公开(公告)号：KR1020060061629A

公开(公告)日：2006-06-08

申请号：KR1020040100423

申请日：2004-12-02

Applicant: 한국전자통신연구원 ,  한국표준과학연구원

Inventor： 조성목 ,  김용준 ,  김용신 ,  양윤석 ,  하승철 ,  표현봉 ,  최창억 ,  허귀석

IPC: G01N1/40

Abstract: 본 발명은 가스센서의 감지성능 한계를 극복하기 위한 시료 사전 농축장치로서, 시료 농축 기능 및 수분을 제거하는 기능을 동시에 하는 시료 농축 장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 시료 농축 장치는 시료 농축과 1차 수분 제거의 기능을 하는 시료농축부와 탈착 가스에서 수분의 완전한 제거를 행하는 수분제거부를 구비한 2단계 시료 농축 장치로 구성된다. 본 발명에 따른 시료 농축 장치는 물의 재현성 있고 거의 완전한 제거가 가능하여 향후 전자코를 이용한 인체 진단, 대기 오염 분석 등 수분이 문제가 되는 고감도 측정에 적용될 수 있다.
전자코, 가스센서, 시료 농축 장치, 수분

公开(公告)号：KR1020060022739A

公开(公告)日：2006-03-13

申请号：KR1020040071085

申请日：2004-09-07

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 박덕근 ,  강성원 ,  최창억 ,  황정환 ,  김진경 ,  성진봉 ,  형창희

IPC: H04B7/26 ,  H04B7/24 ,  H04B7/00

CPC classification number: H04B13/005 ,  H04B1/401 ,  H04B1/44

Abstract: 본 발명은 인체를 매질로 이용한 통신장치 및 그 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 기설정된 기준치에 따라 분리된 적어도 두 개의 서로 다른 주파수채널을 통해 보안/일반 데이터신호를 각각 인체의 내/외부로 송/수신함으로써, 채널의 물리적 특성에 따라 주파수를 효율적으로 사용할 수 있으며, 데이터의 전송 속도를 향상시킴과 동시에 보안성을 유지할 수 있는 효과가 있다.
인체, 매질, 통신장치, 수신모듈부, 송신모듈부, 보안 주파수채널, 일반 주파수채널, 암호

公开(公告)号：KR100530773B1

公开(公告)日：2005-11-23

申请号：KR1019990061235

申请日：1999-12-23

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 전치훈 ,  최창억 ,  김윤태

IPC: H01L21/764

Abstract: 본 발명은 반도체 소자 제조 방법에 관한 것으로, 특히 진공 캐비티(vacuum cavity) 미세구조체(microstructure) 형성 방법에 관한 것이며, 실리콘 기판의 오염없이 그 표면에 다양한 크기와 깊이의 진공 캐비티를 형성할 수 있는 진공 캐비티 미세구조체 형성 방법을 제공하는데 그 목적이 있다. 본 발명의 특징적인 진공 캐비티 미세구조체 형성방법은, 실리콘 기판의 예정된 캐비티 형성 영역에 복수의 트렌치를 형성하는 단계; 상기 캐비티 형성 영역의 트렌치 구조를 선택적으로 열산화시키되, 형성된 열산화막 내에 식각제의 침투를 용이하게 하기 위한 복수의 미세기공부가 형성되도록 하는 단계; 상기 트렌치 구조의 상부를 덮는 희생산화막 패턴을 형성하는 단계; 상기 희생산화막 패턴이 형성된 전체 구조 상부에 캐비티의 상부를 차폐할 멤브레인을 형성하기 위한 멤브레인 모재용 물질막을 증착하는 단계; 상기 멤브레인 모재용 물질막을 선택 식각하여 상기 희생산화막 패턴의 가장자리의 일부를 노출시키는 단계; 노출된 상기 희생산화막 패턴의 모서리 부분을 식각 개시점으로 하여 상기 희생산화막 패턴 및 상기 열산화막을 제거하여 상기 캐비티를 형성하는 단계; 및 상기 캐비티가 형성된 전체 구조 상부에 진공 분위기에서 밀봉재용 물질막을 형성하여 상기 멤브레인과 밀봉재로 차폐된 진공 캐비티를 형성하는 단계를 포함하여 이루어진다.

