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公开(公告)号：KR101879641B1
公开(公告)日：2018-07-19
申请号：KR1020170022860
申请日：2017-02-21
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: G01N15/06 , G01N21/47 , G01N2015/0693 , G01N2015/0846 , G01S17/88
Abstract: 본발명의일 실시예에따른탁도측정방법은, 해수면에서만반사하는제1 파장의레이저펄스빔과상기해수면을투과하여해저까지도달하고반사하는제2 파장의레이저펄스빔을수중에동시에제공하는단계; 상기제1 파장의레이저펄스빔이상기해수면에서수면산란에기인한제1 광신호및 상기제2 파장의레이저펄스빔이수면산란, 수중산란 , 그리고해저면산란에기인한제2 광신호를수신광학계를통하여수집하고, 파장에따라제1 광신호및 제2 광신호를각각시간에따라검출하는단계; 상기제1 광신호및 제2 광신호를각각제1 디지털전기신호및 제2 디지털전기신호로변환하는단계; 상기제1 디지털전기신호를수면산란신호가발생하는소정의시간구간에대하여적분하여제1 적분신호를생성하는단계; 상기제2 디지털전기신호를상기수면산란신호가발생하는소정의시간구간에대하여적분하여제2 적분신호를생성하는단계; 상기제2 적분신호를상기제1 적분신호로나누어규격화된측정적분신호를생성하는단계; 및이론값을이용하여예측된탁도에따른규격화된이론적분신호의관계를이용하여상기규격화된측정적분신호에대응하는측정탁도를추출하는단계를포함한다.
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公开(公告)号：KR101544962B1
公开(公告)日：2015-08-18
申请号：KR1020140041473
申请日：2014-04-07
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 두께 측정 광학 장치 및 두께 측정 방법을 제공한다. 이 두께 측정 광학 장치는 광대역 레이저 광을 출력하는 광대역 레이저 광원; 상기 광대역 레이저 광원의 출력광을 제1 포트로 제공받아 제2 포트 및 제3 포트로 분할하는 제1 광섬유 커플러; 상기 제1 광섬유 커플러의 제2 포트에서 출력되는 광을 제1 포트로 입력받고 상기 제1 광섬유 커플러의 제3 포트에서 출력된 광을 측정 대상을 경유하여 제2 포트로 입력받아 상기 제1 포트로 입력된 광과 제2 포트로 입력된 광을 결합하여 제3 포트로 출력하는 제2 광섬유 커플러; 및 상기 제2 광섬유 커플러의 제3 포트로 출력되는 광을 파장에 따라 측정하는 제1 스펙트럼 분석기를 포함한다. 상기 제1 스펙트럼 분석기는 파장에 따라 간섭 신호를 측정한다.
Abstract translation: 本发明提供一种厚度测量光学装置和厚度测量方法。 厚度测量光学装置包括：用于输出宽带激光束的宽带激光源; 第一光纤耦合器，其通过第一端口接收宽带激光源的输出光束，然后通过第二端口和第三端口分割输出光束; 第二光纤耦合器，其通过第一端口输入从第一光纤耦合器的第二端口输出的光束，并且经由第二端口经由第一端口经由第一端口经由第一端口经由第一端口经由 并且将通过第一端口输入的波束和通过第二端口输入的波束组合，然后通过第三端口输出组合的波束; 以及第一频谱分析仪，其根据波长测量通过第二光纤耦合器的第三端口输出的光束。 第一个频谱分析仪根据波长测量干扰信号。
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公开(公告)号：KR101398835B1
公开(公告)日：2014-05-30
申请号：KR1020120052287
申请日：2012-05-17
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 측정 대상물을 손상시키지 않고 측정 대상물의 표면 형상, 측정 대상물의 내면 형상, 측정 대상물의 두께, 측정 대상물의 위치 중 적어도 하나를 정확하게 측정할 수 있는 콤 생성 및 검출 장치를 이용한 실시간 분광형 간섭 측정 장치 및 측정 방법에 관한 것이다. 특히, 광 대역폭의 빛을 조사하는 광원부와 상기 광원부로부터 조사되고 측정 대상물로부터 반사된 빛의 간섭 신호로부터 측정 대상물의 표면 형상, 측정 대상물의 표면 형상, 측정 대상물의 내면 형상, 측정 대상물의 두께, 측정 대상물의 위치 중 적어도 하나를 측정하는 간섭계를 포함하는 측정 장치에 있어서, 광원부는 광원으로부터 출력된 적외선 영역의 광대역 주파수 광을 광대역 광 주파수 빗으로 변환하는 패브리-페로 필터를 포함하는 것을 특징으로 한다.
