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公开(公告)号：CN101563601A
公开(公告)日：2009-10-21
申请号：CN200680055975.8
申请日：2006-10-08
Applicant: 华瑞科学仪器(上海)有限公司
IPC: G01N27/66
Abstract: 一种用于检测气体浓度的光离子化传感器及其检测方法。所述检测器包含第一偏置电极和第一测量电极。第一偏置电极与第一偏置电路相连，用于吸收具有一种电荷符号的粒子，第一测量电极与第一测量电路相连，用于吸收具有相反电荷符号的粒子。紫外线灯内惰性气体的成份、光学窗口的材料以及第一测量电极和第一偏置电极中低电位电极的材料被选择成，使得由紫外线灯产生并透过光学窗口的紫外光在射入到低电位电极的表面时产生光电效应，并且驱动电极对紫外线灯施加足够大的高压交流信号，以便从低电位电极的表面溢出的电子数量足以与堆积在低电位电极附近三维空间内的正离子复合，消除因正离子堆积而引起的浓度测量饱和现象。
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公开(公告)号：CN101006339A
公开(公告)日：2007-07-25
申请号：CN200480043755.4
申请日：2004-08-06
Applicant: 华瑞科学仪器(上海)有限公司
Abstract: 本发明提供了一种一体化的光离子化传感器(10)，它不仅包括离子化室(36)、紫外线灯(32)、驱动电极(40，42)、离子检测器(48)，还包括灯驱动电路(44)、偏置电路(54)等通用电路。本发明的光离子化传感器包括一支撑件(230)，将外壳内的空间分割成两个部分。前述检测元件位于一个部分内，而通用电路被集成在电路板(95)上，位于另一部分内。本发明对电路板所处的空间灌封闭粘结剂，使其避免与外界接触。本发明为传感器外壳的顶盖设计了单个大圆孔、栅状和网状通气窗口，使得传感器既适用于气泵抽运模式，又适用于气体扩散模式。同时，特殊的通气窗口允许在不拆卸传感器的情况下，无需使用气泵，便能清除UV灯(32)的光学窗口(34)上的污染。本发明还在电路板上集成了光敏传感器(20)，以便在不拆卸传感器的情况下了解UV灯(32)的工作情况。
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公开(公告)号：CN106404277A
公开(公告)日：2017-02-15
申请号：CN201610282044.7
申请日：2009-09-11
Applicant: MKS仪器公司
Inventor： 赖利·K·卡麦可 , 杰西·A·韦伯 , 约翰·H·亨利 , 麦可·N·史考特 , 葛拉多·A·布鲁克尔 , 肯尼斯·D·凡安特卫普
IPC: G01L21/32
Abstract: 一种测量压力的电离计，其具有发射电子的电子源，和界定电离空间的阳极。所述电离计还包含集极电极，用以收集由所述电子与气体之间的碰撞而形成的离子且基于所述收集的离子而测量压力。依据压力和压力除外的第二参数，在多个发射电平之间动态地改变所述电子源的发射电流。所述电离计还可根据存储在非易失性存储器中并由用户选择的参数来改变电离计组件的各种操作参数。
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公开(公告)号：CN101726390B
公开(公告)日：2014-01-29
申请号：CN200910206302.3
申请日：2009-10-13
Applicant: 安立世公司
Abstract: 本发明涉及用于电离真空计的分子屏。本发明公开了一种用于测量真空中气体密度的系统，其包括量计、用于容纳量计的壳体以及紧固到壳体外表面上的磁体。磁体是柔性磁条，且布置在壳体的外表面周围。量计包括沿着壳体的管段纵向延伸的栅极绝缘体杆，磁体紧固到邻近栅极绝缘体杆的壳体的外表面上并沿栅极绝缘体杆的横向定向。磁体是柔性磁条，且夹具将磁体紧固到壳体的外表面上。
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公开(公告)号：CN102159929A
公开(公告)日：2011-08-17
申请号：CN200980137098.2
申请日：2009-09-11
Applicant: 布鲁克机械公司
Inventor： 赖利·K·卡麦可 , 杰西·A·韦伯 , 约翰·H·亨利 , 麦可·N·史考特 , 葛拉多·A·布鲁克尔 , 肯尼斯·D·凡安特卫普
IPC: G01L21/30
Abstract: 一种测量压力的电离计，其具有发射电子的电子源，和界定电离空间的阳极。所述电离计还包含集极电极，用以收集由所述电子与气体之间的碰撞而形成的离子且基于所述收集的离子而测量压力。依据压力和压力除外的第二参数，在多个发射电平之间动态地改变所述电子源的发射电流。所述电离计还可根据存储在非易失性存储器中并由用户选择的参数来改变电离计组件的各种操作参数。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101990630A
公开(公告)日：2011-03-23
申请号：CN200980112555.2
申请日：2009-02-19
Applicant: 布鲁克机械公司
Inventor： 葛拉多·A··布鲁克尔
Abstract: 一种用以测量压力和减少溅射产量的电离计包括产生电子的至少一个电子源。所述电离计还包括收集由所述电子与气体分子之间的碰撞所形成的离子的集极电极。所述电离计还包括阳极。相对于集极电极的偏置电压的阳极偏置电压经配置以在预定压力下切换以使溅射碰撞的产量减小。
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公开(公告)号：CN101627302A
公开(公告)日：2010-01-13
申请号：CN200880006881.0
申请日：2008-04-02
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: G01N27/62
CPC classification number: H01J49/0009 , G01L21/30 , H01J41/02 , H01J41/10 , H01J49/0027