公开(公告)号：KR100489801B1

公开(公告)日：2005-05-16

申请号：KR1020020078443

申请日：2002-12-10

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 최창억 ,  이명래 ,  김창규 ,  전치훈 ,  김윤태

IPC: G02B5/20

CPC classification number: G02B26/001 ,  G01J3/26 ,  G02B5/0833 ,  G02B6/29361 ,  G02B6/29389 ,  G02B6/29395

Abstract: 본 발명은 패브리-패럿 구조의 능동형 파장가변 광 필터에 관한 것이다. 본 발명은, 실리콘막 및 산화막이 순차적으로 다층 적층되고 최상부에 실리콘막이 적층된 형태의 하부 거울과, 상기 하부 거울과 소정 거리 이격되어 실리콘막 및 산화막이 순차적으로 다층 적층되고 최상부에 실리콘막이 적층된 형태의 상부 거울과, 상기 하부 거울 및 상기 상부 거울을 반도체 기판에 연결하여 지지하기 위한 연결 수단 및 상기 하부 거울 및 상기 상부 거울 사이의 간극을 정전력으로 제어하기 위한 전극패드를 포함하는 파장가변 광 필터 및 그 제조방법을 제공한다. 본 발명에 의하면, 실리콘막 및 산화막의 다층 구조로 이루어진 상부 및 하부 거울을 정전력에 의하여 미소하게 구동함으로써 입사광에 대한 투과광 파장을 선택적으로 송출할 수가 있다.

公开(公告)号：KR100469062B1

公开(公告)日：2005-02-02

申请号：KR1020020047763

申请日：2002-08-13

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 하두영 ,  류호준 ,  최창억 ,  전치훈 ,  김윤태

IPC: G02B26/08

CPC classification number: G02B6/3518 ,  G02B6/3556 ,  G02B6/357 ,  G02B6/3584 ,  G02B26/0841 ,  Y10S359/90

Abstract: The present invention relates to a scanning micromirror for optical communications. The scanning micromirror comprises an outer frame having an aperture therein, an inner frame located within the aperture of the outer frame and having an aperture therein, an optical reflecting means located within the aperture of the inner frame, a plurality of first torsion springs connected between an inner wall of the outer frame and an outer wall of the inner frame, for supporting the inner frame, a plurality of second torsion springs connected between the inner wall of the inner frame and the optical reflecting means, for supporting the optical reflecting means, first comb-type electrostatic actuators for applying electrostatic torque by which the inner frame is rotated about an axis of the first torsion springs, and second comb-type electrostatic actuators for applying electrostatic torque by which the optical reflecting means is rotated about an axis of the second torsion springs. Therefore, as the present invention uses vertical comb-type electrostatic actuators, an available rotation angle can be made large compared to a conventional case using a parallel-plate type electrostatic actuator. As the vertical asymmetry of the fixed combs and the movable combs are large, a large rotation angle can be obtained in non-resonant mode as well as resonant mode.

Abstract translation: 用于光通信的扫描微反射镜 扫描微镜包括其中具有孔的外框架，位于外框架的孔内并在其中具有孔的内框架，位于内框架的孔内的光学反射装置，连接在第一扭转弹簧和第二扭转弹簧之间的多个第一扭转弹簧， 外框架的内壁和内框架的外壁，用于支撑内框架;多个第二扭簧，连接在内框架的内壁和光反射装置之间，用于支撑光反射装置， 用于施加静电转矩的第一梳形静电致动器，通过该静电转矩使内框围绕第一扭转弹簧的轴线旋转;以及第二梳形静电致动器，用于施加静电转矩，通过该静电转矩使光学反射装置围绕 第二个扭力弹簧。 因此，由于本发明使用垂直梳状静电致动器，所以与使用平行板型静电致动器的传统情况相比，可用的旋转角度可以较大。 由于固定梳和可动梳的垂直不对称性很大，所以在非谐振模式和谐振模式下可以获得大的旋转角度。

公开(公告)号：KR1020040042989A

公开(公告)日：2004-05-22

申请号：KR1020020070965

申请日：2002-11-15

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 김창규 ,  이명래 ,  전치훈 ,  최창억 ,  김윤태

