公开(公告)号：US09653248B2

公开(公告)日：2017-05-16

申请号：US14582782

申请日：2014-12-24

Applicant: Kabushiki Kaisha Toshiba ,  Toshiba Electron Tubes & Devices Co., Ltd.

Inventor： Tomonari Ishihara ,  Naoki Akahori ,  Hidero Anno

IPC: H01J35/14 ,  H01J35/06 ,  H01J3/06 ,  H01J29/50 ,  H01J37/065 ,  H01J19/42 ,  H01J19/10 ,  H01J1/88 ,  A61B6/00 ,  H01J1/16 ,  H01J1/18 ,  H01J23/083 ,  H01J3/18 ,  H01J23/04 ,  H01J29/04 ,  H01J29/62

CPC classification number: H01J35/06 ,  A61B6/44 ,  H01J1/16 ,  H01J1/18 ,  H01J1/88 ,  H01J3/06 ,  H01J3/18 ,  H01J19/10 ,  H01J19/42 ,  H01J23/04 ,  H01J23/083 ,  H01J29/04 ,  H01J29/50 ,  H01J29/62 ,  H01J35/14 ,  H01J37/065 ,  H01J2229/481 ,  H01J2229/4827 ,  H01J2229/4831 ,  H01J2229/50 ,  H01J2229/582 ,  H01J2229/5835 ,  H01J2235/06 ,  H01J2237/032 ,  H01J2237/049 ,  H01J2237/06375 ,  H01J2893/0005 ,  H01J2893/005 ,  H01J2893/0088 ,  H01J2893/0089 ,  H01J2893/0094

Abstract: According to one embodiment, an X-ray tube includes an anode target, a cathode including a filament and a convergence electrode which includes a groove portion, and an envelope. The groove portion includes a pair of first bottom surfaces which are located in the same plane as the filament and between which the filament is interposed in a width direction of the groove portion, and a pair of second bottom surfaces between which the filament and the pair of first bottom surfaces are interposed in a length direction of the groove portion and which are located closer to an opening of the groove portion than the pair of first bottom surfaces.

公开(公告)号：US09490098B1

公开(公告)日：2016-11-08

申请号：US14992870

申请日：2016-01-11

Applicant: Applied Physics Technologies, Inc.

Inventor： William A. Mackie ,  Gerald G. Magera

IPC: H01J1/146 ,  H01J1/148 ,  H01J19/10 ,  H01J1/14

CPC classification number: H01J1/148 ,  H01J1/14 ,  H01J1/146 ,  H01J19/10 ,  H01J37/06 ,  H01J2201/196 ,  H01J2201/2889 ,  H01J2201/30484 ,  H01J2201/317 ,  H01J2237/06316

Abstract: An electron source is made from mixed-metal carbide materials of high refractory nature. Producing field-enhanced thermionic emission, i.e., thermal-field or extended Schottky emission, from these materials entails the use of a certain low work function crystallographic direction, such as, for example, (100), (210), and (310). These materials do not naturally facet because of their refractory nature. The disclosed electron source made from transition metal carbide material is especially useful when installed in a scanning electron microscope (SEM) performing advanced imaging applications that require a high brightness, high beam current source.

Abstract translation: 电子源由具有高耐火性质的混合金属碳化物材料制成。 从这些材料产生场强增强的热离子发射，即热场或延伸的肖特基发射需要使用某种低功函数的晶体学方向，例如（100），（210）和（310） 。 这些材料由于其耐火性质而不自然而然。 所披露的由过渡金属碳化物材料制成的电子源在安装在需要高亮度，远光束电流源的先进成像应用的扫描电子显微镜（SEM）中是特别有用的。

公开(公告)号：US20160189908A1

公开(公告)日：2016-06-30

申请号：US14586066

申请日：2014-12-30

Applicant: General Electric Company

Inventor： Sergio Lemaitre

IPC: H01J35/06 ,  H01J35/08 ,  G01N23/04 ,  H01J35/14 ,  H01J35/04

CPC classification number: H01J35/06 ,  H01J3/38 ,  H01J19/10 ,  H01J19/48 ,  H01J37/063 ,  H01J2229/4844 ,  H01J2229/4896 ,  H01J2235/06

Abstract: In the present invention, a cathode for an x-ray tube is formed with a large area flat emitter. To reduce the aberrations to a minimum the emission area in the flat emitter has a non-rectangular shape and focusing pads arranged around the emitter. In an exemplary embodiment, the flat emitter has a non-rectilinear polygonal shape for an emission area on the emitter in order to increase the emission current from the emitter at standard voltage levels without the need to run the emitters at a higher temperature, add additional emitters to the cathode and/or to coat the emitters with a low work function material.

