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公开(公告)号：KR100820182B1
公开(公告)日：2008-04-08
申请号：KR1020070054562
申请日：2007-06-04
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L21/027 , B82Y40/00
CPC classification number: G03F7/0002 , B81C1/0046 , B82Y40/00 , H01L21/02603 , Y10S977/887
Abstract: A method for fabricating a nano wire device using nano imprinting lithography is provided to reduce an interval of fabrication time of a nano wire device by forming a pattern only once. An insulation layer(20) is formed on a substrate(10). A nano wire solution including a nano wire(60) is deposited on the insulation layer wherein a plurality of nano wires and an organic solvent can be mixed in the nano wire solution. Photoresist is formed on the resultant structure. The photoresist is stamped by using a nano imprinting stamp having a pattern of a nano size. A metal layer for a metal electrode is deposited on the stamped photoresist. The photoresist remaining on the insulation layer is removed by a lift-off process.
Abstract translation: 提供使用纳米压印光刻制造纳米线器件的方法，通过仅形成一次图案来减少纳米线器件的制造时间的间隔。 绝缘层（20）形成在基板（10）上。 包括纳米线（60）的纳米线溶液沉积在绝缘层上，其中可以在纳米线溶液中混合多根纳米线和有机溶剂。 在所得结构上形成光刻胶。 通过使用具有纳米尺寸图案的纳米压印印模冲压光致抗蚀剂。 用于金属电极的金属层沉积在冲压的光致抗蚀剂上。 通过剥离工艺除去残留在绝缘层上的光致抗蚀剂。
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公开(公告)号：KR100670835B1
公开(公告)日：2007-01-19
申请号：KR1020060025683
申请日：2006-03-21
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L21/027 , B82Y40/00
CPC classification number: G03F7/0015 , B82Y40/00 , G03F7/0002 , G03F7/2059 , H01J37/3174 , Y10S977/887
Abstract: A method for fabricating a nano-imprint mold is provided to manufacture a quartz NIL(Nano-Imprint Lithography) mold by using a mold such as a silicon substrate. An E-beam resist is coated on a substrate and an E-beam resist pattern is formed on the first substrate by performing an E-beam lithography process(S200). A photoresist pattern is formed on the first substrate by performing a photo-lithography process(S300). A pattern is formed on the first substrate by using the E-beam resist pattern and the photoresist pattern(S400). A NIL mold is formed by printing the pattern of the first substrate on a second substrate for mold(S500,S600).
Abstract translation: 提供一种制造纳米压印模具的方法，以通过使用诸如硅衬底的模具制造石英NIL（Nano-Imprint Lithography）模具。 电子束抗蚀剂涂覆在基板上，并且通过执行电子束光刻工艺在第一基板上形成电子束抗蚀剂图案（S200）。 通过进行光刻工艺在第一衬底上形成光刻胶图案（S300）。 通过使用电子束抗蚀剂图案和光致抗蚀剂图案在第一基板上形成图案（S400）。 通过将第一基板的图案印刷在第二模具用基板（S500，S600）上而形成NIL模具。
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公开(公告)号：KR1020150081637A
公开(公告)日：2015-07-15
申请号：KR1020140001319
申请日：2014-01-06
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: G01N27/407
Abstract: 본발명은고체전해질전기화학식가스센서를제공한다. 이고체전해질전기화학식가스센서는고체전해질, 상기고체전해질상에제공된감지물질, 상기고체전해질상에제공된, 그리고상기감지물질과이격된기준물질, 상기고체전해질상에제공되고, 상기감지물질을감싸는보조감지물질, 및상기고체전해질상에제공되고, 상기기준물질을감싸는보조기준물질을포함할수 있다.
