-
公开(公告)号：KR1020140143651A
公开(公告)日：2014-12-17
申请号：KR1020130065508
申请日：2013-06-07
Applicant: 현대자동차주식회사
CPC classification number: H03H9/02433 , G01N29/022 , G01N29/036
Abstract: MEMS 공진 센서는 제1 구동 전극과 제2 구동 전극 사이에서 진동하는 질량체의 진동 성분에 대응하는 출력 신호를 생성하는 MEMS(Micro Electro Mechanical Systems) 부, 상기 출력 신호를 자동 이득 제어하여 비교 전압을 생성하는 AGC(Automatic Gain Control) 부, 및 기준 전압을 입력받고, 상기 기준 전압과 상기 비교 전압을 이용하여 바이어스 전압을 생성하는 바이어스 부를 포함하고, 상기 제1 구동 전극 및 상기 제2 구동 전극에는 정현파의 구동 전압이 인가되고, 상기 질량체에는 상기 바이어스 전압이 인가된다. MEMS 공진 센서에서 질량체의 진폭을 안정적으로 유지할 수 있고, MEMS 공진 센서의 응답 오차를 줄여서 MEMS 공진 센서의 응답 오차에 의한 전자 회로의 오작동을 방지할 수 있다.
Abstract translation: 根据本发明，MEMS谐振传感器包括：微机电系统（MEMS）部件，其产生对应于在第一驱动电极和第二驱动电极之间振动的校准质量块的振动分量的输出信号; 通过对输出信号执行自动增益控制来产生比较电压的自动增益控制（AGC）部分; 以及接收基准电压的偏置部分，并且使用所述参考电压和所述比较电压产生偏置电压，其中所述第一和第二驱动电极被施加正弦驱动电压，并且所述校准质量被施加偏置电压。 根据本发明，MEMS谐振传感器能够稳定地保持检测质量的幅度。 此外，MEMS谐振传感器能够减小其响应误差，从而通过MEMS谐振传感器的响应误差来防止电子电路中的故障。
-
公开(公告)号：KR1020140011727A
公开(公告)日：2014-01-29
申请号：KR1020120078531
申请日：2012-07-19
Applicant: 현대자동차주식회사
CPC classification number: B81B3/0002 , B81B7/0006 , B81B7/0032 , B81B7/02 , B81C1/00015
Abstract: The present invention relates to a method for packing MEMS sensors and, more particularly, to a method for packing MEMS sensors which can overcome spatial limitation and can maximize electrical connection when forming electrodes. The method for packing MEMS sensors according to the present invention comprises the steps of: forming a lower electrode layer (100); forming a sensor structural layer (200); eutectic-bonding a metal layer of the lower electrode layer and a metal layer of the sensor structural layer; processing the sensor structural layer; forming an upper electrode layer (300); and eutectic-bonding the upper electrode layer on the processed sensor structural layer. [Reference numerals] (S10) Form a lower electrode layer; (S20) Form a sensor structural layer; (S30) Eutectic-bond the lower electrode layer and the sensor structural layer; (S40) Process the sensor structural layer; (S60) Form an upper electrode layer; (S70) Eutectic-bond the processed sensor structural layer and the upper electrode layer
Abstract translation: 本发明涉及一种用于包装MEMS传感器的方法，更具体地说，涉及一种用于包装MEMS传感器的方法，其可以克服空间限制并且可以在形成电极时最大化电连接。 根据本发明的用于包装MEMS传感器的方法包括以下步骤：形成下电极层（100）; 形成传感器结构层（200）; 将下电极层的金属层和传感器结构层的金属层共晶接合; 处理传感器结构层; 形成上电极层（300）; 并将上电极层共晶接合在经处理的传感器结构层上。 （附图标记）（S10）形成下电极层; （S20）形成传感器结构层; （S30）共电子接合下电极层和传感器结构层; （S40）处理传感器结构层; （S60）形成上电极层; （S70）将经处理的传感器结构层和上电极层共晶接合
-
公开(公告)号：KR101339273B1
公开(公告)日：2013-12-09
申请号：KR1020120151278
申请日：2012-12-21
Applicant: 현대자동차주식회사
CPC classification number: G01P15/18 , G01C19/5642 , G01P3/4802
