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公开(公告)号：KR100997948B1
公开(公告)日：2010-12-02
申请号：KR1020080048027
申请日：2008-05-23
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: G01B11/00
Abstract: 본 발명은 스테이지미러(stage mirror)로 입사 및 반사되는 빛을 변화시키는 수단을 1/4파장판으로 구성하여, 빛의 세기가 감소되어 선명도(contrast)가 떨어지는 것을 방지한, 변위와 변각을 동시에 측정하는 장치에 관한 것이다.
이러한 본 발명의 변위와 변각을 동시에 측정하는 장치는 광원으로 조사된 빛 중 일부는 반사시키고, 일부는 투과시키는 광분할기와, 광분할기를 통과한 빛을 콜리메이티드 빔(collimated beam)으로 만들어 주는 렌즈와, 상기 렌즈를 통과한 빛 중 P-편광을 통과시키고 S-편광은 반사시키는 편광분할기와, 편광분할기를 통과한 빛을 반사시켜 다시 편광분할기로 보내는 스테이지미러와, 편광분할기에 의해 반사되면서 선편광이된 빛의 편광방향을 바꾸어 기준미러로 보내는 1/4파장판과, 상기 편광분할기를 투과한 P-편광과 S-편광 중 일측 편광만을 광검출기측으로 투과시키는 선편광기와, 상기 스테이지미러에 반사되어 되돌아오는 빛을 검출하는 광검출기를 포함하여 구성된 변위와 변각을 동시에 측정하는 장치에 있어서, 상기 편광분할기와 스테이지미러 사이에는 편광분할기를 통과한 빛의 편광 방향을 바꾸어주는 1/4파장판을 설치하여 구성됨을 특징으로 한다.
간섭계, 오토콜리메이터, 1/4파장판-
公开(公告)号：KR100941981B1
公开(公告)日：2010-02-11
申请号：KR1020070112788
申请日：2007-11-06
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 레이저 간섭계식 메코메타 및 이를 이용한 거리 측정 방법이 개시된다. 레이저 장치는 소정의 기간 동안 주파수가 일정하게 유지되는 빔을 주파수를 달리하며 방출하고, 방출된 빔 각각의 파장을 산출하여 출력한다. 광학 장치는 레이저 장치가 방출한 빔 각각을 변위광 및 기준광으로 분할하여 변위광을 측정대상물에 투사하고 측정대상물로부터 반사된 변위광과 기준광의 광경로 차이로 인한 간섭무늬를 각각 형성한다. 광검출수단은 광학 장치가 형성한 간섭무늬 각각을 검출한다. 거리산출부는 레이저 장치가 출력한 파장 및 광검출수단이 검출한 간섭무늬 각각을 기초로 상기 측정대상물의 거리를 산출한다. 본 발명에 의하면, 거리 측정에 사용되는 빔의 파장의 크기보다 미세한 크기의 거리까지 정확하게 산출하여 사용되는 빔의 파장의 크기의 한계로 나타나는 오차의 발생을 방지하고 고정밀도로 거리를 측정할 수 있으며, 측정대상물의 초기 위치에 대한 정보 없이도 측정대상물의 거리를 측정할 수 있다.
레이저, 메코메타, 파장, 주파수, 거리, 간섭무늬-
公开(公告)号：KR100925783B1
公开(公告)日：2009-11-11
申请号：KR1020070091213
申请日：2007-09-07
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: G01B11/2441
Abstract: 레이저 간섭계를 이용한 나노 형상 측정장치 및 그 방법이 개시된다. 복수의 레이저 장치는 각각 빔을 생성하고 생성된 빔 중에서 특정 주파수의 빔을 방출하며, 생성된 빔의 파장을 검출하기 위한 간섭신호를 출력한다. 제어부는 출력된 간섭신호로부터 생성된 빔의 파장을 검출하고 검출된 파장을 기초로 복수의 상기 레이저 장치를 제어한다. 광학 장치부는 피검체의 표면에 레이저 장치가 방출한 빔을 투사시켜 피검체의 간섭무늬를 생성한다. 복수의 셔터는 개폐되며 폐쇄된 경우에는 레이저 장치가 방출한 빔이 광학 장치부로 조사되는 것을 차단한다. 촬상부는 생성된 간섭무늬를 촬상한다. 본 발명에 따른 형상 측정장치 및 그 방법에 의하면, 안정된 주파수를 방출하는 복수개의 다채널 주파수 스캐닝 레이저 장치를 이용하여 광을 방출함으로 높이가 큰 피검체의 형상을 정확하고 정밀하게 측정할 수 있다. 또한 본 발명에 따른 형상 측정장치 및 그 방법은 기준면의 위치 이동을 요구하지 않으며, 이에 따라 기준면의 위치 이동으로 인한 시간 소요 및 오차 발생을 방지하여 피검체의 형상을 신속하고 정확하게 측정할 수 있다.
