 위한 신호 송출봉과 와이어로 접속되며 제어신호에 의하여 단안정 펄스신호를 발생시킬 수 있는 신호 발생수단과, 개별적으로 와이어를 통하여 접속된 다수개의 누화수신봉이 접속되어 있는 배선에서 입력되는 신호가 사전에 설정된 한계치를 넘는 누화신호인가를 판별하는 다수개의 누화 검출수단 및 상기 다수개의 누와 검출수단에서 출력되는 검사신호를 입력받아 사전에 설정된 문턱값을 넘는 누화가 수신된 누화수신봉과 누화의 성격(극성)을 표시하는 표시수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 단안정 펄스 래치를 사용한 디지탈 PCB의 누화 시험장 를 제공하여 복합한 디지틀회로의 PCB중에서 오동작 요인이 되는 누화레벨이 특정 문턱값을 넘는 누화원인선과 피누화선 및 누화의 개략적인 성격을 신속히 구명해낼 수 있으므로 누화검사시 작업의 효율이 상승하며 검사의 신뢰도를 높일 수 있다는 효과가 있다.
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公开(公告)号:KR101871799B1
公开(公告)日:2018-06-29
申请号:KR1020110118089
申请日:2011-11-14
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: G02B6/42
CPC classification number: G02B6/4201 , H03F3/24 , H04B2001/0408
Abstract: 본발명은송신용광 모듈에관한것이다. 본발명의실시예에의한송신용광 모듈은송신용광 어셈블리구조를가지며, 광신호를발생하는제 1 패키지, 상기제 1 패키지와칩투칩본딩(chip-to-chip bonding)에의하여결합되며, 실리카광 회로플랫폼구조를가지고, 상기광 신호를증폭하는제 2 패키지및 상기제 1 패키지로부터상기제 2 패키지로상기광 신호의전송통로를형성하는광 도파로를포함한다. 본발명의실시예에따른송신용광 모듈은고속동작및 고출력특징을가지면서도초소형으로제작될수 있다. 따라서가입자는효율적으로서비스를전달받을수 있다.
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公开(公告)号:KR101729179B1
公开(公告)日:2017-05-11
申请号:KR1020120134665
申请日:2012-11-26
Applicant: 한국전자통신연구원
CPC classification number: H05K1/0251 , H05K1/0219 , H05K1/0221 , H05K1/141 , H05K1/142 , H05K1/144 , H05K1/145 , H05K1/181 , H05K2201/09236 , H05K2201/09618 , H05K2201/09727 , H05K2201/10121
Abstract: 본발명은광송수신인쇄회로기판들의배선연결구조및 그를갖는광송수신모듈을개시한다. 그의모듈은광송수신부, 광신호처리부, 연성인쇄회로기판, 평판인쇄회로기판을포함할수 있다. 연성인쇄회로기판은제 1 신호선을가질수 있다. 평판인쇄회로기판은제 2 신호선을가질수 있다. 연성인쇄회로기판과평판인쇄회로기판은서로중첩될수 있다. 제 1 신호선과제 2 신호선은서로중첩되지않고, 접합솔더링에의해전기적으로연결될수 있다. 중첩되지않은제 1 신호선과제 2 신호선은종래의중첩된전송선로들보다낮은커패시턴스와인턱턴스를가질수 있어양질의고주파신호를전송할수 있다
Abstract translation: 本发明公开了具有该布线连接结构的光发送/接收PCB和光发送/接收模块的布线连接结构。 该模块可以包括光发射/接收单元,光信号处理单元,柔性印刷电路板和扁平印刷电路板。 柔性印刷电路板可以具有第一信号线。 平板印刷电路板可以具有第二信号线。 柔性印刷电路板和扁平印刷电路板可以彼此重叠。 第一信号线任务2信号线彼此不重叠并且可以通过焊接焊接电连接。 不重叠的第一信号线任务2信号线可以具有比常规叠加传输线更低的电容滞后,并且可以传输高质量的高频信号
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公开(公告)号:KR1020140131747A
公开(公告)日:2014-11-14
申请号:KR1020130050737
申请日:2013-05-06
IPC: H04B10/40
CPC classification number: H04B10/2575 , H01L24/48 , H01L24/49 , H01L2224/48137 , H01L2924/00014 , H01L2924/19107 , H01S5/02212 , H01S5/02236 , H01S5/02244 , H01S5/02256 , H01S5/02276 , H01S5/02415 , H01S5/02453 , H01S5/0427 , H01L2224/45099 , H01L2224/45015 , H01L2924/207
Abstract: The present invention provides a TO-CAN optical module and an optical communication device having the TO-CAN optical module. The optical module comprises a stem; a thermoelectric cooling element within the stem; a first sub-mount on the thermoelectric cooling element; an optical element on the first sub-mount; a plurality of electrode lead wires incoming from the outside to the inside of the stem and arranged adjacent to the thermoelectric cooling element and the optical element; a second sub-mount between the electrode lead wires and the optical element; high frequency transmission line wires on the second sub-mount; a plurality of bonding wires connecting the high frequency transmission line wires to the optical element and connecting the high frequency transmission line wires to the electrode lead wires; and an impedance matching part arranged around the high frequency transmission line wires and the electrode lead wires and controlling the impedance of the high frequency transmission line wires and the electrode lead wires.
Abstract translation: 本发明提供一种具有TO-CAN光模块的TO-CAN光模块和光通信装置。 光学模块包括杆; 茎内的热电冷却元件; 热电冷却元件上的第一子座; 第一子安装座上的光学元件; 多个电极引线从所述杆的外部进入内部并且布置成与所述热电冷却元件和所述光学元件相邻; 电极引线和光学元件之间的第二子安装件; 第二子座上的高频传输线; 将高频传输线路连接到光学元件并将高频传输线路线连接到电极引线的多条接合线; 以及阻抗匹配部,其布置在所述高频传输线和所述电极引线周围,并且控制所述高频传输线和所述电极引线的阻抗。
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