Abstract: The present invention relates to a sensor which senses a 6-axis inertial signal by one sensing unit in the sensor in a dual-drive mode. A dual-drive inertial sensor according to the present invention includes: the sensing unit which includes an input terminal to which an amplified driving signal is inputted and an output terminal to which an output signal including sensed acceleration and a driving signal is outputted; a variable gain control unit which generates a gain control signal of the driving signal by comparing the driving signal with a preset reference signal, amplifies the driving signal according to the generated gain control signal, and transmits the amplified signal to the input terminal; an acceleration output unit which outputs the acceleration element of the output signal; and an angular speed output unit which outputs the angular speed element of the output signal. [Reference numerals] (100) Sensing unit;(200) Adjustable gain control unit;(300) Acceleration output unit;(400) Angular speed output unit;(AA) Input (in) signal;(BB) Output (out) signal
Abstract translation: 传感器技术领域本发明涉及一种传感器，其以双驱动模式通过传感器中的一个感测单元感测6轴惯性信号。 根据本发明的双驱动惯性传感器包括：感测单元，其包括输入放大的驱动信号的输入端子和输出包括感测加速度和驱动信号的输出信号的输出端子; 可变增益控制单元，通过将驱动信号与预设的参考信号进行比较来产生驱动信号的增益控制信号，根据生成的增益控制信号放大驱动信号，并将放大的信号发送到输入端; 加速度输出单元，其输出所述输出信号的加速度元素; 以及输出所述输出信号的角速度要素的角速度输出部。 （100）传感单元;（200）可调增益控制单元;（300）加速输出单元;（400）角速度输出单元;（AA）输入（in）信号;（BB）输出（输出）信号
-
公开(公告)号：KR1020130061902A
公开(公告)日：2013-06-12
申请号：KR1020110128212
申请日：2011-12-02
Applicant: 현대자동차주식회사
CPC classification number: G01L5/161
Abstract: PURPOSE: A power-torque sensor of a strain gauge type and a manufacturing method thereof are provided to measure extension and compression with a unitized configuration. CONSTITUTION: A power-torque sensor of a strain gauge type(100) comprises a first sensor structure(110), a second sensor structure(120), and a gauge film(130). A convex portion is formed in the welded surface of the first sensor structure. A concave portion is formed in the welded surface of the second sensor structure. The welded surface of the second sensor structure with the concave portion is joined to the welded surface of the first sensor structure with the convex portion are welded while interposing the gauge film. The gauge film is formed into a structure that a strain gauge is installed on a flexible film and press-interposed by the concave and convex portions in between the welded surfaces of the first and second sensor structures.
Abstract translation: 目的：提供一种应变仪型的功率转矩传感器及其制造方法，以一体化构造测量延伸和压缩。 构造：应变仪型（100）的功率转矩传感器包括第一传感器结构（110），第二传感器结构（120）和量规薄膜（130）。 在第一传感器结构的焊接表面中形成凸部。 在第二传感器结构的焊接表面中形成凹部。 具有凹部的第二传感器结构的焊接表面与第一传感器结构的焊接表面接合，同时在插入量规膜的同时焊接凸部。 量规薄膜形成为将应变计安装在柔性薄膜上并由第一和第二传感器结构的焊接表面之间的凹凸部压入的结构。
-
公开(公告)号：KR1020130049918A
公开(公告)日：2013-05-15
申请号：KR1020110114971
申请日：2011-11-07
Applicant: 현대자동차주식회사