형상, 광, 파장, 간섭, 위상천이-
公开(公告)号：KR1020080110283A
公开(公告)日：2008-12-18
申请号：KR1020070058845
申请日：2007-06-15
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: A device for measuring thickness variation and a method thereof are provided to measure the thickness of a sample regardless of external noise in a manufacturing procedure. A beam splitter(20) passes some beams generated by a laser(10) and splits the others vertically. A reflection mirror(30) reflects the split beams in parallel to the passed beams. A first lens(40) condenses the reflected beams with an incident angle(theta) to a sample substrate together with the passed beams. A polarization beam splitter(50) re-reflects the beams which are reflected against both surfaces of the sample substrate. Optical detectors(61,62) detect the laser beams re-reflected by the polarization beam splitter respectively. A data analyzer(70) analyzes thickness variation and the increase or decrease of the thickness according to interference signals of the detected beams.
Abstract translation: 提供了用于测量厚度变化的装置及其方法，用于在制造过程中测量样品的厚度，而不管外部噪声如何。 分束器（20）通过由激光器（10）产生的一些光束并将另一个垂直分割。 反射镜（30）反射与所通过的光束平行的分束。 第一透镜（40）将反射光束与所通过的光束一起将入射角（θ）聚集到样品基板。 偏振分束器（50）重新反射反射到样品基板的两个表面的光束。 光检测器（61,62）分别检测由偏振光束分光器重新反射的激光束。 数据分析器（70）根据检测到的光束的干涉信号来分析厚度变化和厚度的增加或减少。
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公开(公告)号：KR1020150116332A
公开(公告)日：2015-10-15
申请号：KR1020140041462
申请日：2014-04-07
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: G01B11/06 , G01B9/02 , G01N21/45 , G01N2021/456
Abstract: 본발명은두께측정장치및 두께측정방법을제공한다. 이두께측정광학장치는복수의파장에서발진하는광대역레이저광원; 상기광대역레이저광원의출력광을제1 포트로제공받아제2 포트로제공하고제2 포트로제공받은광을제3 포트로출력하는광서큘레이터; 상기광서큘레이터의제2 포트로부터출력되는광의일부를투과시키고나머지를반사시키는광분할기; 및상기광분할기로부터제공된광을반사시키는미러를포함한다. 측정대상은상기광분할기와상기미러사이에배치되고, 상기측정대상은상기광분할기를투과한광의일부를반사시키고나머지를투과시키어상기미러에제공한다.
Abstract translation: 本发明提供一种厚度测量装置和厚度测量方法。 厚度测量光学装置包括以多个波长振荡的宽带激光光源; 在第一端口中接收宽带激光光源的光的循环器，将光提供给第二端口，并通过第三端口输出在第二端口中接收的光; 光分路器，其透过通过光循环器的第二端口输出的一些光，并反射其余的光; 以及反射从分光器供应的光的镜子。 在光分路器和反射镜之间设置测量对象。 测量对象反映了通过光分路器传输的一些光，透过其余的光，然后将光提供给镜子。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101533994B1
公开(公告)日：2015-07-07
申请号：KR1020130128738
申请日：2013-10-28
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본발명은광학장치및 표면형상측정장치를제공한다. 이장치는광대역의가간섭광을조사하는광원부; 입력단으로상기광원부의입사광을제공받아제1 출력단및 제2 출력단으로상기제1 입사광및 제2 입사광을분기하는제1 광섬유커플러; 상기제1 광섬유커플러의제2 출력단으로부터제2 입사광을제공받는제1 단자, 상기제1 단자로부터제공받은상기제1 입사광을샘플에제공하는제2 단자, 및상기샘플에서반사된반사광을상기제2 단자로제공받아출력하는제3 단자를포함하는광 서큘레이터; 상기제1 광섬유커플러의제1 출력단으로부터제1 입사광을제공받는제1 입력단, 상기반사광을제공받는제2 입력단, 및상기제2 입사광과상기반사광을결합하여출력하는출력단을포함하는제2 광섬유커플러; 및상기제2 광섬유커플러의출력광을제공받아파장에따라간섭광의세기를측정하는스펙트럼분석기를포함한다.
