中科微点-全球专利检索

  1. Login
  2. Sign Up

Search Results

46 records (took 0.023 seconds)

    11.
    发明专利
    未知

    公开(公告)号：DE69933370D1

    公开(公告)日：2006-11-09

    申请号：DE69933370

    申请日：1999-07-15

    Applicant: ST MICROELECTRONICS SRL

    Inventor： MASTROMATTEO UBALDO ,  ZERBINI SARAH ,  SASSOLINI SIMONE ,  VIGNA BENEDETTO

    IPC: G11B5/55 ,  G11B5/596 ,  B81B3/00 ,  B81B7/00 ,  B81C1/00 ,  G11B5/127 ,  G11B5/56 ,  G11B21/02 ,  G11B21/08 ,  G11B21/10 ,  G11B21/21 ,  H01L21/20 ,  H01L21/304 ,  H01L25/065 ,  H01L25/07 ,  H01L25/18

    Abstract: The process for assembling a microactuator (10) on a R/W transducer (6) comprises the steps of: forming a first wafer (11) of semiconductor material comprising a plurality of microactuators (10) including suspended regions (15) and fixed regions (22) separated from each other by first trenches (24); forming a second wafer (25) of semiconductor material comprising blocking regions (27, 27') connecting mobile (29') and fixed (29") intermediate regions separated from each other by second trenches (33a); bonding the two wafers (11, 25) so as to form a composite wafer (39) wherein the suspended regions (15) of the first wafer (11) are connected to the mobile intermediate regions (29') of the second wafer (25), and the fixed regions (22) of the first wafer are connected to the fixed intermediate regions (29") of the second wafer; cutting the composite wafer (39) into a plurality of units (41); fixing the mobile intermediate region (29') of each unit (41) to a respective R/W transducer (6); and removing the blocking regions (27'). The blocking regions (27') are made of silicon oxide, and the intermediate regions are made of polycrystalline silicon.

    Verbesserte Detektionsstruktur für einen z-Achsen-Resonanzbeschleunigungsmesser
    13.
    发明专利
    Verbesserte Detektionsstruktur für einen z-Achsen-Resonanzbeschleunigungsmesser 未知

    公开(公告)号：DE112012003562B4

    公开(公告)日：2021-08-19

    申请号：DE112012003562

    申请日：2012-08-31

    Applicant: ST MICROELECTRONICS SRL ,  MILANO POLITECNICO

    Inventor： COMI CLAUDIA ,  CORIGLIANO ALBERTO ,  ZERBINI SARAH

    IPC: G01P15/097

    Abstract: Detektionsstruktur (1) für einen z-Achsen-Resonanzbeschleunigungsmesser (24) aufweisend:- eine träge Masse (2), die mittels elastischer Verankerungselemente (6) so an einem Substrat (20) angebracht ist, dass sie über dem Substrat (20) in der Schwebe gehalten wird, wobei die elastischen Verankerungselemente (6) so eingerichtet sind, dass sie es der trägen Masse (2) ermöglichen, in Reaktion auf eine äußere Beschleunigung (az), die entlang einer vertikalen Achse (z) quer zu einer Ebene (xy) wirkt, eine Trägheitsrotationsbewegung um eine erste Rotationsachse (A) parallel zu einer horizontalen Achse (y), die zur Ebene (xy) der Haupterstreckung der trägen Masse (2) gehört, auszuführen; und- ein erstes Resonatorelement (10a) und ein zweites Resonatorelement (10b), die durch jeweilige elastische Abstützelemente (16) mechanisch mit der trägen Masse (2) gekoppelt sind, wobei die elastischen Abstützelemente (16) eingerichtet sind, eine Rotationsbewegung des ersten Resonatorelements (10a) um eine zweite Rotationsachse (B) und des zweiten Resonatorelements (10b) um eine dritte Rotationsachse (C) zu ermöglichen,dadurch gekennzeichnet, dass die zweite Rotationsachse (B) und die dritte Rotationsachse (C) parallel zueinander und darüber hinaus parallel zur ersten Rotationsachse (A) der trägen Masse (2) ausgerichtet sind,wobei Antriebselemente (17) mit dem ersten Resonatorelement (10a) und dem zweiten Resonatorelement (10b) gekoppelt sind, wobei die Antriebselemente eingerichtet sind, einen Rotationsresonanzantrieb der Resonatorelemente (10a, 10b) um die zweite Rotationsachse (B) bzw. um die dritte Rotationsachse (C) zu ermöglichen,wobei die Antriebselemente (17) Antriebselektroden umfassen, die auf dem Substrat (20) ausgebildet und unterhalb des ersten und zweiten Resonanzelements (10a, 10b) angeordnet und kapazitiv mit diesen gekoppelt sind; und wobei erste elektrische Leiterbahnen (34), die auf dem Substrat (20) ausgebildet sind, eingerichtet sind, die Antriebselektroden (17) zu kontaktieren, wobei die ersten elektrischen Leiterbahnen (34) nicht unterhalb der trägen Masse (2) angeordnet sind.