Abstract: PURPOSE: A small 6 axial power-torque sensor of a capacitance measuring method is provided to measure a change of a capacitance value caused by a relative position change of an electrode for measuring capacitance, thereby improving the measurement accuracy of the sensor. CONSTITUTION: A small 6 axial power-torque sensor of a capacitance measuring method comprises a tool connector(10), a robot connector(20), and an elastic beam(30). The tool connector is connected to a terminal device unit. The robot connector is connected to a robot arm. The elastic bema is connected between the outer diameter of the tool connector and the inner diameter of the robot connector. An external slit(22) is penetrate-formed in the inner circumference of the robot connector adjacent to the outer end of the elastic beam. An internal slit(12) is penetrate-formed in the outer circumference of the robot connector adjacent to the inner end of the elastic beam. A range of the length of the elastic beam is within a section between the inner and outer slits. [Reference numerals] (AA) Cross section B-B
Abstract translation: 目的：提供电容测量方法的小6轴向功率转矩传感器，以测量由用于测量电容的电极的相对位置变化引起的电容值的变化，从而提高传感器的测量精度。 构成：电容测量方法的小型6轴向功率转矩传感器包括工具连接器（10），机器人连接器（20）和弹性梁（30）。 工具连接器连接到终端设备单元。 机器人连接器连接到机器人手臂。 弹性体连接在工具连接器的外径和机器人连接器的内径之间。 外部狭缝（22）穿过形成在机器人连接器的内周上，邻近弹性束的外端。 在机器人连接器的外周中，与弹性梁的内端相邻的内部狭缝（12）穿透形成。 弹性梁的长度范围在内缝和外缝之间的一段内。 （附图标记）（AA）横截面B-B
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020130048321A
公开(公告)日：2013-05-10
申请号：KR1020110113101
申请日：2011-11-02
Applicant: 현대자동차주식회사
Abstract: PURPOSE: A six axial power-torque sensor using an optical member is provided to calculate power and torque by measuring the deformation of elastic beams with the optical member comprised of a light emitting unit and a light receiving unit or an image sensor and specific patterns, thereby improving the accuracy of measuring the power and the torque. CONSTITUTION: A six axial power-torque sensor using an optical member(50) comprises a tool connecting body(10) connected to a terminal unit, a robot connecting body(20) connected to a robot, and a plurality of elastic beams(30) connected between the tool connecting body and the robot connecting body. A cover(40) covering the elastic beams is mounted in the outer periphery of the robot connecting body to be integrated. The optical members sensing changes in positions of the elastic beams are mounted in the cover and the elastic beams.
Abstract translation: 目的：提供使用光学构件的六轴向动力转矩传感器，通过测量由发光单元和光接收单元或图像传感器构成的光学构件或特定图案的弹性梁的变形来计算功率和扭矩， 从而提高了功率和转矩的测量精度。 构成：使用光学构件（50）的六轴向动力转矩传感器包括连接到终端单元的工具连接体（10），连接到机器人的机器人连接体（20）和多个弹性梁（30 ）连接在工具连接体和机器人连接体之间。 覆盖弹性梁的盖（40）安装在机器人连接体的外周边以便一体化。 感测弹性梁的位置变化的光学构件安装在盖和弹性梁中。
-
公开(公告)号：KR1020150136401A
公开(公告)日：2015-12-07
申请号：KR1020140063871
申请日：2014-05-27
Applicant: 현대자동차주식회사
Abstract: 밴드갭기준전압회로는입력전압이인가되는입력단으로부터의제1 전류경로및 제2 전류경로를포함하는캐스코드형태로마련된셀프바이어스전류미러부, 상기제1 전류경로및 상기제2 전류경로사이에연결되어전원인가초기에는순방향바이어스가걸리고, 상기셀프바이어스전류미러부가턴 온되면역방향바이어스가걸리는스타트업 제어부, 및상기입력단으로부터의제3 전류경로를포함하고, 상기제3 전류경로를통해흐르는전류로부터출력단으로출력되는기준전압을생성하는출력전류미러부를포함한다.
