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公开(公告)号:CN100557755C
公开(公告)日:2009-11-04
申请号:CN03827153.2
申请日:2003-07-30
Applicant: 能源科学公司
CPC classification number: B32B15/08 , B05D5/061 , B32B7/12 , B32B15/085 , B32B15/09 , B32B15/20 , B32B27/32 , B32B27/36 , B32B2311/24 , B32B2323/046 , B32B2367/00 , B32B2439/70 , H01J33/00 , H01J33/04
Abstract: 本文提供了采用粒子束加工装置处理材料的方法和由该方法制备的材料。根据一个说明性实施方案,提供了一种采用粒子束加工装置处理材料的方法,该方法包括:提供包括至少一个产生多个粒子的灯丝的粒子束产生组件;向灯丝施加大于约110kV的操作电压以产生所述多个粒子;使所述多个粒子穿过厚度为约10微米或更少的薄箔片;和采用所述多个粒子处理材料。
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公开(公告)号:CN101416267A
公开(公告)日:2009-04-22
申请号:CN200780009686.9
申请日:2007-03-20
Applicant: 弗劳恩霍弗实用研究促进协会
CPC classification number: H01J33/00 , A61L2/087 , A61L2202/14 , A61L2202/23 , A61L2202/24
Abstract: 本发明涉及用于借助于电子来改变三维成型件(2)的特性的一种装置和一种方法,所述装置包括至少一个用于产生加速的电子的电子加速器(3a、3b)和两个电子逸出窗(5a、5b),其中所述两个电子逸出窗(5a、5b)彼此对置布置,其中所述两个电子逸出窗(5a、5b)和至少一个反射器(7a1、7a2、7b1、7b2)限制着处理室,在该处理室中向所述成型件(2)的表面或者边缘层加载电子,其中借助于传感器系统能够至少关于一个空间的维检测所述处理室内部的能量密度分布。
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公开(公告)号:CN1387672A
公开(公告)日:2002-12-25
申请号:CN00815160.1
申请日:2000-11-02
Applicant: 能源科学公司
IPC: H01J33/00
Abstract: 本发明涉及尺寸上较小和工作在较高效率下的粒子束加工设备。该加工设备包括粒子束产生部件,箔片支撑部件,和加工部件。在粒子束产生部件中,例如电子的粒子云是通过加热至少一个钨丝产生的。然后,电子被引出以高速到达被设置在比粒子束产生部件更低电压的箔片支撑部件。基片被供给加工设备通过加工区和暴露于离开粒子束产生部件和进入加工区的电子。电子透入和固化基片,引起诸如聚合,交联或者消毒的化学反应。
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公开(公告)号:CN1358108A
公开(公告)日:2002-07-10
申请号:CN00809466.7
申请日:2000-06-30
Applicant: 株式会社荏原制作所
Inventor: 内藤仪彦
IPC: B01D53/00 , B01D53/60 , H01J37/32 , B01D53/34 , B01D53/50 , B01D53/74 , B01D53/76 , B01D53/78 , B01D53/79 , B01J19/08 , A62D3/00
CPC classification number: F23J15/00 , B01D53/007 , B01D2259/812 , B01J19/085 , B01J2219/0875 , F23J2900/15001 , G21K5/04 , H01J33/00
Abstract: 一种电子束照射设备采用电子束照射燃烧废气以从废气中去除有毒成分。电子束照射设备包括用于发射电子的电子束源(12)、用于将从电子束源发射的电子加速的加速管(13)、通过将磁场施加到加速管(13)中形成高能量的电子束以控制电子束直径的聚焦电磁铁(16)、通过将磁场施加到电子束以偏转和扫描电子束的电磁铁(17、18)、以及允许电子束从那里经过的照射窗口(20)。电子束由聚焦电磁铁(16)聚焦在聚焦点,使得电子束收敛一次并且随后发散,然后经过照射窗口(20)向外发射。
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公开(公告)号:CN103649764B
公开(公告)日:2017-06-09
申请号:CN201280035123.8
申请日:2012-07-10
Applicant: 奥宝科技股份有限公司 , 烽腾科技有限公司
IPC: G01R31/305
CPC classification number: G01R1/072 , G01R31/305 , H01J33/00 , H01J2237/164
Abstract: 本发明提供一种非机械性接触信号测量装置,其包括:位于待测结构上的第一导体以及接触所述第一导体的气体。至少一电子束被引导至所述气体中,以在所述至少一电子束穿过所述气体之处在所述气体中形成等离子体。第二导体电性接触所述等离子体。当所述等离子体被引导于所述第一导体上时,信号源经由所述第一导体、所述等离子体及所述第二导体耦接至电性测量设备。所述电性测量设备可响应于所述信号源。
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公开(公告)号:CN105793716A
公开(公告)日:2016-07-20
申请号:CN201480054629.2
申请日:2014-10-02
