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公开(公告)号:CN102947203A
公开(公告)日:2013-02-27
申请号:CN201080065377.5
申请日:2010-04-02
Applicant: 村田机械株式会社
Inventor: 伊藤靖久
CPC classification number: H01L21/67769 , B65G1/04 , B65G2201/0297
Abstract: 自动仓库10具备装置主体(10a)和移载装置(26)。装置主体(10a)沿左右上下设有在上表面载置盒(C)的多个固定货架(24)。移载装置(26)通过对盒(C)的凸缘(C1)进行保持来移载盒(C)。移载装置(26)具有铅垂导轨(34)和移载头(36)。铅垂导轨(34)具有位于最上层的固定货架(24)的支撑面(24a)附近的上端(34a)。移载头(36)是能够沿着铅垂导轨(34)进行升降的部件。移载头(36)具有铅垂臂(36a),该铅垂臂(36a)具有能够对载置于最上层的固定货架(24)的盒(C)的凸缘(C1)进行保持的长度。
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公开(公告)号:CN101181956B
公开(公告)日:2012-07-11
申请号:CN200710186919.4
申请日:2007-11-13
Applicant: 株式会社大福
IPC: B65G1/04 , B65G37/00 , B65G35/00 , B65G49/07 , H01L21/677
CPC classification number: B65G37/02 , B65G2201/0297 , H01L21/67706 , H01L21/6773 , H01L21/67733 , H01L21/67736 , H01L21/67775 , H01L21/68707
Abstract: 物品输送设备,具有:移动体,沿移动路径移动,并具有物品保持部;物品保管用的物品支承体,可在物品交接位置和物品保管位置之间变更位置;锁止机构,设置在上述物品支承体上,可在将上述物品支承体锁止在上述物品保管位置上的锁止状态和解除该锁止的锁止解除状态之间切换;操作机构,设置在上述移动体上,进行物品支承体的位置变更操作以及锁止装置的切换操作。
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公开(公告)号:CN101353109B
公开(公告)日:2012-07-04
申请号:CN200810144023.4
申请日:2008-07-23
Applicant: 村田自动化机械有限公司
Inventor: 深谷师康
CPC classification number: H01L21/67706 , B65G1/0407 , B65G37/02 , B65G2201/0297 , Y10S414/14 , Y10T74/18088 , Y10T74/18104 , Y10T74/1812 , Y10T74/18976
Abstract: 一种运输设备,所述运输设备设置有:运输装置(120),其具有:承载装置(220),所述承载装置能沿伸长方向向轨道部的一侧伸长,以及伸长机构(600),其用于伸长所述承载装置。所述伸长机构设置有:固定至所述主体装置(210)的第一齿条(510)和固定至所述承载装置的第二齿条(520),所述第一齿条和所述第二齿条分别沿伸长方向延伸并通过其之间的空间彼此面对;以及啮合所述第一齿条的第一小齿轮(610),啮合所述第二齿条的第二小齿轮(620),以及在所述第一和所述第二小齿轮之间啮合的奇数个第三小齿轮(630)。
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公开(公告)号:CN101261950B
公开(公告)日:2012-05-09
申请号:CN200810082477.3
申请日:2008-03-06
Applicant: 株式会社大福
Inventor: 乾吉隆
IPC: H01L21/677 , B65G37/00 , B65G35/00 , B65G43/00 , B65G1/04
CPC classification number: B61B3/02 , B65G37/02 , B65G2201/0297 , H01L21/67276 , H01L21/67769 , H01L21/67775
Abstract: 一种物品处理设备,具备:沿着移动路径而移动并具有物品保持部的物品搬送体;用于临时放置物品的一对的物品载置体。各物品载置体构成为在突出位置和退回位置之间变位。在想要将由物品保持部保持的搬入用的物品交给物品搬出搬入部时物品搬出搬入部中存在搬出用的物品的情况下,在将搬入用的物品临时放置在一对的物品载置体的一方上之后,将位于物品搬出搬入部中的搬出用的物品临时放置到一对的物品载置体的另一方上。
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公开(公告)号:CN101143644B
公开(公告)日:2012-03-21
申请号:CN200710148957.0
申请日:2007-09-12
Applicant: 株式会社大福
Inventor: 池畑淑照
IPC: B65G1/04 , B65D85/48 , B65D43/02 , H01L21/673 , H01L21/677 , F24F3/16
CPC classification number: B65G1/0407 , B65G2201/0297 , H01L21/67769 , H01L21/67775
Abstract: 一种基板收纳设备,包括:收纳容器,将基板以在上下方向上隔开间隔而配置的状态保持多张,收纳容器形成为整体具有四边形的截面的筒状,即具有其一端侧的第1开口、和在水平方向上与第1开口隔开间隔的另一端侧设置的第2开口,第1开口构成为用于输入输出基板的输入输出口;风扇过滤单元,装备在收纳容器的第2开口的区域,用于从第2开口朝向第1开口通风;控制机构,控制收纳容器搬运装置的动作,这里,控制机构控制收纳容器搬运装置的动作,在使收纳容器的装备有风扇过滤单元的一侧位于移动空间一侧、且使收纳容器的输入输出口的一侧位于从移动空间远离的一侧的状态下,将收纳容器收纳到收纳部中。
