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公开(公告)号：KR101733298B1
公开(公告)日：2017-05-08
申请号：KR1020150130372
申请日：2015-09-15
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본발명은두께측정장치를제공한다. 이두께측정장치는광대역광원; 상기광대역광원의출력광을전달하는제1 광섬유; 상기제1 광섬유를통하여전달된광을기준경로로진행하는기준빔과측정경로로진행하는측정빔으로분할하는제1 빔분할기; 상기기준빔을반사시키는기준경로거울; 상기측정빔을반사시키는측정경로거울; 상기기준경로거울에서반사된상기기준빔과상기측정빔을중첩하여간섭신호를생성하는제2 빔분할기; 상기간섭신호를전달하는제2 광섬유; 상기제2 광섬유를통하여전달된간섭신호를파장에따라측정하는스펙트럼분석기; 및상기스펙트럼분석기의출력신호를처리하여상기측정경로에삽입된측정대상의두께를산출하는처리부를포함한다. 상기기준경로와상기측정경로는사각형을형성하도록배치된다.
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公开(公告)号：KR1020150061686A
公开(公告)日：2015-06-05
申请号：KR1020130145351
申请日：2013-11-27
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본발명은가스검출장치및 가스검출방법을제공한다. 이가스검출장치는특정한가스의흡수스펙트럼중에서특정한단일흡수선의선폭의범위에서변조주파수를가지고시간에따라레이저주파수를연속적으로변경하는레이저광원; 상기레이저광원의출력광을측정대상에제공하는송신광학계; 상기측정대상에서상기특정한가스에의한흡수되어반사된반사광을수신하는수신광학계; 상기특정한가스의흡수스펙트럼중에서특정한흡수대역의중심에상기레이저광원의중심주파수를고정하기위한주파수잠금부; 및상기수신광학계가측정한상기반사광을분석하여상기변조주파수의고조파성분을추출하는제어부를포함한다.
Abstract translation: 提供气体检测装置和气体检测方法。 气体检测装置包括：激光光源，其具有来自特定气体的吸收光谱的特定单个吸收线的线宽范围内的调制频率，以随着时间连续地改变激光频率; 传输光学系统，用于提供由激光光源输出的用于测量目标的光; 接收光学系统，用于接收由特定气体吸收并从测量对象反射的反射光; 频率锁定部分，用于将激光光源的中心频率从特定气体的吸收光谱固定到特定吸收带的中心; 以及控制部分，其分析由接收光学系统测量的反射光，以提取调制频率的谐波分量。
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公开(公告)号：KR1020150048971A
公开(公告)日：2015-05-11
申请号：KR1020130128738
申请日：2013-10-28
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본발명은광학장치및 표면형상측정장치를제공한다. 이장치는광대역의가간섭광을조사하는광원부; 입력단으로상기광원부의입사광을제공받아제1 출력단및 제2 출력단으로상기제1 입사광및 제2 입사광을분기하는제1 광섬유커플러; 상기제1 광섬유커플러의제2 출력단으로부터제2 입사광을제공받는제1 단자, 상기제1 단자로부터제공받은상기제1 입사광을샘플에제공하는제2 단자, 및상기샘플에서반사된반사광을상기제2 단자로제공받아출력하는제3 단자를포함하는광 서큘레이터; 상기제1 광섬유커플러의제1 출력단으로부터제1 입사광을제공받는제1 입력단, 상기반사광을제공받는제2 입력단, 및상기제2 입사광과상기반사광을결합하여출력하는출력단을포함하는제2 광섬유커플러; 및상기제2 광섬유커플러의출력광을제공받아파장에따라간섭광의세기를측정하는스펙트럼분석기를포함한다.
