-
公开(公告)号：WO2018174392A1
公开(公告)日：2018-09-27
申请号：PCT/KR2018/000494
申请日：2018-01-10
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 반사면 프로파일 측정 장치 및 방법을 제공한다. 이 반사면 프로파일 측정 장치는, Twyman-Green 간섭계(120); 상기 Twyman-Green 간섭계의 측정 경로에 배치된 반사 광학 소자(12)를 이동시키는 스캐닝 스테이지(110); 상기 스캐닝 스테이지(110)에 장착되어 이동하는 스테이지 미러(112); 상기 스테이지 미러에서 반사되는 빔을 이용하여 상기 스캐닝 스테이지(110)의 위치와 회전 운동 오차를 측정하는 선형/각도 간섭계(linear/angular interferometer, 150); 및 신호 처리부(130)를 포함한다.
-
公开(公告)号：WO2013172561A2
公开(公告)日：2013-11-21
申请号：PCT/KR2013/003469
申请日：2013-04-23
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: G01D5/34707 , G01D5/2455 , G01D5/34746 , G01D5/34776 , G01D5/34792
Abstract: 본 발명은 절대 위치 측정 방법, 절대 위치 측정 장치, 및 스케일을 제공한다. 이 스케일은 제1 폭을 가지고 제1 상태를 나타내는 제1 심볼(symbol), 상기 제1 폭을 가지고 제2 상태를 나타내는 제2 심볼을 이용하여 N 스테이지(stage)의 선형 피드백 천이 레지스터의 시퀀스를 가지고 반복적으로 배치된 의사 잡음 코드(Pseudo-random-code)를 대체하여 형성된 스케일 패턴을 포함한다. 제1 심볼은 2 개 이상의 제1 심볼 영역들로 분할되고, 제2 심볼은 2 개 이상으로 제2 심볼 영역들로 분할되고, 제1 심볼과 상기 제2 심볼이 중첩되어 동일한 구조를 가지는 중첩 영역이 적어도 하나는 존재한다.
Abstract translation: 本发明提供绝对位置测量方法，绝对位置测量装置和刻度。 缩放比例包括通过使用具有第一宽度并表示第一状态的第一符号和具有第一宽度的第二符号代替重复排列的伪随机码与N级线性反馈转换电阻序列而形成的比例模式， 第二个状态 第一符号被划分为两个或更多个第一符号区域，第二符号被划分为两个或更多个第二符号区域，并且由于第一符号和第二符号的重叠而存在具有相同结构的至少一个重叠区域 。
-
-
公开(公告)号：KR1020140096938A
公开(公告)日：2014-08-06
申请号：KR1020130025964
申请日：2013-03-12
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: G01B11/06
Abstract: A transparent substrate monitoring device and a transparent substrate monitoring method are provided. According to an embodiment of the present invention, the transparent substrate monitoring device comprises a light emitting part for irradiating light; a double slit arranged on a plane defined by first and second directions crossing the progress direction of the incident light, and having first and second slits making the light penetrate while being separated from each other in a first direction; a light detecting part for measuring an interference pattern formed on a screen by a first light penetrating the first slit via the first position of a transparent substrate arranged between the light emitting part and the double slit and a second light penetrating the second slit via the second position of the transparent substrate, or for measuring the position movement of the interference pattern; and a signal processing part for calculating optical phase difference or optical path difference based on the first and second positions by receiving signals from the light detecting part.
Abstract translation: 提供了透明基板监视装置和透明基板监视方法。 根据本发明的实施例，透明基板监视装置包括用于照射光的发光部分; 布置在与穿过入射光的行进方向的第一和第二方向限定的平面上的双狭缝，并且具有使第一和第二狭缝在第一方向彼此分离的同时穿透; 光检测部分，用于经由布置在发光部分和双缝隙之间的透明基板的第一位置穿过第一狭缝的第一光量测量在屏幕上形成的干涉图案;以及第二光线，经由第二光通过第二狭缝 透明基板的位置，或用于测量干涉图案的位置移动; 以及信号处理部分，用于通过从光检测部分接收信号来基于第一和第二位置计算光学相位差或光程差。
-
公开(公告)号：KR101361625B1
公开(公告)日：2014-02-12
申请号：KR1020120062074
申请日：2012-06-11
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 위치 측정 장치 및 위치 측정 방법을 제공한다. 이 위치 측정 방법은 증분형 스케일(incremental scale)에서 반사 또는 투과된 광을 상기 증분형 스케일의 한 주기 내에 60도의 위상차를 가지고 감지하여 측정신호를 생성하는 단계, 감지된 측정 신호를 기본 공간 주파수(fundamental spatial frequency)의 1차 정현파 및 3차 정현파의 합으로 표시하는 단계, 및 측정 신호를 이용하여 1차 정현파의 위상을 추출하는 단계를 포함한다.
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101135142B1
公开(公告)日：2012-04-16
申请号：KR1020100107832
申请日：2010-11-01
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: PURPOSE: An apparatus of measuring surface vibration using an injection locked laser is provided to accurately measure a surface oscillation of a measurement sample by amplifying a weak optical signal scattered from a measurement sample by using an injection locked laser. CONSTITUTION: An optical signal generator(10) irradiates a measurement sample(40) with an optical signal. The optical signal generator comprises a first laser unit(11), a beam splitter(12), a first detector(13), and a first light chopper(14). An optical signal amplification unit(20) amplifies a weak optical signal scattered from the measurement sample having an uneven surface. The optical signal amplification unit amplifies the optical signal scattered from the measurement sample through an injection locked laser. An optical signal analysis unit(30) analyzes an optical signal amplified in the optical signal amplification unit and measures the surface oscillation of the measurement sample.