Abstract translation: 在本发明中，用于X射线管的阴极形成有大面积的平坦发射体。 为了将像差减小到最小，扁平发射器中的发射面积具有非矩形形状和围绕发射极布置的聚焦焊盘。 在示例性实施例中，扁平发射器具有用于发射极上的发射区域的非直线多边形形状，以便在标准电压电平下增加来自发射极的发射电流，而不需要在较高温度下运行发射器，增加额外的 发射器到阴极和/或用低功函数材料涂覆发射器。

公开(公告)号：US3976909A

公开(公告)日：1976-08-24

申请号：US595287

申请日：1975-07-11

Applicant: Joseph Richard Tomcavage

Inventor： Joseph Richard Tomcavage

IPC: H01J19/10 ,  H01J1/15 ,  H01J19/08

CPC classification number: H01J19/10

Abstract: A first array of spaced wires is in angular contact with a second array of spaced wires so as to from a wire mesh. The first array has a fewer number of wires than the second array.

Abstract translation: 间隔开的第一线阵列与间隔开的电线的第二阵列角度接触，以便从金属丝网。 第一个阵列的数量比第二个数组少。

公开(公告)号：WO2016109053A1

公开(公告)日：2016-07-07

申请号：PCT/US2015/061626

申请日：2015-11-19

Applicant: GENERAL ELECTRIC COMPANY

Inventor： LEMAITRE, Sergio

IPC: H01J35/06

CPC classification number: H01J35/06 ,  H01J3/38 ,  H01J19/10 ,  H01J19/48 ,  H01J37/063 ,  H01J2229/4844 ,  H01J2229/4896 ,  H01J2235/06

Abstract: In the present invention, a cathode (60) for an x-ray tube (12) is formed with a large area flat emitter (55). To reduce the aberrations to a minimum, the emission area (237) in the flat emitter (55) has a non-rectangular shape and focusing pads (85) arranged around the emitter (55). In an exemplary embodiment, the flat emitter (55) has a non-rectilinear polygonal shape for an emission area (237) on the emitter (55) in order to increase the emission current from the emitter (55) at standard voltage levels without the need to run the emitters (55) at a higher temperature, add additional emitters (55) to the cathode (60) and/or to coat the emitters (55) with a low work function material.

Abstract translation: 在本发明中，用于X射线管（12）的阴极（60）形成有大面积的平坦发射体（55）。 为了将像差减小到最小，扁平发射器（55）中的发射区域（237）具有非矩形形状，并且布置在发射器（55）周围的聚焦焊盘（85）。 在示例性实施例中，扁平发射器（55）具有用于发射器（55）上的发射区域（237）的非直线多边形形状，以便在标准电压电平下增加来自发射极（55）的发射电流，而没有 需要在更高的温度下运行发射器（55），向阴极（60）添加额外的发射器（55）和/或用低功函数材料涂覆发射器（55）。

公开(公告)号：WO2014007167A1

公开(公告)日：2014-01-09

申请号：PCT/JP2013/067852

申请日：2013-06-28

Applicant: 株式会社 東芝 ,  東芝電子管デバイス株式会社

Inventor： 石原　智成 ,  赤堀　直紀 ,  阿武　秀郎

IPC: H01J35/06

CPC classification number: H01J35/06 ,  A61B6/44 ,  H01J1/16 ,  H01J1/18 ,  H01J1/88 ,  H01J3/06 ,  H01J3/18 ,  H01J19/10 ,  H01J19/42 ,  H01J23/04 ,  H01J23/083 ,  H01J29/04 ,  H01J29/50 ,  H01J29/62 ,  H01J35/14 ,  H01J37/065 ,  H01J2229/481 ,  H01J2229/4827 ,  H01J2229/4831 ,  H01J2229/50 ,  H01J2229/582 ,  H01J2229/5835 ,  H01J2235/06 ,  H01J2237/032 ,  H01J2237/049 ,  H01J2237/06375 ,  H01J2893/0005 ,  H01J2893/005 ,  H01J2893/0088 ,  H01J2893/0089 ,  H01J2893/0094