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公开(公告)号：KR101486272B1
公开(公告)日：2015-01-27
申请号：KR1020130025964
申请日：2013-03-12
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: G01B11/06
Abstract: 본 발명은 투명 기판 모니터링 장치 및 투명 기판 모니터링 방법을 제공한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 투명 기판 모니터링 장치는 광을 조사하는 발광부; 입사 광의 진행 방향을 가로지르는 제1 방향 및 제2 방향으로 정의되는 평면에 배치되고, 상기 제1 방향으로 서로 이격되어 상기 광을 통과시키는 제1 슬릿와 제2 슬릿을 포함하는 이중 슬릿; 상기 발광부와 상기 이중 슬릿의 사이에 배치된 투명 기판의 제1 위치를 투과하고 상기 제1 슬릿을 통과한 제1 광과 상기 투명 기판의 제2 위치를 투과하고 제2 슬릿을 통과한 제2 광에 의하여 스크린 평면 상에 형성된 간섭 패턴(interference pattern)을 측정하거나 상기 간섭 패턴의 위치 이동을 측정하는 광 검출부; 및 상기 광 검출부로부터 신호를 수신하여 상기 제1 위치 및 제2 위치에 기인한 광 위상차 또는 광 경로차를 산출하는 신호 처리부;를 포함한다.-
公开(公告)号：KR1020150005794A
公开(公告)日：2015-01-15
申请号：KR1020130078753
申请日：2013-07-05
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: G01B11/06
CPC classification number: G01B11/06 , H01L21/67253
Abstract: 본 발명은 두께 측정 장치 및 두께 측정 방법을 제공하는 것이다. 이 두께 측정 장치는 제1 파장 및 제2 파장의 레이저 빔을 순차적으로 투명 기판의 제1 위치에 조사하는 파장 가변 레이저; 상기 투명 기판을 투과한 투과 빔을 검출하는 광 검출기;및 제1 파장의 제1 투과 빔의 세기와 상기 제2 파장의 제2 투과 빔의 세기를 이용한 리자주 그래프에서 회전각, 상기 제1 위치에서 상기 투명 기판의 내부 반사에 의한 이웃한 레이들(rays) 사이의 광 경로의 차이(the difference in optical path length), 또는 상기 제1 위치에서 상기 투명 기판의 내부 반사에 의한 이웃한 레이들(rays) 사이의 위상 차이를 추출하는 처리부를 포함한다.
Abstract translation: 本发明提供了一种厚度测量装置和厚度测量方法。 厚度测量装置包括：波长可变激光单元，其在透明基板上将第一波长和第二波长的激光束连续地发射到第一位置; 光检测器，其检测穿透透明基板的光束; 以及处理单元，其使用具有第一波长的第一穿透激光束的强度和具有第二波长的第二穿透激光束的强度从利萨如图提取旋转角度，相邻射线之间的光程长度差 通过在第一位置处的透明基板的内部反射，或通过透明基板在第一位置处的内部反射而使相邻光线的相位差。
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公开(公告)号：KR101001894B1
公开(公告)日：2010-12-17
申请号：KR1020080100004
申请日：2008-10-13
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 모아레 기법을 이용한 3차원 형상 측정 장치 및 방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 기존 기술의 측정 속도를 증가시키고, 측정 분해능을 감소시키지 않으면서 측정 범위를 확대하는 모아레 기법을 이용한 3차원 형상 측정 장치 및 방법에 관한 것이다.
이를 위해, 본 발명은 모아레 기법을 이용한 3차원 형상 측정 방법에 있어서,
서로 다른 간격을 갖는 세 개의 그리드 패턴 R, G, B를 이용하여 한 장의 RGB 그리드 패턴을 구성하는 단계; 상기 RGB 패턴에 120도 또는 90도의 위상차를 누적 적용하여 3장 또는 4장의 RGB 패턴 세트를 생성하는 단계; 상기 3장 또는 4장의 RGB 패턴 세트를 측정물에 순차적으로 투사하고 이를 컬러 CCD 카메라로 측정하는 단계; 컬러 CCD로 획득된 3장 또는 4장의 이미지를 이용하여 위상을 계산하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 모아레 기법을 이용한 3차원 형상 측정 방법을 제공한다.
RGB 패턴, 모아레, 그리드 간격, CCD 카메라, 프로젝터-
公开(公告)号：KR1020100041026A
公开(公告)日：2010-04-22
申请号：KR1020080100004
申请日：2008-10-13
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: PURPOSE: An apparatus and a method for measuring three dimensional shape using color projection moire technique are provided, which can improve measurement speed by measuring phase information calculated by the grid pattern. CONSTITUTION: An apparatus for measuring three dimensional shape using color projection moire technique comprises a computer(14), a projector(10), and a color CCD camera(12). The computer generates three RGB patterns with different grid gaps using an internally stored program. The projector projects the RGB pattern to a measurement object(11). The color CCD camera obtains the RGB pattern projected to the measurement object as an image. The apparatus for measuring three dimensional shape measures the phase information measured through the CCD camera.
Abstract translation: 目的：提供一种使用彩色投影云纹技术测量三维形状的装置和方法，其可以通过测量由网格图案计算的相位信息来提高测量速度。 构成：使用彩色投影莫尔技术测量三维形状的装置包括计算机（14），投影仪（10）和彩色CCD照相机（12）。 计算机使用内部存储的程序生成具有不同网格间隙的三个RGB模式。 投影机将RGB图案投影到测量对象（11）。 彩色CCD相机获得作为图像投影到测量对象的RGB图案。 用于测量三维形状的装置测量通过CCD照相机测量的相位信息。
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