公开(公告)号：KR1020140131219A

公开(公告)日：2014-11-12

申请号：KR1020130050310

申请日：2013-05-03

Applicant: 한국화학연구원

Inventor： 박보근 ,  정택모 ,  김창균 ,  전동주 ,  정은애

IPC: C23C16/06 ,  C23C16/448

CPC classification number: C23C16/45553 ,  C07F15/0046 ,  C23C16/18 ,  C23C16/40

Abstract: The present invention relates to a ruthenium precursor represented by Chemical formula 1. The ruthenium precursor: has excellent thermal stability and increased volatility; does not use oxygen during a thin film deposition process; and thus can form a ruthenium thin film with high quality. In Chemical formula 1, R1 to R16 are independently hydrogen; otherwise, R1 to R16 are independently linear alkyl groups or branched alkyl groups.

Abstract translation: 本发明涉及由化学式1表示的钌前体。钌前体具有优异的热稳定性和增加的挥发性; 在薄膜沉积过程中不使用氧气; 因此能够形成高品质的钌薄膜。 在化学式1中，R 1至R 16独立地为氢; 否则，R 1至R 16独立地为直链烷基或支链烷基。

公开(公告)号：KR101629696B1

公开(公告)日：2016-06-13

申请号：KR1020140091846

申请日：2014-07-21

Applicant: 한국화학연구원

Inventor： 박보근 ,  정택모 ,  김창균 ,  전동주 ,  한정환 ,  정석종 ,  정은애

IPC: C07F5/00 ,  C23C16/18

Abstract: 본발명은신규한인듐전구체, 이의제조방법및 이를이용한박막에관한것으로, 열적안정성및 휘발성이우수하고, 다루기용이한인듐 3가의신규한인듐전구체및 이의제조방법, 그리고이를이용한고순도의인듐함유박막에관한것이다.

公开(公告)号：KR101470905B1

公开(公告)日：2014-12-09

申请号：KR1020120136558

申请日：2012-11-28

Applicant: 한국화학연구원

Inventor： 박보근 ,  정택모 ,  김창균 ,  전동주 ,  정은애 ,  정석종

IPC: C07F15/00 ,  C07B61/00

Abstract: 본발명은하기화학식 1로표시되는루테늄전구체에관한것으로, 상기루테늄전구체는열적안정성과휘발성이향상되고, 박막증착시 산소를사용하지않아도되는장점이있어양질의루테늄박막을형성할수 있다. [화학식 1](상기식에서, R1-R12는각각독립적으로 H이거나, C1-C4의선형또는분지형알킬기다.)

公开(公告)号：KR101636491B1

公开(公告)日：2016-07-05

申请号：KR1020140086145

申请日：2014-07-09

Applicant: 한국화학연구원

Inventor： 박보근 ,  정택모 ,  김창균 ,  전동주 ,  한정환 ,  정석종 ,  정은애

IPC: C07F15/00 ,  C23C16/06

Abstract: 본발명은하기화학식 1의루테늄화합물및 이의제조방법, 박막을형성하는방법에관한것으로, 하기화학식 1의루테늄화합물은열적안정성과휘발성이우수하여양질의루테늄박막을형성할수 있다. [화학식 1]상기 R내지 R은각각독립적으로수소또는탄소수 1 내지 4의선형또는분지형의알킬기이다.