Abstract translation: 本发明涉及光学装置和表面图案测量装置。 本发明包括：在宽带中闪烁相干光的光源部分; 第一光纤耦合器，其将来自所述光源部分的入射光接收到其入口部分中，并将第一入射光和第二入射光分别分离到第一输出部分和第二输出部分; 第一端子，接收来自第一光纤耦合器的第二输出部分的第二入射光; 接收从第一端子到第二端子的第一入射光作为样本的第二端子; 包括第三端子的光循环器，其接收从样品反射的反射光并将其输出; 第一输入部，其接收来自第一光纤耦合器的第一输出部的第一入射光; 接收反射光的第二输入部; 第二光纤耦合器，包括输出部分，其输出组合的第二入射光和反射光; 以及频谱分析仪，其接收来自第二光纤耦合器的输出光，并根据波长测量干涉光的强度。
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公开(公告)号：KR1020150005793A
公开(公告)日：2015-01-15
申请号：KR1020130078751
申请日：2013-07-05
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: G01B11/06
CPC classification number: G01B11/06 , G01B9/0201 , G01B9/02081 , G01B11/14 , G01N21/211 , G01N21/45 , G01N2021/213 , G01S17/36
Abstract: 본 발명은 두께 측정 장치 및 두께 측정 방법을 제공한다. 두께 측정 방법은 제1 파장(λ
1 )의 제1 레이저 빔을 투명 기판에 조사시키고, 상기 투명 기판을 투과한 제1 레이저 빔의 세기를 측정하는 단계; 제2 파장(λ
2 )의 제2 레이저 빔을 상기 투명 기판을 투과키고, 투과한 제2 레이저 빔의 세기를 측정하는 단계; 및 상기 투명 기판을 투과한 상기 제1 레이저 빔과 상기 제2 레이저 빔을 이용한 리사주(Lissajous) 그래프에서 회전각을 추출하는 단계;를 포함한다. 상기 제1 레이저 빔의 다중 내부 반사에 의한 이웃한 레이들(rays) 사이의 위상 차이와 상기 제2 레이저 빔의 다중 내부 반사에 의한 이웃한 레이들(rays) 사이의 위상 차이는 π/2를 유지한다.Abstract translation: 本发明提供了一种厚度测量装置和厚度测量方法。 厚度测量方法包括：将具有第一波长（λ_1）的第一激光束照射到透明基板并测量穿透透明基板的第一激光束的强度的步骤; 将穿过具有第二波长（λ_2）的第二激光束穿透到透明基板并测量第二激光束的强度的步骤; 以及使用第一激光束和穿透透明基板的第二激光束从利萨如图提取旋转角度的步骤。 通过第一激光束的多次内反射，以及通过第二激光束的多次内反射，在相邻光线之间的相位差保持在π/ 2。
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公开(公告)号：KR101456545B1
公开(公告)日：2014-11-03
申请号：KR1020130014369
申请日：2013-02-08
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 스펙트럼 영역 간섭 장치 및 스펙트럼 영역 간섭 방법을 제공한다. 이 스펙트럼 영역 간섭 장치는 일정한 주파수 대역에서 일정한 종모드 주파수 간격을 가지고 발진하는 레이저 광원, 레이저 광원으로부터 광을 제공받아 종모드 주파수 간격보다 큰 자유 스펙트럴 레인지(free spectral range;FSR)를 가지고 선택된 종모드들을 투과시키는 파이버 브래그 격자 필터(fiber Bragg grating filter), 파이버 브래그 격자 필터로부터 광을 제공받아 서로 다른 광 경로에 의한 광 경로차를 가지는 간섭광을 제공하는 간섭계, 간섭계로부터 간섭광을 제공받아 주파수에 따라 간섭광을 분해하여 측정하는 스펙트럼 분석기, 및 스펙트럼 분석기의 간섭 신호를 이용하여 주파수에 따른 간섭 신호의 스펙트럴 주기를 추출하고, 스펙트럴 주기를 이용하여 간섭계가 제공한 광 경로차를 추출하는 신호 처리부를 포함한다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101451176B1
公开(公告)日：2014-10-16
申请号：KR1020130023174
申请日：2013-03-05
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 스펙트럼 영역 간섭 장치 및 스펙트럼 영역 간섭 방법을 제공한다. 이 스펙트럼 영역 간섭 장치는 일정한 주파수 대역에서 일정한 종모드 주파수 간격을 가지고 발진하는 레이저 광원, 레이저 광원으로부터 광을 제공받아 종모드 주파수 간격보다 큰 자유 스펙트럴 레인지(free spectral range)를 가지고 선택된 종모드들을 투과시키는 광섬유 페룰 공진기(fiber-ferrule optical cavity), 광섬유 페룰 공진기로부터 광을 제공받아 서로 다른 광 경로에 의한 광 경로차를 가지는 간섭광을 제공하는 간섭계, 간섭계로부터 간섭광을 제공받아 주파수에 따라 간섭광을 분해하여 측정하는 스펙트럼 분석기, 및 스펙트럼 분석기의 간섭 신호를 이용하여 주파수에 따른 간섭 신호의 스펙트럼 주기를 추출하고, 스펙트럼 주기를 이용하여 간섭계가 제공한 광 경로차를 추출하는 신호 처리부를 포함한다.
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公开(公告)号：KR101407482B1
公开(公告)日：2014-06-16
申请号：KR1020120072409
申请日：2012-07-03
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은, 광대역의 가간섭 광을 조사하는 발광부; 적어도 하나의 홀(hole)을 구비하며, 상기 발광부로부터 입사되는 광을 상기 광이 입사되는 면 및 상기 홀의 바닥면에서 반사하는 피측정물; 상기 발광부와 상기 피측정물 사이에 배치되어 상기 발광부로부터 입사된 광 및 상기 피측정물로부터 반사된 광을 분할하는 제1 빔 분할기; 상기 피측정물에서 반사되어 상기 제1 빔 분할기에 의해 분할된 광이 제1 및 제2 경로로 진행하도록 상기 반사된 광을 분할하는 제2 빔 분할기; 상기 제1 경로로 진행된 상기 피측정물에서 반사된 광을 수광하여, 간섭 신호로부터 상기 홀의 깊이를 측정하는 제1 광 검출기; 및 상기 제2 경로로 진행된 상기 피측정물에서 반사된 광을 수광하여, 상기 홀의 형상을 측정하는 제2 광 검출기;를 포함하는 홀 형상 및 깊이 측정 장치를 제공한다.