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公开(公告)号：KR101391183B1
公开(公告)日：2014-05-07
申请号：KR1020120114102
申请日：2012-10-15
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본발명은거리측정장치및 거리측정방법을제공한다. 이거리측정장치는선형편광된제1 출력광을제공하는광원, 시간에따라제1 출력광의편광상태를회전시키는편광변조부, 편광변조부의출력광을대상물에입사되어반사된반사광을제공받는서로다른편광방향을가진 4 개의선형편광판, 및선형편광판을통과한상기반사광을감지하는감지부를포함하고, 감지부의출력신호를이용하여대상물과편광변조부사이의거리를산출한다.
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公开(公告)号：KR1020140048445A
公开(公告)日：2014-04-24
申请号：KR1020120114102
申请日：2012-10-15
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: The present invention is to provide a distance measuring apparatus and a distance measuring method. The distance measuring apparatus includes: a light source for providing first output light polarized linearly; a polarization modulation unit rotating the polarization direction of the first output light according to time; four linear polarizers with different polarization directions receiving the light reflected from an object on which the output light of the polarization modulation unit is incident; and a detecting unit for detecting the reflected light passing through the linear polarizers, wherein the present invention calculates the distance between the polarization modulating unit and the object by using an output signal of the detecting unit. [Reference numerals] (21) Object
Abstract translation: 本发明提供一种距离测量装置和距离测量方法。 该距离测量装置包括：用于提供线性偏振的第一输出光的光源; 偏振调制单元，根据时间旋转第一输出光的偏振方向; 具有不同偏振方向的四个线偏振器接收从偏振调制单元的输出光入射的物体反射的光; 以及用于检测通过线性偏振器的反射光的检测单元，其中本发明通过使用检测单元的输出信号来计算偏振调制单元与物体之间的距离。 （附图标记）（21）对象
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020130138470A
公开(公告)日：2013-12-19
申请号：KR1020120062074
申请日：2012-06-11
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: G01D5/2451 , G01D5/36 , H03M1/12
Abstract: The present invention provides a position measuring device and a position measuring method. The position measuring method includes a step of generating measurement signals by sensing lights reflected by or transmitted through an incremental scale while having phase difference of an angle of 60 degrees within one cycle of the incremental scale; a step of displaying the sensed measurement signals as the sum of first sine waves and third sine waves of a fundamental spatial frequency; and a step of extracting phases of the first sine waves based on the measurement signals.