Abstract translation: 目的：提供一种使用注射锁定激光测量表面振动的装置，通过使用注射锁定激光器放大从测量样本散射的弱光信号来精确测量测量样品的表面振荡。 构成：光信号发生器（10）用光信号照射测量样品（40）。 光信号发生器包括第一激光单元（11），分束器（12），第一检测器（13）和第一光斩波器（14）。 光信号放大单元（20）放大从具有不平坦表面的测量样品散射的弱光信号。 光信号放大单元通过注入锁定的激光放大从测量样本散射的光信号。 光信号分析单元（30）分析在光信号放大单元中放大的光信号，并测量测量样品的表面振荡。
-
公开(公告)号：KR101105449B1
公开(公告)日：2012-01-17
申请号：KR1020090096356
申请日：2009-10-09
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 물질의 두께 및 굴절률을 측정하는 시스템에 관한 것으로, 좀 더 자세히는, 펄스 레이저 광원을 이용함으로써, 연속 발진 레이저 광원이나, 적외선 광원을 이용하는 산출 시스템 보다 간단한 작업으로 정확도가 높은 물질의 두께 및 굴절률을 동시에 산출할 수 있는 기술에 관한 것이다.
본 발명에 따른 펄스레이저를 이용한 물질 두께 및 굴절률 측정 시스템은 주기적인 간격으로 발진하는 펄스 형태의 레이저를 제공하는 광조사부 및 상기 광조사부에서 나오는 레이저 광을 이용하여, 측정 물질의 간섭 신호를 측정하고, 이를 분석하여, 측정 물질의 두께 및 굴절률을 동시에 산출하는 스펙트럼 분석 간섭부로 구성되는 것을 특징으로 한다.
펄스 레이저, 웨이퍼, 두께, 굴절률-
公开(公告)号：KR1020110050979A
公开(公告)日：2011-05-17
申请号：KR1020090107607
申请日：2009-11-09
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: PURPOSE: An apparatus for measuring three dimensional shape of a subject is provided to detect abnormality of a subject such as a semiconductor module by measuring the three dimensional shape of the subject without the movement of the subject and the camera. CONSTITUTION: An apparatus for measuring three dimensional shape of a subject comprises a camera(300). The camera photographs a subject(100) such as a semiconductor module. A defocus unit(1) is installed on the front side of the camera to defocus a subject image incident to the camera. The defocus unit changes the refractive index or focal distance of the light.
Abstract translation: 目的：提供一种用于测量被检体的三维形状的装置，以通过在被检体和照相机的移动的状态下测量被检体的三维形状来检测被检体（例如半导体模块）的异常。 构成：用于测量被检体的三维形状的装置包括照相机（300）。 相机拍摄诸如半导体模块的对象（100）。 散焦单元（1）安装在照相机的前侧以使入射到相机的被摄体图像散焦。 散焦单元改变光的折射率或焦距。
-
公开(公告)号：KR1020080110234A
公开(公告)日：2008-12-18
申请号：KR1020070058731
申请日：2007-06-15
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: A head module of an atomic force microscope is provided to measure the bending of a cantilever and z-axis movement displacement of a probe simultaneously. A scanner(53) is formed of a piezo-electric ceramic element. A cantilever(55) is mounted at an end of a parent plate(50) attached to the scanner. A probe(57) is positioned at an end of the cantilever. A diffraction grid(72) generates at least two or more diffracted light beams(62,64,66) for a laser beam(60) generated in an optical unit. Detectors(82,84) detect the diffracted beams.
Abstract translation: 提供原子力显微镜的头模块以同时测量探针的弯曲和探头的z轴运动位移。 扫描器（53）由压电陶瓷元件形成。 悬臂（55）安装在安装在扫描仪上的母板（50）的一端。 探针（57）位于悬臂的末端。 衍射栅格（72）产生用于在光学单元中产生的激光束（60）的至少两个或更多个衍射光束（62,66,66）。 检测器（82,84）检测衍射光束。
-
公开(公告)号：KR1020080097625A
公开(公告)日：2008-11-06
申请号：KR1020070042722
申请日：2007-05-02
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: A thermal expansion coefficient measuring interferometer and a method thereof are provided to measure thermal expansion coefficient more accurately by measuring the minute length change of a measurement object according to the temperature change. A thermal expansion coefficient measuring interferometer comprises a polarization beam splitter(220) and a plurality of corner cube prisms(232,234,236). The polarization beam splitter reflects and transmits a first beam and a second beam according to the polarization component so that the first beam is split into a third beam and a fourth beam and the second beam into a fifth beam and a sixth beam. The corner cube prism changes the beam path of the incident beam if at least one of the third beam and the sixth beam enters from the polarization beam splitter.
Abstract translation: 提供一种热膨胀系数测量干涉仪及其方法，通过根据温度变化测量测量对象的微小长度变化来更精确地测量热膨胀系数。 热膨胀系数测量干涉仪包括偏振分束器（220）和多个角立方棱镜（232,234,236）。 偏振分束器根据偏振分量反射和透射第一光束和第二光束，使得第一光束被分成第三光束，第四光束和第二光束分成第五光束和第六光束。 如果第三束和第六束中的至少一个从偏振分束器进入，则角隅棱镜改变入射光束的光束路径。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
60
records
(took 0.025 seconds)
