公开(公告)号：CN1332702A

公开(公告)日：2002-01-23

申请号：CN99815119.X

申请日：1999-04-09

Applicant: 纤维管有限公司

Inventor： M·I·古斯科夫 ,  E·B·达尼洛夫 ,  M·A·阿斯拉米 ,  D·吴 ,  J·E·马蒂森

IPC: C03B23/047 ,  C03B37/027

CPC classification number: C03B37/01861 ,  C03B37/01413 ,  C03B37/01426 ,  C03B37/01466 ,  C03B37/01823 ,  C03B2201/02 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/28 ,  C03B2201/31 ,  C03B2201/32 ,  C03B2201/42 ,  C03B2203/22

Abstract: 用一个燃烧器(140)将玻璃粉(130)淀积在一个玻璃棒上。将棒体延伸(126)。继续淀积和延伸。然后将成品棒体拉制成光纤。

公开(公告)号：CN104395248B

公开(公告)日：2019-08-16

申请号：CN201380034214.4

申请日：2013-06-27

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 吉成俊雄 ,  齐藤忠彦

IPC: C03B8/04 ,  C03B11/00 ,  C03B20/00

CPC classification number: C03B19/1415 ,  C03B11/00 ,  C03B19/1453 ,  C03B19/1469 ,  C03B19/1476 ,  C03B19/1492 ,  C03B23/0013 ,  C03B23/0496 ,  C03B32/005 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/42 ,  C03C3/04 ,  C03C3/06 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/42 ,  C03C2203/44 ,  C03C2203/52

Abstract: SiO2－TiO2系玻璃的制造方法通过直接法在靶上制造SiO2－TiO2系玻璃，其包括：第一工序，预先加热靶；第二工序，使规定长度的SiO2－TiO2系玻璃坯料在被预先加热了的靶上成长；在第一工序中对靶加热，以使得在第二工序中玻璃坯料的成长面的温度维持在规定的下限温度以上。

公开(公告)号：CN102060432B

公开(公告)日：2016-12-07

申请号：CN201010546665.4

申请日：2010-11-16

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 毎田繁 ,  大塚久利

IPC: C03B20/00

CPC classification number: G03F1/22 ,  C03B19/1423 ,  C03B2201/20 ,  C03B2201/42 ,  C03C3/06 ,  C03C4/0085 ,  C03C2201/20 ,  C03C2201/42 ,  Y02P40/57

Abstract: 本发明涉及氧化钛和硫共掺杂的石英玻璃部件及其制造方法。特别地，提供了氧化钛和硫共掺杂的石英玻璃部件。由于氧化钛和硫的共掺杂，石英玻璃部件在一定温度下经历零膨胀并且在宽温度范围内经历低热膨胀，因此，石英玻璃部件适于用在可商购的EUV光刻工具中。还提供了用于EUV光刻的制备方法和光学部件。

公开(公告)号：CN103958422B

公开(公告)日：2016-10-05

申请号：CN201280058238.9

申请日：2012-09-28

Applicant: 原子能和替代能源委员会

Inventor： 塔雷克·法索拉 ,  吉勒斯·马钱德

IPC: C03B19/12 ,  C03B8/02 ,  C04B35/624 ,  C03B37/016

CPC classification number: C03B19/12 ,  B28B1/24 ,  B28B7/344 ,  B28B7/346 ,  B28B7/348 ,  B28B11/12 ,  C03B37/016 ,  C03B2201/02 ,  C03B2201/42 ,  C03C1/006 ,  C03C2203/26 ,  C04B35/14 ,  C04B35/16 ,  C04B35/624 ,  C04B2235/3232 ,  C04B2235/441 ,  C04B2235/6027 ,  C04B2235/606

Abstract: 本发明涉及一种用于制造由溶胶‑凝胶溶液得到的构成材料制成的物件的方法，所述方法依次包括以下步骤：a)将所述溶胶‑凝胶溶液引入至待制造的物件的模具中的步骤；b)使所述溶胶‑凝胶溶液凝胶化的步骤；c)在所述模具中干燥在b)中得到的所述凝胶的步骤，通过该步骤，所述凝胶转化为上述物件的构成材料，其特征在于，所述模具由闭合的腔室组成并且包括适于使在步骤b)和/或步骤c)中形成的气体排出的材料。