IPC: G02B26/02

CPC classification number: G02B6/352 ,  G02B6/266 ,  G02B6/29358 ,  G02B6/29389 ,  G02B6/29395 ,  G02B6/3514 ,  G02B6/3552 ,  G02B6/356 ,  G02B6/357 ,  G02B6/3572 ,  G02B6/3576 ,  G02B6/3578 ,  G02B6/3594

Abstract: PURPOSE: A variable attenuator capable of controlling a wavelength dependency is provided to overcome the alignment problem as well as to remove the insertion loss generated during the integration of the wavelength selection filter and the optical attenuator. CONSTITUTION: A variable attenuator capable of controlling a wavelength dependency includes at least two reflecting mirrors(13,14) and a plurality of driving units(15,16). The reflecting mirrors(13,14) are installed in the middle of the optical waveguide or the optical fiber(11,12) and are arranged in parallel to each other with inclining at a predetermined angle with respect to an optical axis. And, each of the plurality of driving units(15,16) is connected to the reflecting mirrors(13,14) and is capable of rotatably driving the reflecting mirrors(13,14) with respect to the vertical or horizontal axis.

Abstract translation: 目的：提供一种能够控制波长依赖性的可变衰减器，以克服对准问题，并消除在波长选择滤波器和光衰减器的积分期间产生的插入损耗。 构成：能够控制波长依赖性的可变衰减器包括至少两个反射镜（13,14）和多个驱动单元（15,16）。 反射镜（13,14）安装在光波导或光纤（11,12）的中间，并且相对于光轴以预定角度倾斜地彼此平行地布置。 并且，多个驱动单元（15,16）中的每一个连接到反射镜（13,14），并且能够相对于垂直轴或水平轴可旋转地驱动反射镜（13,14）。

公开(公告)号：KR1020030096716A

公开(公告)日：2003-12-31

申请号：KR1020020033720

申请日：2002-06-17

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 정문연 ,  전치훈 ,  최창억

IPC: G02B26/08

Abstract: PURPOSE: An optical signal switch array for optical communication is provided to drive easily a reflection mirror by arranging a digital switch type reflection mirror between an optical signal input part and an optical signal output part. CONSTITUTION: An optical signal switch array for optical communication includes an optical signal input part(100), a switching array part(200), and an optical signal output part(300). The optical signal input part(100) includes a plurality of optical signal transferring grooves having the predetermined stepped parts and a plurality of optical fibers located on the optical signal transferring grooves. A plurality of digital switch type reflection mirrors are arranged in matrix on a gradient surface of the switching array part(200) in order to control the optical signals by changing the direction of the optical signals of the optical signal input part(100). The optical signal output part(300) receives and outputs the reflected optical signals of the switching array part(200).

Abstract translation: 目的：提供一种用于光通信的光信号开关阵列，通过在光信号输入部分和光信号输出部分之间布置数字开关型反射镜，容易地驱动反射镜。 构成：用于光通信的光信号开关阵列包括光信号输入部分（100），开关阵列部分（200）和光信号输出部分（300）。 光信号输入部分（100）包括具有预定阶梯部分的多个光信号传送槽和位于光信号传送槽上的多个光纤。 为了通过改变光信号输入部分（100）的光信号的方向来控制光信号，多个数字开关型反射镜被矩阵地布置在开关阵列部分（210）的梯度表面上。 光信号输出部（300）接收并输出开关阵列部（200）的反射光信号。

公开(公告)号：KR1020030070954A

公开(公告)日：2003-09-03

申请号：KR1020020010426

申请日：2002-02-27

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 장원익 ,  최창억 ,  전치훈 ,  김윤태

IPC: B81C1/00

CPC classification number: B81B3/0018 ,  B81B3/0035 ,  B81B2201/036 ,  B81C1/00134 ,  B81C1/00349

Abstract: PURPOSE: A micro pump and a manufacturing method thereof are provided to allow for a mass production and reduction of manufacturing costs, while permitting silicon semiconductor elements to be integrated on a single chip. CONSTITUTION: A micro pump comprises a lower substrate(100); a heat generating layer formed into a predetermined pattern on the lower substrate so as to generate a heat and control the pressure of the fluid; a cavity(170) formed on the heat generating layer; membranes(140,150,160) formed on the cavity in such a manner that the membranes expand by the heat generated from the heat generating layer; a fluid transfer path(230) including the membranes and an upper substrate as a boundary; and the upper substrate which is patterned to form the boundary of the fluid transfer path. The membranes expands by heating a certain part of the heat generating layer formed beneath a fluid outlet port(310), and the fluid is transferred by using expansions of the membranes.