Abstract translation: 本发明提供一种基于固体电解质的电化学气体传感器。 基于固体电解质的电化学气体传感器包括：固体电解质; 设置在固体电解质上的传感材料; 设置在固体电解质上并与感测材料隔开的参考材料; 设置在固体电解质上并围绕感测材料的辅助感测材料; 以及设置在固体电解质上并围绕参考材料的辅助参考材料。
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公开(公告)号：KR1020150068735A
公开(公告)日：2015-06-22
申请号：KR1020130154748
申请日：2013-12-12
Applicant: 한국전자통신연구원
Abstract: 본발명은가스측정장치에서가스측정시간을단축시킬수 있는가스측정방법에관한것이다. 본발명의가스측정방법은전원인가시점에근접한첫 번째안정화구간에서의안정화값을이용하여상대적으로긴 시간이소요되는두 번째안정화구간의안정화값을룩업테이블등을통해획득함으로써, 측정시간을감소시킬수 있다. 이와같이, 가스측정장치에서가스측정시간을감소시킴으로서전력소모를감소시키고, 유한한전원을갖는가스측정장치에서의동작시간을증가시킬수 있다.
Abstract translation: 本发明涉及能够减少气体测量装置中的气体测量时间的气体测量装置的气体测量方法。 根据本发明，用于测量气体的方法在与供电授权时间相邻的第一稳定部中使用稳定值，在需要较长时间的第二稳定部中获得稳定值，以便减少测量时间 。 因此，本发明可减少气体测量装置中的气体测量时间，从而降低功率消耗并增加具有有限电源的气体测量装置中的操作时间。
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公开(公告)号：KR1020150019310A
公开(公告)日：2015-02-25
申请号：KR1020130096015
申请日：2013-08-13
Applicant: 한국전자통신연구원 , 부산대학교 산학협력단
CPC classification number: H01L21/02565 , G01N27/127 , H01L21/02425 , H01L21/02601 , H01L21/02628 , Y10T428/2991 , Y10T428/2993
Abstract: The present invention relates to a core-shell nanoparticle, a manufacturing method thereof, and a gas sensor using the same and, more specifically, to a core-shell nanoparticle comprising: a core consisting of a first metal oxide; and a shell consisting of a second metal oxide, wherein the first metal oxide and the second metal oxide have different oxidation state and are the oxides of same metal, a manufacturing method of the core-shell nanoparticle, and a gas sensor using the same. The present invention is capable of providing the gas sensor with excellent sensitivity and stability by using the core-shell nanoparticle.
Abstract translation: 本发明涉及核 - 壳纳米颗粒，其制造方法和使用其的气体传感器，更具体地，涉及一种核 - 壳纳米颗粒，其包含：由第一金属氧化物构成的芯; 以及由第二金属氧化物构成的壳体，其中，所述第一金属氧化物和所述第二金属氧化物具有不同的氧化态，并且是相同金属的氧化物，所述核 - 壳纳米粒子的制造方法以及使用所述氧化物的气体传感器。 本发明能够通过使用核 - 壳纳米颗粒来提供具有优异的灵敏度和稳定性的气体传感器。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101069209B1
公开(公告)日：2011-09-30
申请号：KR1020080131534
申请日：2008-12-22
CPC classification number: H04N2013/0081
Abstract: 본 발명은 평행축 방식의 입체 카메라에서 자동으로 주시각을 제어할 수 있는 장치 및 방법에 관한 것이다. 본 발명의 주시각 제어 장치는 렌즈와 영상 센서를 각각 구비하는 좌우 카메라를 포함하는 입체 카메라부와, 초점 거리에 따른 주시각 제어값이 포함된 룩업 테이블을 저장하는 메모리와, 자동 초점 기능에 의해 특정 물체에 대한 초점 거리를 검출하는 초점 거리 검출부와, 상기 좌우 카메라의 초점 거리가 결정되면, 상기 룩업 테이블을 통해 상기 초점 거리에 따른 주시각 제어값을 결정하는 주시각 제어부와, 상기 결정된 주시각 제어값에 따라 상기 좌우 카메라의 영상을 보정하는 영상 처리부와, 상기 보정된 영상을 표시하는 표시부를 포함함을 특징으로 한다.
