公开(公告)号：DE602004032035D1

公开(公告)日：2011-05-12

申请号：DE602004032035

申请日：2004-08-04

Applicant: IBM

Inventor： CHEN HUAJIE ,  CHIDAMBARRAO DURESETI ,  GLUSCHENKOV OLEG G ,  STEEGEN AN L ,  YANG HAINING S

IPC: H01L31/0328 ,  H01L21/20 ,  H01L21/336 ,  H01L21/8238 ,  H01L21/84 ,  H01L27/092 ,  H01L27/12

公开(公告)号：DE602004025135D1

公开(公告)日：2010-03-04

申请号：DE602004025135

申请日：2004-06-30

Applicant: IBM

Inventor： CHIDAMBARRAO DURESETI ,  DOKUMACI OMER H ,  GLUSCHENKOV OLEG G

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/311 ,  H01L21/76 ,  H01L21/82 ,  H01L21/8238 ,  H01L21/84 ,  H01L27/12 ,  H01L29/10 ,  H01L29/24 ,  H01L29/808

公开(公告)号：AT455370T

公开(公告)日：2010-01-15

申请号：AT04756373

申请日：2004-06-30

Applicant: IBM

Inventor： CHIDAMBARRAO DURESETI ,  DOKUMACI OMER H ,  GLUSCHENKOV OLEG G

IPC: H01L21/8238 ,  H01L21/311 ,  H01L21/76 ,  H01L21/82 ,  H01L21/84 ,  H01L27/12 ,  H01L29/10 ,  H01L29/24 ,  H01L29/808