Abstract: 本发明的气体分析器包含：离子化部(211)，用以离子化试样气体；第1离子检测部(212)及第2离子检测部(213)，夹着所述离子化部(211)而设置，并且离开所述离子化部(211)起算的距离相互不同，以检测来自所述离子化部(211)的离子；过滤器部(214)，设在所述离子化部(211)及所述第1离子检测部(212)之间，选择性地使来自所述离子化部(211)的离子通过；运算装置(3)，利用通过所述第1离子检测部(212)所得的试样气体的第1全压TP 1 及通过所述第2离子检测部(213)所得的试样气体的第2全压TP 2 ，修正通过所述第1离子检测部(212)所得的由所述过滤器部(214)所选择的特定成分的分压PP 1 ；且在利用四极质谱分析法等的气体分析器中，可维持分辨率，并即使在测定值无法追随周围气体压力变化的区域也可进行修正。
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公开(公告)号：EP2800960A1
公开(公告)日：2014-11-12
申请号：EP13746239.6
申请日：2013-02-07
Applicant: MKS Instruments, Inc.
Inventor： BRUCKER, Gerardo, A.
IPC: G01L21/32
Abstract: An ionization gauge to measure pressure, while controlling the location of deposits resulting from sputtering when operating at high pressure, includes at least one electron source that emits electrons, and an anode that defines an ionization volume. The ionization gauge also includes a collector electrode that collects ions formed by collisions between the electrons and gas molecules and atoms in the ionization volume, to provide a gas pressure output. The electron source can be positioned at an end of the ionization volume, such that the exposure of the electron source to atom flux sputtered off the collector electrode and envelope surface is minimized. Alternatively, the ionization gauge can include a first shade outside of the ionization volume, the first shade being located between the electron source and the collector electrode, and, optionally, a second shade between the envelope and the electron source, such that atoms sputtered off the envelope are inhibited from depositing on the electron source.
Abstract translation: 在高压下操作时控制由溅射产生的沉积物的位置的同时测量压力的电离计包括至少一个发射电子的电子源和限定电离体积的阳极。 电离计还包括集电极，其收集由电子和气体分子与电离体积中的原子之间的碰撞形成的离子，以提供气体压力输出。 电子源可以位于电离体积的一端，使得电子源对溅射离开集电极和包络面的原子通量的暴露最小化。 或者，电离计可以包括位于电离体积之外的第一阴影，第一阴影位于电子源和收集电极之间，并且可选地包括位于封套和电子源之间的第二阴影，使得原子溅射 封套被抑制沉积在电子源上。
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19.发明公开IONIZATION GAUGE WITH OPERATIONAL PARAMETERS AND GEOMETRY DESIGNED FOR HIGH PRESSURE OPERATION 有权IONISIERUNGSMESSGERÄTMITFÜRHOCHDRUCKBETRIEB AUSGELEGTEN BETRIEBSPARAMETERN UND GEOMETRIE
公开(公告)号：EP2252869A4
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：EP09713559
申请日：2009-02-19
Applicant: MKS INSTR INC
Inventor： BRUCKER GERARDO A
Abstract: An ionization gauge to measure pressure and to reduce sputtering yields includes at least one electron source that generates electrons. The ionization gauge also includes a collector electrode that collects ions formed by the collisions between the electrons and gas molecules. The ionization gauge also includes an anode. An anode bias voltage relative to a bias voltage of a collector electrode is configured to switch at a predetermined pressure to decrease a yield of sputtering collisions.