公开(公告)号：CN105189377A

公开(公告)日：2015-12-23

申请号：CN201480008373.1

申请日：2014-02-07

Applicant: 贺利氏石英玻璃有限两合公司

Inventor： 海因茨·费边 ,  斯蒂芬·托马斯

IPC: C03B19/14

CPC classification number: C03B19/1415 ,  C03B19/14 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/42 ,  C03B2207/32 ,  C03B2207/34 ,  C03C3/06 ,  C03C2201/42 ,  C03C2203/40

Abstract: 用于制造钛掺杂合成石英玻璃的已知方法，包括以下工序步骤：(A)提供液态SiO2原材料(105)，其包含大于60重量％的聚烷基硅氧烷D4；(B)蒸发所述液态SiO2原材料(105)，以产生气态SiO2原料气(107)；(C)蒸发液态TiO2原材料(205)，以产生气态TiO2原料气(207)；(D)分别将SiO2原料气(107)和TiO2原料气转化为SiO2颗粒和TiO2颗粒；(E)将所述SiO2颗粒和TiO2颗粒沉积在沉积表面(160)上，同时形成钛掺杂的SiO2烟灰体(200)；(F)玻璃化所述钛掺杂的SiO2烟灰体，同时形成合成石英玻璃，其中所述合成石英玻璃的TiO2浓度在5重量％至11重量％之间。根据本发明的范围，液态SiO2原材料(105)包括至少一种由聚烷基硅氧烷D3构成的额外组分，其重量分数为mD3，以及一种由聚烷基硅氧烷D5构成的额外组分，其重量分数为mD5，重量比mD3/mD5的范围在0.01至1之间，并且所提供的液态SiO2原材料(105)被蒸发，同时保持重量比mD3/mD5，并且其至少99重量％被蒸发以形成气态SiO2原料气(107)。

公开(公告)号：CN102583974B

公开(公告)日：2015-12-16

申请号：CN201110372600.7

申请日：2011-09-02

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 毎田繁 ,  大塚久利 ,  关泽修 ,  柳泽直树

IPC: C03B20/00 ,  G03F1/22

CPC classification number: C03C3/06 ,  C03B19/1423 ,  C03B19/1453 ,  C03B2201/23 ,  C03B2201/42 ,  C03B2207/06 ,  C03B2207/12 ,  C03B2207/20 ,  C03B2207/62 ,  C03B2207/64 ,  C03C4/0085 ,  C03C2201/21 ,  C03C2201/42

Abstract: 本发明涉及一种掺杂二氧化钛的石英玻璃及其制备方法。通过以下方法制备适合作为EUV光刻部件的所述掺杂二氧化钛的石英玻璃：通过燃烧器喷嘴供给提供硅的反应气体和提供钛的反应气体以及氢气和氧气，使反应气体氧化或火焰水解以形成合成氧化硅-二氧化钛精细颗粒，在旋转靶上沉积二氧化硅-二氧化钛精细颗粒，及同时熔化和玻璃化该沉积的颗粒以生长掺杂二氧化钛的石英玻璃锭。缩回靶以保证锭生长前沿距离燃烧器喷嘴至少250mm。

公开(公告)号：CN102219371B

公开(公告)日：2015-01-07

申请号：CN201110092907.1

申请日：2011-04-13

Applicant: 德拉克通信科技公司

Inventor： I·米莉瑟维克 ,  M·J·N·范·斯特劳伦 ,  J·A·哈特苏克 ,  E·阿尔迪

IPC: C03B37/018 ,  C03B37/025

CPC classification number: C03B37/0183 ,  C03B37/01807 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/24 ,  C03B2201/28 ,  C03B2201/31 ,  C03B2201/32 ,  C03B2201/42