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公开(公告)号:CN102272036A
公开(公告)日:2011-12-07
申请号:CN200980154096.4
申请日:2009-01-08
Applicant: 株式会社大福
Inventor: 吉冈秀郎
CPC classification number: B65G1/02 , B65G2201/0297 , B66B11/0075 , B66F7/02
Abstract: 升降装置具备:卷装机构(13),将至少两根绳索(14)以环状放出的状态进行卷绕;和升降台(3),是由从卷装机构(13)放出的至少两根绳索(14)的环状部分(21A、21B)悬吊的升降台(3),具有架设绳索(14)的环状部分(21A、21B)的至少四个绳索引导用旋转体(22A、22B),在至少两个的绳索引导用旋转体(22A)上架设一个绳索的(14)环状部分(21A),在另外至少两个的绳索引导用旋转体(22B)上架设另一个绳索(14)的环状部分(21B)。
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公开(公告)号:CN102239092A
公开(公告)日:2011-11-09
申请号:CN200980148400.4
申请日:2009-11-06
Applicant: 株式会社大福
IPC: B65G1/00
CPC classification number: B65G1/0485 , B65G21/00 , B65G69/181 , B65G2201/0297
Abstract: 提供一种能够防止尘埃的产生并且操作者不易在操作者用移载部位受伤的物品运送装置。设有:往返移动体,在操作者用移载部位(P)与非操作者用移载部位(Q)之间延伸的移动路径上往返移动;罩体(22),局部覆盖在移动路径的全长范围内移动的往返移动体的上方;以及物品载置体(20),从往返移动体向上方一侧延伸,通过以在上下方向上贯通形成在罩体上的狭缝(24)的状态设置的连结部与往返移动体相连,在罩体的上方侧沿着移动路径方向移动;狭缝形成为在往返移动体沿着移动路径移动时维持连结部与罩体为非接触状态,在罩体中形成狭缝的操作者用移载部位一侧的端部的端部形成部分(22E)具备弹性变形自如且具有柔软性的弹性罩部(22S)。
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公开(公告)号:CN100499021C
公开(公告)日:2009-06-10
申请号:CN200710097915.9
申请日:2007-04-18
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
IPC: H01L21/00 , H01L21/677 , B65G37/00 , B65G1/04 , B65G49/07
CPC classification number: H01L21/67736 , B65G37/00 , B65G37/02 , B65G2201/0297 , B66C19/00 , H01L21/67715 , H01L21/6773 , H01L21/67733 , H01L21/67769
Abstract: 本发明是有关于一种缓冲仓储装置,包含一高架式输送轨道以及至少一输送系统或输送带。高架式输送轨道是供支撑多数个用来输送晶圆盒的高架式输送车。至少一输送系统或输送带是设于该高架式输送轨道下方,以供接收高架式输送轨道上的高架式输送车中的晶圆盒。举例来说,该缓冲仓储装置可吸收晶圆盒在仓储装置与制程机台间移动的过多流量;例如可促进在半导体制造厂中多数个输送车间具有一种有秩序且高效率的移动流量。
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公开(公告)号:CN101219731A
公开(公告)日:2008-07-16
申请号:CN200810003121.6
申请日:2008-01-10
Applicant: 村田机械株式会社
IPC: B65G1/04 , B65G49/05 , B65G49/07 , H01L21/677
CPC classification number: B65G47/5104 , B65G1/0457 , B65G37/02 , B65G2201/0297 , H01L21/67733 , H01L21/67769
Abstract: 本发明提供一种桥式输送系统,将侧缓冲器(30)的支柱(34~37)用连杆(38、39)连接,将支柱(34~37)折叠。在无尘室的布置变更时,能够将缓冲器折叠,以使其不会成为障碍。
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公开(公告)号:CN101181956A
公开(公告)日:2008-05-21
申请号:CN200710186919.4
申请日:2007-11-13
Applicant: 株式会社大福
IPC: B65G1/04 , B65G37/00 , B65G35/00 , B65G49/07 , H01L21/677
CPC classification number: B65G37/02 , B65G2201/0297 , H01L21/67706 , H01L21/6773 , H01L21/67733 , H01L21/67736 , H01L21/67775 , H01L21/68707
Abstract: 物品输送设备,具有:移动体,沿移动路径移动,并具有物品保持部;物品保管用的物品支承体,可在物品交接位置和物品保管位置之间变更位置;锁止机构,设置在上述物品支承体上,可在将上述物品支承体锁止在上述物品保管位置上的锁止状态和解除该锁止的锁止解除状态之间切换;操作机构,设置在上述移动体上,进行物品支承体的位置变更操作以及锁止装置的切换操作。
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