Abstract translation: 本发明提供一种位置测量装置和位置测量方法。 位置测量方法包括以下步骤：通过在增量刻度的一个循环内具有60度角的相位差来感测由增量刻度反射或透射的光产生测量信号; 将感测的测量信号显示为基本空间频率的第一正弦波和第三正弦波的和的步骤; 以及基于测量信号提取第一正弦波的相位的步骤。
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公开(公告)号：KR101322782B1
公开(公告)日：2013-10-29
申请号：KR1020120027786
申请日：2012-03-19
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 3차원 위치를 측정하는 장치에 있어서: 선단의 팁(22) 상에 형광점(25)을 지니는 탐침자(20); 상기 탐침자(20)의 형광점(25)을 여기시키는 여기수단(30); 상기 여기된 발광빔을 집속하는 렌즈(44); 및 상기 집속된 발광빔을 검출기(55)로 입력하여 위치 정보를 생성하는 제어기(50);를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
이에 따라, 스타일러스의 볼에 형광점을 부여하여 볼 자체에 대한 변형 위치를 측정하므로 측정의 정확성이 향상되는 동시에 좁고 깊은 구멍의 측정이 가능하여 활용성을 증진하는 효과가 있다.-
公开(公告)号：KR101267879B1
公开(公告)日：2013-05-27
申请号：KR1020100104855
申请日：2010-10-26
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본발명은가시도향상간섭계에관한것으로, 더상세하게는유리와같이반사율이낮거나, 거칠기가큰 면을갖는저반사율물질에대해주입잠금기법을적용한것이다. 특히광분할에의해나눠진빛 중저반사율물질인측정면에반사되어유입된광신호를위상왜곡없이증폭하여기준면과의광량을동일또는유사하게함으로써가시도를향상시킨간섭계에관한것이다.
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19.发明授权공간상 유동장 측정을 통한 수중 이동체 정밀 탐색 장치, 그 탐색 방법 및 그 탐색 장치를 탑재한 항공체 有权使用由装载有相同装置的移动目标和机动车辆产生的尾迹的空间测量来搜索移动的水下目标的装置和方法
公开(公告)号：KR101261276B1
公开(公告)日：2013-05-07
申请号：KR1020110058471
申请日：2011-06-16
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: G01S17/06
Abstract: 본발명은이차원혹은삼차원공간상유동장측정을통한수중이동체의정밀탐색장치및 방법에관한것으로서, 레이저와같은광원으로부터조사되는빛을수중에조사함으로써수중이동체에의해생겨나는후류의유동장을이차원혹은삼차원공간상에서측정하고해석함으로써수중이동체의정확한위치, 이동방향, 크기등과같은복합적인정보를획득하는비접촉식수중이동체정밀탐색장치및 방법에관한것이다. 본발명의수중이동체탐색장치는레이저빔을발생하는광원부, 상기광원부에서발생한레이저빔을원하는측정대상영역으로정확히보내기위한스캐너, 상기광원부로부터상기측정대상영역으로조사된후 반사된레이저빔을광검출부로입사시키는이미징광학계, 상기반사된레이저빔을감지하기위해알려진위치에설치되어, 상기반사레이저빔의주파수를검출하는, 적어도하나이상의광검출단위를포함하는상기광검출부및 상기광검출부에서검출된반사레이저빔의주파수와상기광원부에서발생한레이저주파수로부터도플러효과에의해상기측정대상영역에서의유체속도를산정하고, 상기유체의속도로부터수중이동체의정보를산출하는유동장해석부를포함한다.
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公开(公告)号：KR101242470B1
公开(公告)日：2013-03-12
申请号：KR1020127012430
申请日：2011-06-24
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 웨이퍼를 손상시키지 않고 비아홀의 깊이를 정확하게 측정할 수 있는 실리콘 웨이퍼의 비아홀 측정 장치 및 방법에 관한 것으로, 광 투과 특성이 우수한 실리콘 웨이퍼에 광대역 적외선 광을 조사하여 웨이퍼의 각 경계면으로부터 반사되는 빛과 기준광의 간섭 신호로부터 비아홀의 깊이를 측정할 수 있게 한 실리콘 웨이퍼의 비아홀 측정 장치 및 방법에 관한 것이다. 본 발명의 비아홀 측정 장치는 광대역의 적외선 광을 생성하는 광원부와 상기 광원부로부터 생성된 광을 실리콘 웨이퍼에 조사하여 상기 실리콘 웨이퍼로부터 반사된 빛의 간섭 신호의 스펙트럼 주기로부터 웨이퍼에 형성된 비아홀의 깊이를 측정하는 간섭계를 포함한다.
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