Abstract: 　焦点寸法可変制御と管電流制御を簡便かつ安定して行うことができるＸ線管を提供する。フィラメント（１１）と、該フィラメント（１１）が収められる溝部（１６）とを有する陰極（１０）を備えたＸ線管において、前記溝部（１６）を、同一平面上に前記フィラメント（１１）が位置し、前記溝部（１６）の幅方向（ｄｂ）に前記フィラメント（１１）を挟む一対の第１底面（Ｓ１）と、前記溝部（１６）の長さ方向（ｄａ）に前記フィラメント（１１）及び前記一対の第１底面（Ｓ１）を挟み、前記一対の第１底面（Ｓ１）より前記溝部（１６）の開口（１６ａ）側に位置している第２底面（Ｓ２）とを有するものとした。

Abstract translation: 提供能够容易且稳定地进行聚焦尺寸可变控制和管电流控制的X射线管。 X射线管配备有具有灯丝（11）的阴极（10）和容纳灯丝（11）的沟槽部分（16）。 在X射线管中，沟槽部分（16）具有：一对第一底面（S1），其具有与灯丝（11）所在的平面相同的平面，并将灯丝（11）夹在宽度 沟槽部分（16）的方向（db）; 以及在所述沟槽部分（16）的长度方向（da）上夹着所述细丝（11）和所述一对第一底表面（S1）并位于所述沟槽的更多开口（16a）侧上的第二底表面（S2） 部分（16）比所述一对第一底面（S1）。

公开(公告)号：JP6223973B2

公开(公告)日：2017-11-01

申请号：JP2014523715

申请日：2013-06-28

Applicant: 東芝電子管デバイス株式会社

Inventor： 石原 智成 ,  赤堀 直紀 ,  阿武 秀郎

IPC: H01J35/06

CPC classification number: H01J35/06 ,  H01J19/10 ,  H01J19/42 ,  H01J29/50 ,  H01J3/06 ,  H01J35/14 ,  H01J37/065 ,  A61B6/44 ,  H01J1/16 ,  H01J1/18 ,  H01J1/88 ,  H01J2229/481 ,  H01J2229/4827 ,  H01J2229/4831 ,  H01J2229/50 ,  H01J2229/582 ,  H01J2229/5835 ,  H01J2235/06 ,  H01J2237/032 ,  H01J2237/049 ,  H01J2237/06375 ,  H01J23/04 ,  H01J23/083 ,  H01J2893/0005 ,  H01J2893/005 ,  H01J2893/0088 ,  H01J2893/0089 ,  H01J2893/0094 ,  H01J29/04 ,  H01J29/62 ,  H01J3/18

公开(公告)号：JP2017157558A

公开(公告)日：2017-09-07

申请号：JP2017035711

申请日：2017-02-28

Applicant: アイシーティー インテグレーテッド サーキット テスティング ゲゼルシャフト フィーア ハルプライタープリーフテヒニック エム ベー ハー

Inventor： ステファン ラニオ ,  アレクサンドラ クラメル ,  ジョン ブロイアー

IPC: H01J37/073

CPC classification number: H01J37/073 ,  H01J1/16 ,  H01J19/10 ,  H01J37/065 ,  H01J9/02 ,  H01J9/04 ,  H01J2201/19 ,  H01J2237/06308 ,  H01J2237/06341

Abstract: 【課題】電子ビームでサンプルを検査する電子ビーム装置を提供すること。 【解決手段】電子ビーム装置は、熱電界エミッタを含む電子ビーム源を含み、熱電界エミッタは、エミッタチップを含み、エミッタチップは、電子放出のために構成され、放出ファセット幅を有する放出ファセットと、第1の側部ファセットおよび第2の側部ファセットとを有し、第1の側部ファセットと第2の側部ファセットとの間にエッジファセットが形成され、エッジファセットは、エッジファセット幅を有する。エッジファセット幅は、放出ファセット幅の20%〜40%である。電子ビーム源は、抽出装置と、熱電界エミッタを加熱する加熱装置とをさらに含む。電子ビーム装置は、電子ビーム光学系と、1次電子ビームがサンプルに衝突または到達する際に生成される2次荷電粒子を検出する検出装置とをさらに含む。 【選択図】図1

