Abstract:
Es wird eine Halbleiterlaserdiode (100) angegeben, die eine in einer vertikalen Richtung aufgewachsene Halbleiterschichtenfolge (2) mit einer aktiven Schicht (3), die dazu eingerichtet und vorgesehen ist, im Betrieb in zumindest einem sich in longitudinaler Richtung (93) erstreckenden aktiven Bereich (5) Licht (8) zu erzeugen, und eine transparente elektrisch leitende Abdeckschicht (4) auf der Halbleiterschichtenfolge aufweist, wobei die Halbleiterschichtenfolge in einer vertikalen Richtung (92) mit einer Oberseite (20) abschließt und die Oberseite einen in vertikaler Richtung über dem aktiven Bereich angeordneten Kontaktbereich (21) und zumindest einen in einer zur vertikalen und longitudinalen Richtung senkrechten lateralen Richtung (91) unmittelbar an den Kontaktbereich anschließenden Abdeckbereich (22) aufweist, die Abdeckschicht zusammenhängend auf der Oberseite auf dem Kontaktbereich und dem zumindest einen Abdeckbereich aufgebracht ist, die Abdeckschicht zumindest im zumindest einen Abdeckbereich unmittelbar auf der Oberseite der Halbleiterschichtenfolge aufgebracht ist und zumindest ein den zumindest einen aktiven Bereich definierendes Element (10) vorhanden ist, das von der Abdeckschicht überdeckt wird. Weiterhin wird ein Verfahren zur Herstellung einer Halbleiterlaserdiode angegeben.
Abstract:
Ein kantenemittierender Laserbarren (100) umfasst eine AlInGaN-basierte Halbleiterschichtenfolge (1) mit einer Kontaktseite (10) und einer aktiven Schicht (11) zur Erzeugung von Laserstrahlung. Ferner umfasst der Laserbarren mehrere, in einer lateralen Querrichtung nebeneinander und beabstandet voneinander angeordnete Einzelemitter (2), die im bestimmungsgemäßen Betrieb jeweils Laserstrahlung emittieren. Mehrere Kontaktelemente (20) sind in der lateralen Querrichtung nebeneinander und beabstandet voneinander auf der Kontaktseite angeordnet. Jedes Kontaktelement ist einem Einzelemitter zugeordnet. Jedes Kontaktelement ist über einen zusammenhängenden Kontaktbereich (12) der Kontaktseite elektrisch leitend an die Halbleiterschichtenfolge gekoppelt. Im Bereich zwischen zwei benachbarten Einzelemittern (2) umfasst der Laserbarren eine thermische Entkopplungsstruktur (3). Die Entkopplungsstruktur umfasst ein auf der Kontaktseite aufgebrachtes Kühlelement (30), das einen zusammenhängenden Kühlbereich (13) der Kontaktseite vollständig überdeckt. Das Kühlelement ist entlang des Kühlbereichs elektrisch von der Halbleiterschichtenfolge isoliert und entlang des Kühlbereichs thermisch an Halbleiterschichtenfolge gekoppelt. Der Kühlbereich weist eine Breite, gemessen entlang der lateralen Querrichtung auf, die zumindest halb so groß ist wie Breite eines benachbarten Kontaktbereichs.
Abstract:
Es wird ein Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterlasers (100) angegeben, aufweisend die Schritte: - Bereitstellen eines Substrats (1) mit einer Halbleiterschichtenfolge (2) mit einer aktiven Schicht (3), die dazu eingerichtet und vorgesehen ist, im Betrieb des Halbleiterlasers (100) Licht (8) zu erzeugen, - Aufbringen einer zusammenhängenden Kontaktschicht (11) mit zumindest einem ersten Teilbereich (12) und zumindest einem zweiten Teilbereich (13) auf einer der Halbleiterschichtenfolge (2) gegenüberliegenden Unterseite (10) des Substrats (1), - lokales Tempern der Kontaktschicht (11) nur im zumindest einen ersten Teilbereich (12), insbesondere mittels eines laserbasierten Bestrahlungsverfahrens. Weiterhin wird ein Halbleiterlaser (100) angegeben.
Abstract:
In einer Ausführungsform umfasst der Halbleiterlaser (1) eine Halbleiterschichtenfolge (2) zur Erzeugung von LaserStrahlung (L). Die Halbleiterschichtenfolge (2) weist an einer Oberseite (20) eine geometrische Strukturierung (5) auf. Ein Resonator (4) liegt in der Halbleiterschichtenfolge (2) und ist von gegenüberliegenden Facetten (3) begrenzt, wobei die Facetten (3) optisch wirksame Resonatorendflächen (42) beinhalten. Die Strukturierung (3) endet von den Facetten (3) beabstandet. Die Resonatorendflächen (42) sind beabstandet von MaterialWegnahmen aus der Halbleiterschichtenfolge (2) heraus.