Abstract translation: 目的：提供微型泵及其制造方法，以允许大量生产和降低制造成本，同时允许将硅半导体元件集成在单个芯片上。 构成：微泵包括下基板（100）; 在下基板上形成为预定图案的发热层，以产生热量并控制流体的压力; 形成在所述发热层上的空腔（170） 在空腔上形成的膜（140,150,160）以使得膜由发热层产生的热量膨胀; 包括所述膜和作为边界的上基板的流体传送路径（230） 以及图案化以形成流体传送路径的边界的上基板。 膜通过加热形成在流体出口（310）下方的发热层的某一部分而膨胀，并且通过使用膜的膨胀来转移流体。

公开(公告)号：KR1020030055485A

公开(公告)日：2003-07-04

申请号：KR1020010085040

申请日：2001-12-26

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 최창억 ,  이명래 ,  장원익 ,  류호준 ,  정문연 ,  전치훈 ,  김윤태

IPC: G02B26/08

Abstract: PURPOSE: A method for fabricating a buried inductor magnetically-induced optical switch is provided wherein it is easy and simple to process and assemble a substrate without assembling a number of substrates and optical components. CONSTITUTION: According to the method for fabricating an optical switch which changes a light path by being aligned vertically on a substrate(100) supporting a mirror(300) by a magnetic force of an inductor, a groove(210) where a mirror pocket(200) and the inductor are to be buried is formed on the substrate by etching a back of the substrate. The inductor wound with coil in parallel with the substrate is buried into the groove. Then, the mirror aligned to the mirror pocket and a torsion bar(110) supporting the mirror are formed in a body, by processing a front surface of the substrate, and then the mirror pocket is opened completely.

Abstract translation: 目的：提供一种制造埋地电感器磁感应光开关的方法，其中在不组装多个基板和光学部件的情况下处理和组装基板是容易且简单的。 构成：根据用于制造光开关的方法，该光开关通过在电感器的磁力下在支撑反射镜（300）的基板（100）上垂直取向而改变光路，其中凹槽（210） 200），并且通过蚀刻衬底的背面而在衬底上形成电感器。 缠绕有与基板平行的线圈的电感器被埋入槽中。 然后，通过处理基板的前表面，在主体中形成与镜子凹穴对准的反射镜和支撑反射镜的扭杆（110），然后完全打开反射镜腔。

公开(公告)号：KR100388499B1

公开(公告)日：2003-06-25

申请号：KR1020000080716

申请日：2000-12-22

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 이명래 ,  장원익 ,  최창억 ,  김윤태

IPC: G02B5/20

CPC classification number: G02B6/3584 ,  G02B6/29358 ,  G02B6/2938 ,  G02B6/29395 ,  G02B6/3512 ,  G02B6/356 ,  G02B6/357

Abstract: The disclosure concerns to an optical filter for use in an optical communication device such as a multiplexer and demultiplexer. The optical filter is a Fabry-Perot filter that is formed with a silicon substrate by using a silicon micromachining process and a silicon etching process. The optical filters are applied to various optical communication devices, such as multiplexer (MUX) or demultiplexer (DEMUX) In each of the optical communication devices, the optical filters are installed and integrated on the silicon substrate together with input/output optical fibers and collimating lenses, resulting in simplifying the manufacturing process thereof and, hence, in reducing the manufacturing cost thereof. Furthermore, each of the optical filters incorporates therein an actuator so as to be tunable (wavelength-selective) in the optical filtering function and to be capable of filtering more various wavelengths in a range.

Abstract translation: 本公开涉及用于诸如复用器和解复用器的光通信设备中的滤光器。 光学滤波器是通过使用硅微加工工艺和硅蚀刻工艺用硅基板形成的法布里 - 珀罗滤波器。 光滤波器适用于各种光通信设备，例如多路复用器（MUX）或多路分解器（DEMUX）。在每个光通信设备中，光滤波器与输入/输出光纤一起安装并集成在硅基板上并准直 从而简化了其制造过程，并因此降低了其制造成本。 此外，每个光学滤波器在其中结合有致动器，以便在光学滤波功能中可调谐（波长选择性），并且能够滤波一定范围内的更多不同波长。