公开(公告)号：JPWO2014007167A1

公开(公告)日：2016-06-02

申请号：JP2014523715

申请日：2013-06-28

Applicant: 株式会社東芝 ,  東芝電子管デバイス株式会社

Inventor： 智成 石原 ,  智成 石原 ,  直紀 赤堀 ,  直紀 赤堀 ,  阿武　秀郎 ,  秀郎 阿武

IPC: H01J35/06

CPC classification number: H01J35/06 ,  A61B6/44 ,  H01J1/16 ,  H01J1/18 ,  H01J1/88 ,  H01J3/06 ,  H01J3/18 ,  H01J19/10 ,  H01J19/42 ,  H01J23/04 ,  H01J23/083 ,  H01J29/04 ,  H01J29/50 ,  H01J29/62 ,  H01J35/14 ,  H01J37/065 ,  H01J2229/481 ,  H01J2229/4827 ,  H01J2229/4831 ,  H01J2229/50 ,  H01J2229/582 ,  H01J2229/5835 ,  H01J2235/06 ,  H01J2237/032 ,  H01J2237/049 ,  H01J2237/06375 ,  H01J2893/0005 ,  H01J2893/005 ,  H01J2893/0088 ,  H01J2893/0089 ,  H01J2893/0094

Abstract: 焦点寸法可変制御と管電流制御を簡便かつ安定して行うことができるX線管を提供する。フィラメント(11)と、該フィラメント(11)が収められる溝部(16)とを有する陰極(10)を備えたX線管において、前記溝部(16)を、同一平面上に前記フィラメント(11)が位置し、前記溝部(16)の幅方向(db)に前記フィラメント(11)を挟む一対の第1底面(S1)と、前記溝部(16)の長さ方向(da)に前記フィラメント(11)及び前記一対の第1底面(S1)を挟み、前記一対の第1底面(S1)より前記溝部(16)の開口(16a)側に位置している第2底面(S2)とを有するものとした。

Abstract translation: 提供一种X射线管，其可以很容易地和稳定地执行聚焦大小可变的控制和管电流控制。 灯丝（11），在具有阴极（10）具有槽的灯丝（11）的X射线管容纳（16），所述槽（16），在同一平面内的灯丝（11） 位置，并且所述凹槽（16）中的横向方向（分贝）的灯丝（11）的一对第一底表面的夹住（S1），在所述凹槽（16）的纵向方向（DA）的灯丝（11） 和夹持所述一对第一底表面（S1）的和具有槽（16）比所述一对第一底表面（S1），其位于（16A）侧上的第二底表面（S2）的一个开口 这是。

公开(公告)号：TW201740419A

公开(公告)日：2017-11-16

申请号：TW106106110

申请日：2017-02-23

Applicant: ICT積體電路測試股份有限公司 ,  ICT INTEGRATED CIRCUIT TESTING GESELLSCHAFT FUR HALBLEITERPRUFTECHNIK MBH

Inventor： 拉尼歐 史帝芬 ,  LANIO, STEFAN ,  克拉瑪 艾勒克山卓 ,  KRAMER, ALEKSANDRA ,  布雷爾 約翰 ,  BREUER, JOHN

IPC: H01J1/16 ,  H01J19/10 ,  H01J37/073 ,  H01J9/02

CPC classification number: H01J37/073 ,  H01J1/16 ,  H01J9/02 ,  H01J9/04 ,  H01J19/10 ,  H01J19/82 ,  H01J37/065 ,  H01J37/3178 ,  H01J2201/19 ,  H01J2237/06308 ,  H01J2237/06341

Abstract: 描述用於利用電子束檢查樣品的電子束裝置。電子束裝置包括電子束源，電子束源包括熱場發射器，熱場發射器包括具有發射刻面以及第一側刻面與第二側刻面的發射器尖端，發射刻面經配置以用於電子發射，其中發射刻面具有發射刻面寬度，其中邊緣刻面係形成於第一側刻面與第二側刻面之間，邊緣刻面具有邊緣刻面寬度。邊緣刻面寬度係在發射刻面寬度的20％與40％之間。電子束源進一步包括提取器裝置與加熱裝置，加熱裝置用於加熱熱場發射器。電子束裝置進一步包括電子束光學元件與偵測器裝置，偵測器裝置用於偵測在初級電子束碰撞或撞擊至樣品上而產生的次級帶電粒子。

Abstract in simplified Chinese: 描述用于利用电子束检查样品的电子束设备。电子束设备包括电子束源，电子束源包括热场发射器，热场发射器包括具有发射刻面以及第一侧刻面与第二侧刻面的发射器尖端，发射刻面经配置以用于电子发射，其中发射刻面具有发射刻面宽度，其中边缘刻面系形成于第一侧刻面与第二侧刻面之间，边缘刻面具有边缘刻面宽度。边缘刻面宽度系在发射刻面宽度的20％与40％之间。电子束源进一步包括提取器设备与加热设备，加热设备用于加热热场发射器。电子束设备进一步包括电子束光学组件与侦测器设备，侦测器设备用于侦测在初级电子束碰撞或撞击至样品上而产生的次级带电粒子。