    Verbesserte Detektionsstruktur für einen z-Achsen-Resonanzbeschleunigungsmesser
    14.
    发明专利
    Verbesserte Detektionsstruktur für einen z-Achsen-Resonanzbeschleunigungsmesser 未知

    公开(公告)号：DE112012003562T5

    公开(公告)日：2014-05-15

    申请号：DE112012003562

    申请日：2012-08-31

    Applicant: ST MICROELECTRONICS SRL ,  MILANO POLITECNICO

    Inventor： COMI CLAUDIA ,  CORIGLIANO ALBERTO ,  ZERBINI SARAH

    IPC: G01P15/097

    Abstract: Eine Detektionsstruktur (1) für einen z-Achsen-Resonanzbeschleunigungsmesser (24) hat eine träge Masse (2), die mittels elastischer Verankerungselemente (6) so an einem Substrat (20) angebracht ist, dass sie über dem Substrat (20) in der Schwebe gehalten wird, wobei die elastischen Elemente (6) so eingerichtet sind, dass sie es der trägen Masse (2) ermöglichen, in Reaktion auf eine äußere Beschleunigung (az), die entlang einer Vertikalachse (z) quer zu einer Ebene (xy) wirkt, eine Trägheitsrotationsbewegung um eine erste Rotationsachse (A) parallel zu einer Horizontalachse (y), die zur Ebene (xy) der Haupterstreckung der trägen Masse (2) gehört, auszuführen; und ein erstes Resonatorelement (10a) und eine zweites Resonatorelement (10b), die durch jeweilige elastische Abstützelemente (16) mechanisch mit der trägen Masse (10) gekoppelt sind, wobei die elastischen Abstützelemente (16) eingerichtet sind, eine Rotationsbewegung des ersten Resonatorelements (10a) um eine zweite Rotationsachse (B) und des zweiten Resonatorelements (10b) um eine dritte Rotationsachse (C) zu ermöglichen. Die zweite Rotationsachse (B) und die dritte Rotationsachse (C) sind insbesondere parallel zueinander und darüber hinaus parallel zur ersten Rotationsachse (A) der trägen Masse (2) ausgerichtet.

    17.
    发明专利
    未知

    公开(公告)号：DE69932516T2

    公开(公告)日：2007-02-15

    申请号：DE69932516

    申请日：1999-09-10

    Applicant: ST MICROELECTRONICS SRL

    Inventor： ZERBINI SARAH ,  VIGNA BENEDETTO ,  GARAVAGLIA MASSIMO ,  TOMESI GIANLUCA

    IPC: G01P15/10 ,  B81B3/00 ,  G01P15/00 ,  G01P15/097 ,  G01P15/125 ,  G01P21/00 ,  H01L29/84

    Abstract: The inertial sensor (1) comprises an inner stator (2) and an outer rotor (3) which are electrostatically coupled together by means of mobile sensor arms (5) and fixed sensor arms (9a, 9b). The rotor (3) is connected to a calibration microactuator (12) comprising four sets (27) of actuator elements (13) arranged one for each quadrant of the inertial sensor. There are two actuator elements (13) making up each set, which are identical to each other, are angularly equidistant, and each of which comprises a mobile actuator arm (15) connected to the rotor (3) and bearing a plurality of mobile actuator electrodes (16), and a pair of fixed actuator arms (17a, 17b) which are set on opposite sides with respect to the corresponding mobile actuator arm and bear a plurality of fixed actuator electrodes (19a, 19b). The mobile actuator electrodes (16) and fixed actuator electrodes (19a, 19b) are connected to a driving unit (20) which biases them so as to cause a preset motion of the rotor (3), the motion being detected by a sensing unit (24) connected to the fixed sensor arms (9a, 9b).

Patent Agency Ranking