Abstract translation: 带隙基准电压电路包括具有级联负载类型的自偏置电流镜部分，其包括从施加输入电压的输入端子的第一电流路径和第二电流路径; 连接在第一电流路径和第二电流路径之间的起动控制部分，在电源的初始状态下处于正向偏置，并且当自偏置电流镜部分导通时处于向后偏置; 以及输出电流镜部分，其包括从输入端子的第三电流路径，从沿着第三电流路径流动的电流产生输出到输出端子的参考电压。
-
公开(公告)号：KR101459977B1
公开(公告)日：2014-11-07
申请号：KR1020130158742
申请日：2013-12-18
Applicant: 현대자동차주식회사
CPC classification number: G01P3/42 , B81C1/00269 , B81C2203/0118 , G01C19/5783 , G01P15/0802
Abstract: 멤스 센서의 웨이퍼 레벨 패키지 및 그 제조 방법이 개시된다. 본 발명의 실시 예에 따른 멤스 센서의 웨이퍼 레벨 패키지의 제조 방법은, 하부 유리 기판 상의 일부분에 금속이 증착된 하부 전극층을 형성하는 단계; 실리콘 웨이퍼 상부면에 형성된 패턴에 따라 식각한 후 상기 하부 전극층의 일부분에 형성된 금속의 두께만큼 추가로 식각하여 구조층을 형성하는 단계; 상기 형성된 하부 전극층의 상부와 상기 구조층을 양극 접합하는 단계; 상기 구조층의 식각되지 않은 반대면에 형성된 패턴에 따라 식각하여 상기 구조층 내부에 감지부를 형성하는 단계; 및 상부 웨이퍼 상에 금속을 증착하여 상부 전극층을 형성하고, 상기 상부 전극층을 상기 감지부가 형성된 상기 구조층과 공융 접합하는 단계를 포함할 수 있다.
Abstract translation: 公开了一种MEMS传感器的晶片级封装及其制造方法。 根据本发明的实施例的制造MEMS传感器的晶片级封装的方法包括：形成下电极层，其中金属沉积在下玻璃基板的一部分上; 通过沿着形成在硅晶片的上表面上的图案进行蚀刻来形成结构层，然后另外蚀刻形成在下电极层的一部分上的金属的厚度; 阳极结合形成的下电极层的上部和结构层; 通过沿着形成在不被蚀刻的相对表面上的图案进行蚀刻而在结构层的内部形成检测部分; 以及通过在所述晶片上沉积所述金属并将所述上电极层共晶接合到形成有所述检测部分的所述结构层而形成上电极层。
-
公开(公告)号：KR101459442B1
公开(公告)日：2014-11-07
申请号：KR1020130027955
申请日：2013-03-15
Applicant: 현대자동차주식회사
IPC: G01C19/56 , G01C19/5621 , G01P15/097
Abstract: 본 발명은 멤스 구동체를 포함하는 본체부; 상기 본체부의 상기 멤스 구동체를 진동시키는 구동부; 및 상기 멤스 구동체의 3축 가속도와 3축의 각속도를 측정하는 센싱부를 포함하며, 상기 구동부는 x축 방향으로 상기 멤스 구동체를 진동시키는 x축 구동 신호를 생성하는 제1 구동부 및 y축 방향으로 상기 멤스 구동체를 진동시키는 y축 구동 신호를 생성하는 제2 구동부를 포함하며, 상기 x축 구동 신호와 상기 y축 구동 신호는 구동 주파수가 서로 동일하며, 위상차가 90도인 관성 센서 및 관성 측정 방법에 대한 것이다.
-
公开(公告)号：KR1020130046020A
公开(公告)日：2013-05-07
申请号：KR1020110110318
申请日：2011-10-27
Applicant: 현대자동차주식회사
Abstract: PURPOSE: A sensor for sensing forces to three axial directions of a polymer structure is provided to obtain the sensitivity of the entire sensor according to properties of a polymer charged between the upper and lower electrodes. CONSTITUTION: A sensor for sensing forces to three axial directions of a polymer structure comprises an upper electrode(10), a lower electrode(12), and a filling layer(11). The upper and lower electrodes are arranged in the upper and lower parts of the sensor respectively, thereby generating a change in the capacitance. The filling layer is formed between the upper and lower electrodes. The forces to three axial directions are calculated by measuring the change in the capacitance. The filling layer is formed into a plastic structure having anisotropy.
Abstract translation: 目的：提供用于感测聚合物结构的三个轴向方向的力的传感器，以根据上电极和下电极之间聚合物的性质获得整个传感器的灵敏度。 构成：用于感测聚合物结构的三个轴向方向的力的传感器包括上电极（10），下电极（12）和填充层（11）。 上电极和下电极分别布置在传感器的上部和下部，从而产生电容的变化。 填充层形成在上电极和下电极之间。 通过测量电容的变化来计算三个轴向的力。 填充层形成具有各向异性的塑性结构。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
25
records
(took 0.021 seconds)