Abstract: 本发明涉及一种内部气相沉积工艺。本发明涉及使用内部气相沉积工艺制造光纤用初级预制品的方法，所述方法包括以下步骤：i)设置具有供给侧和排出侧的中空玻璃基管，ii)由加热炉包围至少部分的中空玻璃基管，iii)将掺杂或未掺杂的玻璃形成气体经由中空玻璃基管的供给侧供给至所述中空玻璃基管的内部，iv)创建反应区，在所述反应区中创建条件以使玻璃沉积发生在中空玻璃基管的内部，和v)使反应区在位于中空玻璃基管的供给侧附近的换向点和位于中空玻璃基管的排出侧附近的换向点之间沿着中空玻璃基管的长度往复移动，其中，在至少部分步骤v)期间，当反应区沿排出侧的方向移动时，气体流包含第一浓度的含氟化合物。

公开(公告)号：CN102985379A

公开(公告)日：2013-03-20

申请号：CN201180033896.8

申请日：2011-07-07

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 宫坂顺子 ,  小池章夫

IPC: C03B20/00 ,  B29C33/38 ,  C03B8/04 ,  C03C3/06 ,  G02B1/00 ,  H01L21/027

CPC classification number: C03B20/00 ,  B29C33/38 ,  B29K2909/08 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  C03B19/1453 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/42 ,  C03C3/06 ,  C03C2201/08 ,  C03C2201/23 ,  C03C2201/42 ,  C03C2203/44 ,  G03F7/0002

Abstract: 本发明涉及一种含有TiO2的石英玻璃基材，其中，TiO2浓度为3~8质量%，OH浓度为50质量ppm以下，波长365nm下每1mm厚度的内部透射率T365为95%以上。

公开(公告)号：CN101553438B

公开(公告)日：2012-02-22

申请号：CN200780001439.4

申请日：2007-11-29

Applicant: 东洋玻璃株式会社

Inventor： 一濑智美 ,  阿知波彻

IPC: C03B8/02 ,  C03B37/016

CPC classification number: C03B19/12 ,  C03B23/047 ,  C03B37/027 ,  C03B2201/30 ,  C03B2201/32 ,  C03B2201/40 ,  C03B2201/42 ,  C03B2203/26 ,  C03C1/006 ,  G02B3/0087 ,  Y02P40/57

Abstract: 一种GRIN透镜的制作方法及GRIN透镜，在利用溶胶-凝胶法的GRIN透镜的制作中，在以硅的醇盐、掺杂剂的醇盐及铝的醇盐为主要成分的醇溶液制作湿凝胶时，首先制作以硅的醇盐和铝的醇盐为主要成分的醇溶液，之后，将掺杂剂的醇盐与之混合。采用本发明，在利用溶胶-凝胶法的GRIN透镜的制作中，能防止母材的裂纹、分相，提高拔丝时的粘度，提高成品率，同时制得高开口数的GRIN透镜。

公开(公告)号：CN102219372A

公开(公告)日：2011-10-19

申请号：CN201110092930.0

申请日：2011-04-13

Applicant: 德拉克通信科技公司

Inventor： I·米莉瑟维克 ,  M·J·N·范·斯特劳伦 ,  J·A·哈特苏克 ,  E·阿尔迪 ,  E·A·库伊佩斯

IPC: C03B37/018 ,  C03B37/025

CPC classification number: C03B37/0183 ,  C03B37/01807 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/24 ,  C03B2201/28 ,  C03B2201/31 ,  C03B2201/32 ,  C03B2201/42

Abstract: 本发明涉及内部气相沉积工艺。本发明涉及光纤用初级预制品的制造方法，其使用内部气相沉积工艺，所述方法包括以下步骤：i)设置具有供给侧和排出侧的中空玻璃基管，ii)由加热炉包围至少部分所述中空玻璃基管，iii)将玻璃形成气体的掺杂或未掺杂的气体流经由中空玻璃基管的供给侧供给至中空玻璃基管的内部，iv)创建其中条件为使得玻璃的沉积发生在所述中空玻璃管的内部的反应区，和v)在所述中空玻璃基管的位于供给侧附近的换向点和位于排出侧附近的换向点之间沿中空玻璃基管的纵向往复移动反应区。