Abstract translation: 用于测量压力和减少溅射产额的电离计包括至少一个产生电子的电子源。 电离计还包括集电极，其收集由电子和气体分子之间的碰撞形成的离子。 电离计还包括阳极。 相对于集电极的偏置电压的阳极偏置电压被配置为在预定压力下切换以降低溅射碰撞的产量。
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20.发明申请VERFAHREN ZUR ERMITTLUNG WENIGSTENS EINES PHYSIKALISCHEN PARAMETERS MITTELS EINER SENSOREINHEIT 审中-公开方法确定至少一个物理参数由传感器单元
公开(公告)号：WO2015177337A1
公开(公告)日：2015-11-26
申请号：PCT/EP2015/061373
申请日：2015-05-22
Applicant: REIME, Gerd
Inventor： REIME, Gerd
CPC classification number: G01V3/10 , G01N27/028 , G01N27/62 , G01N27/64 , G01R27/00 , G01R27/26 , G01R27/2611 , G01R27/267 , H01J41/00 , H01J41/02
Abstract: In einem Verfahren zur Ermittlung wenigstens eines physikalischen Parameters ist eine Sensoreinheit vorgesehen, die durch mindestens eine periodische Anregung (1.4) erregt wird, wobei die Sensoreinheit wenigstens einen Detektionsbereich aufweist, in dem Änderungen des Parameters im Umfeld der Sensoreinheit zu einem Ausgangssignal (1.7) der Sensoreinheit führen. Die Sensoreinheit ist so beschaltet ist, dass am Ausgang der Sensoreinheit ohne Änderungen des Parameters im Detektionsbereich das Ausgangssignal (1.7) ein Nullsignal oder ein nahezu Nullsignal ist, während bei Änderungen des Parameters im Detektionsbereich das Ausgangssignal (1.7) ein Signal ungleich Null ist, das eine bestimmte Amplitude und Phase aufweist. In einem geschlossenen Regelkreis wird mit einem Regelsignal das Signal ungleich Null im Empfangspfad auch bei Vorhandensein von Änderungen des Parameters im Detektionsbereich zur Erzielung eines ausgeregelten Zustands zu Null ausgeregelt. Das Regelsignal wird ausgewertet, um den physikalischen Parameter zu ermitteln. Das Ausgangssignal (1.7) der Sensoreinheit wird im Wesentlichen auf die Grundwelle der Anregung (1.4) reduziert und mittels wenigstens einer Pulsweitenmodulation wird das Ausgangssignal (1.7) im gesamten Phasenraum zu Null geregelt. Dadurch, dass die wenigstens eine Pulsweitenmodulation selbst je ein Korrektursignal mit variabler Pulsbreite und ggf. variabler Phase erzeugt, das dann zum Ausgangssignal (1.7) der Sensoreinheit addiert wird und dadurch das Ausgangssignal im gesamten Phasenraum zu Null regelt, wobei die Pulsbreite des Korrektursignals und/oder die Phase des Korrektursignals durch die Abweichungen des Ausgangssignals (1.7) von Null bestimmt wird, wird ein temperaturstabiles, volldigitales Messsystem geschaffen.
Abstract translation: 在用于确定传感器单元的至少一个物理参数的方法是通过在至少一个周期性激励（1.4）被激励时，其特征在于，所述传感器单元包括在其中的传感器单元的环境参数的变化到的输出信号（1.7）至少一个检测区域提供 铅传感器单元。 传感器单元进行布线，使所述传感器单元的不包含该参数的修改的输出，在检测区域（1.7）的输出信号是零信号或近零信号，而在检测区域中的参数变化，输出信号（1.7）等于零时，一个信号 具有特定振幅和相位。 在闭环控制回路，该信号是非零即使在检测区域中的参数的变化的存在，得到的控制信号控制的状态在接收路径中校正为0。 该控制信号被评估以确定的物理参数。 所述传感器单元的输出（1.7）基本上减小到激励（1.4）的基波，并通过至少一个脉冲宽度调制，输出信号（1.7）在整个相位空间被控制到零。 其特征在于，所述至少一个脉冲宽度调制本身产生具有可变脉冲宽度和可能可变相位各自的校正信号，然后输出信号（1.7）加入到传感器单元，从而控制在整个相位空间到零输出信号，所述校正信号的脉冲宽度和/ 或由所述输出信号（1.7）的偏差校正信号的相位从零确定，提供了一种温度稳定的，全数字测量系统。
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