IPC: G01R31/308
CPC classification number: G01N27/70 , G01R31/305 , H01J33/00 , H01J37/3233 , H01J37/32449 , H01J37/32825 , H01J2237/063 , H01J2237/164 , H01J2237/188 , H01J2237/317 , H05H2240/10 , H05H2245/123
Abstract: 本发明揭示一种电子束诱发等离子体,其用于与所关注装置建立非机械、电接触。此等离子体源可称为大气等离子体源且可经配置以提供具有极细直径及可控特性的等离子体柱。所述等离子体柱横穿在所述等离子体源之间的大气空间进入所述大气及所述所关注装置,且以可从所述装置收集特性电信号的方式充当到所述所关注装置的电路径。另外,通过控制流入所述等离子体柱的气体,探针可用于表面修改、蚀刻及沉积。
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公开(公告)号:CN104217779B
公开(公告)日:2015-09-23
申请号:CN201410469965.5
申请日:2014-09-15
Applicant: 华中科技大学
CPC classification number: H01J37/143 , G21K1/093 , G21K5/04 , H01J3/12 , H01J33/00 , H01J37/3178 , H01J2237/0835 , H01J2237/1405 , H01J2237/152
Abstract: 本发明提供一种电子束扩散截面修整装置及方法,具体为:包括两组永磁铁,第一组永磁铁构成的磁场将电子束扩散为近似椭圆形;第二组永磁铁构成的磁场对电子束团边缘进行修整形成近似矩形;通过操作四个纵向调位连接机构,使得第一组永磁铁的上、下磁轭朝向它们之间的中心同步移动,对近似椭圆形的电子束进行首次纵向压缩,以及使得第二组永磁铁的上、下磁轭朝向它们之间的中心同步移动,对近似矩形的电子束再次纵向压缩,直到电子束团纵向尺寸被压缩逼近至80mm。本发明对扩散后的电子束团纵向尺寸进行合理压缩,既保证辐照均匀度及辐照效率最优,又维持在现有描盒钛窗的限定范围内。
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公开(公告)号:CN104217779A
公开(公告)日:2014-12-17
申请号:CN201410469965.5
申请日:2014-09-15
Applicant: 华中科技大学
CPC classification number: H01J37/143 , G21K1/093 , G21K5/04 , H01J3/12 , H01J33/00 , H01J37/3178 , H01J2237/0835 , H01J2237/1405 , H01J2237/152
Abstract: 本发明提供一种电子束扩散截面修整装置及方法,具体为:包括两组永磁铁,第一组永磁铁构成的磁场将电子束扩散为近似椭圆形;第二组永磁铁构成的磁场对电子束团边缘进行修整形成近似矩形;通过操作四个纵向调位连接机构,使得第一组永磁铁的上、下磁轭朝向它们之间的中心同步移动,对近似椭圆形的电子束进行首次纵向压缩,以及使得第二组永磁铁的上、下磁轭朝向它们之间的中心同步移动,对近似矩形的电子束再次纵向压缩,直到电子束团纵向尺寸被压缩逼近至80mm。本发明对扩散后的电子束团纵向尺寸进行合理压缩,既保证辐照均匀度及辐照效率最优,又维持在现有描盒钛窗的限定范围内。
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公开(公告)号:CN102741966A
公开(公告)日:2012-10-17
申请号:CN201180007788.3
申请日:2011-02-01
Applicant: 利乐拉瓦尔集团及财务有限公司
CPC classification number: H01J33/04 , B65B55/08 , G21K5/02 , H01J3/027 , H01J5/18 , H01J33/00 , H01J33/02 , H01J2237/00 , H01J2237/164 , Y10T29/49002
Abstract: 本发明涉及用在电子束装置中的托板(22)和出射窗箔(20)的组件,所述托板(22)被设计为减少所述箔(20)中的褶皱,这些褶皱可能由于在装配过程中出现过剩的箔而产生。沿着连续的结合线(26)将所述箔(20)结合到所述托板(22)上,连续的结合线(26)围成大体上圆形的区域,在该区域内,所述托板(22)设置有孔和箔支承部分,以及在该区域内,所述箔适于作为所述电子束装置的真空密封外壳的壁的一部分。本发明还涉及在填充机中使用所述组件的方法,以及减少褶皱的方法。
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公开(公告)号:CN102046209A
公开(公告)日:2011-05-04
申请号:CN200980121177.4
申请日:2009-05-05
Applicant: 克朗斯股份有限公司
CPC classification number: H01J33/00 , A61L2/087 , A61L2202/23 , B65B55/08 , H01J33/04
Abstract: 本发明公开了一种用于消毒容器(10)的装置(1),包括:具有电荷载体可以通过的出射窗(8)的处理头(5),用于产生电荷载体的电荷载体产生源、设置在所述出射窗(8)上方并在所述出射窗(8)方向上加速所述电荷载体的加速装置(6)和用于冷却所述出射窗的冷却装置(30)。依据本发明,所述冷却装置(30)包括用于气体介质的供给开口(32),该供给开口(32)设置在所述出射窗(8)下方,并至少部分地从下方将所述气体介质引导到所述出射窗(8)上。
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