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公开(公告)号：KR1020140030381A
公开(公告)日：2014-03-12
申请号：KR1020120093835
申请日：2012-08-27
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: An apparatus and a method for measuring the depth of a micro hole using a lenticular optical fiber comprises: a light emitting unit which radiates broadband coherent light; an object to be measured which includes at least one micro hole and reflects the incident light from the light emitting unit from the bottom of the micro hole; a reference surface which reflects the incident light from the light emitting unit and forms a reference light for interfering the light reflected from the bottom of the micro hole; a light detector which collects the light reflected from the bottom of the micro hole and the reference surface in order to measure the depth of the micro hole from an interference signal; an optical fiber coupler; and a first optical fiber, a second optical fiber, a third optical fiber, and a fourth optical fiber which are diverged from the optical fiber coupler. The first optical fiber is connected with the light emitting unit and transmits the incident light from the light emitting unit to the second optical fiber and the third optical fiber through the optical fiber coupler. The second optical fiber is placed such that the end of the second optical fiber corresponds to the reference surface in order to radiate light to the reference surface and collect the light reflected from the reference surface. The third optical fiber is placed such that the end of the third optical fiber corresponds to the micro hole in order to radiate light to the micro hole and collect the light reflected from the bottom of the micro hole. The fourth optical fiber is connected with the light detector in order to transmit the incident light from the second and third optical fibers to the light detector through the optical fiber coupler.
Abstract translation: 使用双凸透镜光纤测量微孔的深度的装置和方法包括：发射宽带相干光的发光单元; 测量对象，其包括至少一个微孔，并且从微孔的底部反射来自发光单元的入射光; 反射来自发光单元的入射光并形成用于干扰从微孔的底部反射的光的参考光的参考面; 光检测器，其收集从微孔的底部反射的光和参考表面，以便从干扰信号测量微孔的深度; 光纤耦合器; 以及从光纤耦合器发散的第一光纤，第二光纤，第三光纤和第四光纤。 第一光纤与发光单元连接，并且通过光纤耦合器将来自发光单元的入射光透射到第二光纤和第三光纤。 第二光纤被放置成使得第二光纤的端部对应于参考表面，以将光辐射到参考表面并收集从参考表面反射的光。 第三光纤被放置成使得第三光纤的端部对应于微孔，以将光辐射到微孔并收集从微孔的底部反射的光。 第四光纤与光检测器连接，以便通过光纤耦合器将来自第二和第三光纤的入射光透射到光检测器。
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公开(公告)号：KR101319555B1
公开(公告)日：2013-10-21
申请号：KR1020120028938
申请日：2012-03-21
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 두께 변화 측정 장치는, 광을 조사하는 발광부와, 광의 진행 방향을 가로지르는 방향으로 이격되어 광을 통과시키는 제1개구와 제2 개구를 구비하는 이중 슬릿과, 발광부와 이중 슬릿의 사이에 배치되어 광을 투과시키는 피측정물과, 제1 개구와 제2 개구를 통과한 광에 의해 형성된 간섭광을 수광하여 위치 신호를 발생하는 광 위치 검출부와, 광 위치 검출부로부터 신호를 수신하여 피측정물의 두께 변화를 산출하는 신호 처리부를 구비한다.
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公开(公告)号：KR1020130106127A
公开(公告)日：2013-09-27
申请号：KR1020120027786
申请日：2012-03-19
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: PURPOSE: An optical position measuring device for a coordinate measuring machine (CMM) probe is provided to measure the position of the deformation of a stylus ball by marking a fluorescent point on the stylus ball, thereby increasing the accuracy and the availability of measurement. CONSTITUTION: An optical position measuring device for a CMM probe includes a probe (20), an excitation unit (30), a lens (44), and a controller (50). The probe includes a fluorescent point on a tip of a front end portion. The excitation unit excites the fluorescent point of the probe. The lens collects excited lights. The controller generated position information by inputting the collected lights to a detector (55).
Abstract translation: 目的：提供用于坐标测量机（CMM）探针的光学位置测量装置，通过在触针球上标记荧光点来测量触针球的变形位置，从而提高测量的准确性和可用性。 构成：用于CMM探针的光学位置测量装置包括探针（20），激励单元（30），透镜（44）和控制器（50）。 探头包括在前端部分的尖端上的荧光点。 激发单元激发探头的荧光点。 镜头收集激光。 控制器通过将收集的光输入到检测器（55）来产生位置信息。
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