입체 카메라, 평행축 방식, 주시각 제어, 영상 센서-
公开(公告)号：KR101062287B1
公开(公告)日：2011-09-06
申请号：KR1020080129673
申请日：2008-12-18
Applicant: 한국전자통신연구원
Abstract: 본 발명은 고속 고분자 구동기 제작을 위한 고분자막의 표면 전처리 방법에 관한 것으로, 해당 고분자막에 대하여 최적의 섀도 마스크 패턴과 플라즈마 처리 시간을 결정하여 표면이 균일하게 되도록 표면 처리함으로써, 고분자막의 표면에 금속 전극을 흡착시킬 때 고분자막의 표면과 금속 전극의 흡착력이 향상되어 고분자막의 팽창과 수축이 쉽게 이루어지므로, 반응속도가 빠르며 고변위를 갖는 고분자 구동기를 제조할 수 있다.
이온성 고분자 금속 복합물, 비등방 플라즈마 처리, 섀도 마스크, 고속-
公开(公告)号：KR1020110037055A
公开(公告)日：2011-04-13
申请号：KR1020090094306
申请日：2009-10-05
Applicant: 한국전자통신연구원
CPC classification number: C08K3/04 , C08J3/07 , C08K3/08 , C08K2201/01 , C08K2201/011 , C08L27/12
Abstract: PURPOSE: A carbon nanoparticles-polymer composite is provided to obtain a polymer film or patterns with different electric and mechanical properties by causing a concentration gradient of carbon nano-particles in the same thin film. CONSTITUTION: A method for preparing a carbon nanoparticles-polymer composite comprises the steps of: mixing a carbon nano-particle dispersion with a polymer solution to prepare a composite formation solution, wherein the carbon nano-particle dispersion includes nano metal with magnetism; arranging or maldistributing the carbon nano-particles by applying magnetic field to the composite formation solution; and polymerizing or drying the composite formation solution.
Abstract translation: 目的：提供碳纳米粒子 - 聚合物复合材料，通过在同一薄膜中引起碳纳米颗粒的浓度梯度，获得具有不同电学和机械性能的聚合物膜或图案。 构成：制备碳纳米颗粒 - 聚合物复合材料的方法包括以下步骤：将碳纳米颗粒分散体与聚合物溶液混合以制备复合形成溶液，其中所述碳纳米颗粒分散体包括具有磁性的纳米金属; 通过对复合地层溶液施加磁场来排列或分布碳纳米颗粒; 并使复合地层溶液聚合或干燥。
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公开(公告)号：KR100924772B1
公开(公告)日：2009-11-05
申请号：KR1020070113105
申请日：2007-11-07
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L41/08 , H01L21/027 , H01L21/288
Abstract: 본 발명은 고속 고분자 구동기의 제조방법 및 이로부터 얻은 고속 고분자 구동기에 관한 것으로, 플라즈마 처리 공정을 이용하여 이온 전도성 고분자막의 표면이 균일하게 되도록 표면 처리함으로써, 기존의 샌드 블라스팅(sand blasting), 샌드 페이퍼(sand paper) 등의 표면 처리를 거쳐 제작된 고분자 구동기보다 균일한 표면을 갖게 되어 고분자막의 팽창과 수축이 쉽게 이루어지므로, 이에 따라 반응속도가 빠르며 고변위를 갖는 고분자 구동기를 제조할 수 있다.
플라즈마 처리, 고분자 구동기, 고속, 고변위-
公开(公告)号：KR100917233B1
公开(公告)日：2009-09-16
申请号：KR1020070074830
申请日：2007-07-26
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L41/08
CPC classification number: F03G7/005 , F05B2230/90 , Y10T29/49005 , Y10T29/49078 , Y10T29/49171 , Y10T29/49172 , Y10T428/31544 , Y10T428/31678
Abstract: 본 발명은 표면 코팅된 고분자 구동기 및 그의 제조방법에 관한 것으로, 상기 표면 코팅된 고분자 구동기는 이온 전도성 고분자막; 상기 이온 전도성 고분자막의 양면에 형성된 금속전극; 및 상기 각각의 금속전극 상에 형성된 코팅층을 포함한다.
고분자 구동기의 금속전극 표면을 코팅함에 따라서, 구동기 작동시 전기 자극에 의한 용매 이동에 의해 발생되는 내부 압력에 의해 전극 표면으로 용매가 누출되는 현상을 방지할 수 있으며, 따라서 고분자 구동기의 변위 및 구동력을 개선시킬 수 있다.
고분자 구동기, 표면 코팅, 변위, 구동력, 내구성
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