公开(公告)号：KR1020170089449A

公开(公告)日：2017-08-04

申请号：KR1020160009285

申请日：2016-01-26

Applicant: 한양대학교 산학협력단

Inventor： 김정환 ,  김정식 ,  우동곤 ,  장용주 ,  안진호

IPC: G03F1/62 ,  G03F1/22 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027 ,  G03F1/00

CPC classification number: G03F1/00 ,  G03F1/22 ,  G03F1/62 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027

Abstract: 복수개의 EUV(Extreme Ultraviolet) 투과층및 열방출층이교대로적층된중간막구조체(intermediate layer structure), 상기중간막구조체의상부면상의제1 박막, 및상기중간막구조체의하부면상에배치되고상기제1 박막보다낮은열복사율을갖는제2 박막을포함하는펠리클멤브레인을준비하는단계, 상기펠리클멤브레인의상기열방출층이노출된가장자리측면(sidewall) 상에상기펠리클멤브레인으로부터열을흡수하는냉각구조체를배치하는단계를포함하는 EUV 펠리클구조체의제조방법이제공될수 있다.

Abstract translation: 多个EUV（极紫外）透射层和所述散热层的交替层叠层间膜结构（中间层结构），设置如权利要求1，该结构的上表面上的薄膜的层间膜的下表面上，并且第一层间膜结构 放置冷却结构用于从舞台上的防护膜，其中，所述防护膜（侧壁）的散热层的暴露边缘的表面，制成防护膜和具有比该薄膜更低的热辐射速率的第二薄膜吸收热量 一种生产EUV薄膜结构的方法，包括以下步骤：

公开(公告)号：KR1020170085161A

公开(公告)日：2017-07-24

申请号：KR1020160004118

申请日：2016-01-13

Applicant: 한양대학교 산학협력단

Inventor： 안진호 ,  김정환 ,  홍성철 ,  우동곤

IPC: G03F1/62 ,  G03F1/22 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F1/22 ,  G03F1/62 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027

Abstract: 복수개의 EUV(Extreme Ultraviolet) 투과층및 열방출층이교대로적층된펠리클멤브레인을준비하는단계, 및상기펠리클멤브레인의상기열방출층이노출된가장자리측면(sidewall) 상에상기펠리클멤브레인으로부터열을흡수하는냉각구조체를배치하는단계를포함하는 EUV 펠리클구조체의제조방법이제공될수 있다.

Abstract translation: 准备将多个EUV（Extreme Ultraviolet：极紫外线）透过层与散热层交替层叠而成的防护膜，并从防护膜的露出侧壁上的防护膜散热层 可以提供包括设置吸收式冷却结构的步骤的EUV薄膜结构的制造方法。